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- [实用新型]ITO刻蚀机摇摆喷射排管端盖结构-CN201020260994.8有效
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虞尚友;郭志勇
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四川虹欧显示器件有限公司
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2010-07-16
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2011-02-09
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C03C15/00
- 本实用新型公开了一种ITO刻蚀机摇摆喷射排管端盖结构,包括端盖主体,所述端盖主体的截面呈凹字形,所述端盖主体底部设置有通孔,在所述端盖主体内侧设置有螺纹,所述通孔的孔径大于设置在排管上卡套的直径,在所述端盖主体内设置有两个半圆卡环,所述两个半圆卡环形成的圆环外径大于通孔的孔径,其内径小于所述排管上卡套的直径。本实用新型将现有端盖结构变为分体式结构,将端盖主体的通孔扩大,使其能穿过排管端部设置的卡套,然后再配合两个半圆的卡环,利用卡环将端盖主体卡在卡套处,从而将排管固定在药液总管上。这样在出现问题时可以随时更换端盖,而且排管总成和总管螺纹的固定也更好,在摇摆时不会从接头处喷射药液出来。
- ito刻蚀摇摆喷射排管端盖结构
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