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[发明专利]一种实时高精密膜厚监测系统-CN202311115510.9在审
发明人：张楠林;袁崇霖;庄李施;李秀婷 -专利权人：阳明量子科技（深圳）有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种实时高精密膜厚监测系统，涉及真空镀膜领域。包括：一套带冷却系统的膜厚探头、一个振荡器电路、一个信号转置滤波电路、一个基于TTL电平的高频计数系统、一个485通信系统、一个交互式触控屏控制显示界面。本发明可以实现在高精密真空系统中，实时监测镀膜厚度，监测精度可以达到1Hz的振荡频率波动和0.01nm的膜厚变化。可以实现任意镀膜材料的厚度监测。可以监控膜厚探头中晶振片的使用寿命。所有参数通过触控屏输入和显示，方便、准确。在光伏、显示、半导体、真空镀膜等领域具备重大应用价值。
一种实时精密监测系统

[发明专利]一种可探测微电流信号的恒电位仪-CN202211577589.2有效
发明人： 袁崇霖;李秀婷;张楠林 -专利权人：阳明量子科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可探测微电流信号的恒电位仪，包括以微电极作为工作电极的三电极测试体系、以及与PC端连接并用于分析所述三电极测试体系运行参数的微控制器，还包括依次连接在所述微控制器与所述三电极测试体系的参比电极和对电极之间的第一低通滤波电路和恒电位电路、以及依次连接在所述三电极测试体系的工作电极与微控制器之间的第二低通滤波电路和跨阻放大电路。与现有技术相比，本发明成本低廉、性能可靠、使用携带便捷，可实现pA级别电流分辨率的精确探测表征，为前沿新能源纳米及亚纳米材料研究、微型信号探测分析等提供了重大便利。
一种探测电流信号电位