专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]匀胶系统-CN202210262041.2在审
  • 冯季村;吕学良;张洋;周游;李开宇;李自金;李庆;周东站;王乔;郑京明;沈帆帆;蒲文轩 - 中国建筑材料科学研究总院有限公司
  • 2022-03-17 - 2022-07-08 - G03F7/16
  • 本申请提供一种匀胶系统,涉及光刻工艺技术领域。其中,该匀胶系统包括:光源、投影卡具和底座;所述光源用于投射光线;所述投影卡具位于所述光源的下方;所述底座位于所述投影卡具的正下方,用于固定并以中心直线为轴线旋转所述基片;所述光源照射所述投影卡具后的投影映在所述底座的上表面,且所述投影的轮廓的形状和大小分别对应于所述基片,用于所述基片的定位;其中,所述中心直线穿过所述底座的中心并与所述底座的上表面垂直。本申请技术方案可以实现基片的无接触且快速对中操作,能够解决基片对中时需要使用夹具,容易划伤基片的技术问题。
  • 系统

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