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[发明专利]一种实时高精密膜厚监测系统-CN202311115510.9在审
发明人：张楠林;袁崇霖;庄李施;李秀婷 -专利权人：阳明量子科技（深圳）有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种实时高精密膜厚监测系统，涉及真空镀膜领域。包括：一套带冷却系统的膜厚探头、一个振荡器电路、一个信号转置滤波电路、一个基于TTL电平的高频计数系统、一个485通信系统、一个交互式触控屏控制显示界面。本发明可以实现在高精密真空系统中，实时监测镀膜厚度，监测精度可以达到1Hz的振荡频率波动和0.01nm的膜厚变化。可以实现任意镀膜材料的厚度监测。可以监控膜厚探头中晶振片的使用寿命。所有参数通过触控屏输入和显示，方便、准确。在光伏、显示、半导体、真空镀膜等领域具备重大应用价值。
一种实时精密监测系统

[外观设计]精密真空镀膜机-CN202230466254.8有效
发明人： 庄李施;张楠林;陈嘉 -专利权人：阳明量子科技(深圳)有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：精密真空镀膜机。2.本外观设计产品的用途：在真空条件下，通过蒸镀或溅射等方法，实现半导体或金属的精密薄膜沉积，广泛应用于显示、光伏、半导体等领域。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
精密真空镀膜

[发明专利]太阳能电池的刻线方法、太阳能电池以及光动能模组-CN202210631211.X有效
发明人：张楠林;王静波;庄李施 -专利权人：阳明量子科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L51/48 文献下载
摘要：本发明公开了太阳能电池的刻线方法、太阳能电池以及光动能模组，涉及太阳能电池技术领域。以一种新颖的电池刻线方法，实现在较小基材上尽可能大的使用面积，实现较小的光动能模组依然可以提供较高的电压，进而吸收环境弱光给电子设备进行充电。具体包括以下步骤：对基板上负极层进行第一次P1刻画线，将负极层分割成多个待串联的模块，前一个模块上设有缺口，与其串联的后一个模块上设有与缺口形状相匹配的凸起；对依次设于负极模块上的各个层级进行第二次P2刻画线以使后一个负极模块露出，P2的位置仅位于后一个负极模块的凸起部分内；对设于空穴传输层顶部的正极层进行第三次P3刻画线，在正极层上刻画出与负极模块一一正对应的正极模块。
太阳能电池方法以及动能模组

[实用新型]一种等离子体清洗装置-CN202022935628.4有效
发明人：张楠林;庄李施 -专利权人：阳明量子科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型属于等离子体清洗技术领域，具体涉及一种等离子体清洗装置，包括箱体与两个等离子发生器，箱门装配有控制面板，两个等离子发生器分别装配在箱体左右两侧，箱门上侧装配有电机，转轴下侧固定连接有与箱体下侧内壁转动连接的支撑柱，转盘绕转轴环形均匀转动装配有转杆，箱体上侧内壁设有与四个齿轮相啮合的齿圈，四个转杆下端均穿过固定杆装配有夹紧机构，控制面板电源输出端与电机电源输入端电连接，本装置可将待清洗物悬挂在箱体内，在清洗过程中，使清洗物在箱体内绕支撑柱公转，且在公转的同时待清洗物自转，并通过箱体两侧的等离子清洗物对待清洗物进行清理，可对待清洗物四周进行清理，不用人工对待清洗物翻面。
一种等离子体清洗装置

[实用新型]一种量子点复合光学薄膜-CN202022922567.8有效
发明人：张楠林;庄李施 -专利权人：阳明量子科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本实用新型属于量子点膜技术领域，具体涉及一种量子点复合光学薄膜，包括基底层和粘接于基底层上下两侧的保护层，基底层上下两侧分别设有第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽内部填充有量子点胶粒，任意相邻两个第一凹槽之间还设有填充槽，上侧保护层与基底层之间还设有水氧阻隔膜，水氧阻隔膜包覆基底层周围，且水氧阻隔膜还设有填充膜片，上侧保护层表面还设有聚光层，聚光层的宽度尺寸大于第一凹槽的开口宽度尺寸；本实用新型解决了现有的量子点光学薄膜被裁切后，裁切后的薄膜会由裁切部位逐渐向内部发生水氧腐蚀使薄膜失效，以及现有的量子点光学薄膜额外粘接扩散层会增加薄膜厚度。
一种量子复合光学薄膜

[外观设计]等离子体清洗器-CN202130098440.6有效
发明人：王同成;庄李施;张楠林 -专利权人：阳明量子科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： 15-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：等离子体清洗器。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于等离子体表面清洗设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
等离子体清洗