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[发明专利]基板搬运车及基板搬运方法-CN202211448610.9在审
发明人： 裵材翼;金桢一 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板搬运车及基板搬运方法，根据本发明的一实施例的基板搬运车包括：第一驱动部；第二驱动部，与所述第一驱动部在第一移动方向上相隔；子驱动部，布置在第一驱动部与第二驱动部之间；传感部，计算所述第一驱动部或所述第二驱动部与所述子驱动部之间的与所述第一移动方向交叉的第二移动方向的距离；以及控制器，基于所述距离，使所述第一驱动部以及第二驱动部在第二移动方向上移动，其中，所述基板搬运车可以基于所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部中的至少两个而移动。
搬运车搬运方法

[发明专利]自动搬送系统的控制方法-CN202110896338.X在审
发明人： 裵材翼;申语珍;苏仁喆;金世旭;崔钟俊;郑圣赞 -专利权人：三星显示有限公司;株式会社 SFA
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本发明公开的一种自动搬送系统的控制方法，包括：货叉把手对准步骤，针对具备装载对象物的多个接口的装载设备，具备用于执行对象物的装载或卸载的货叉把手的行驶搬送机器人移动，从而使货叉把手对准于用于向接口进入的货叉把手进入位置；高速移动进入步骤，为了使货叉把手向作为用于装载或卸载对象物的位置在多个端口分别设定的示教位置进入而使货叉把手以第一速度进入；以及低速移动进入步骤，在使货叉把手向示教位置进入的同时，感测用于校正以使对象物与货叉把手的位置一致的误差，以比第一速度慢的第二速度使货叉把手进入，低速移动进入步骤开始的低速移动开始位置基于示教位置而在接口分别确定。
自动系统控制方法