“角川舞”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果1个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]等离子体处理用气体、等离子体处理方法及等离子体处理装置-CN202080101364.2在审
发明人：末田一行;笹仓昌浩;山本凌音;角川舞 -专利权人： SPP科技股份有限公司
申请日： 2020-10-05 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：[课题]提供：可以抑制对地球温室效应的影响，并且可以执行吞吐量高的等离子体处理的等离子体处理装置等。[解决方法]本发明的等离子体处理装置100具备：腔室(1)，其在内部生成等离子体；载置台(2)，其配置在腔室内、用于载置基板S；和，气体供给源(3)(3a～3d)，其向腔室内供给用于生成等离子体的气体，该装置通过交替重复执行使用等离子体对基板进行蚀刻的蚀刻处理S2、和使用等离子体于通过蚀刻处理形成的凹部形成保护膜的保护膜形成处理S3，从而对基板进行深度蚀刻。特征在于，保护膜形成处理S3中，作为为了生成等离子体而供给的气体，由气体供给源(3b)、(3c)向腔室内供给C4F8与2,3,3,3‑四氟丙烯的混合气体。
等离子体处理气体方法装置

1
共 1 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top