“苏达沙南·拉格纳坦”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]基于失效率的过程窗口-CN202180046736.0在审
发明人：蒋爱琴;苏达沙南·拉格纳坦;吉尔·伊丽莎白·弗里曼;王富明;严飞 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文中描述一种用于基于失效率来确定图案化过程的过程窗口的方法。所述方法包括：(a)获得被印制于衬底上的多个特征；(b)基于指标将所述特征分组为多个组；和(c)基于与特征组相关联的测量数据来产生所述特征组的基础失效率模型，其中，所述基础失效率模型识别与所述特征组的所述失效率相关的所述过程窗口。所述方法还包括使用所述基础失效率模型产生用于特定特征的特定于特征的失效率模型，其中，所述特定于特征的失效率模型识别特定于特征的过程窗口，使得所述特定特征的估计失效率低于指定阈值。
基于失效过程窗口

[发明专利]用于以基于缺陷的过程窗口为基础的校准模拟过程的方法-CN202180014721.6在审
发明人： K·范因根史奇劳;A·史拉奇特;瓦迪姆·尤里耶维奇·季莫什科夫;M·库伊曼;玛丽亚-克莱尔·范拉尔;H·A·迪伦;斯蒂芬·亨斯克;路易斯·阿尔贝托·科利纳·圣玛丽亚·科琳娜;蒋爱琴;王富明;苏达沙南·拉格纳坦 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文中描述关于改善与芯片的制造相关联的模拟过程和解决方案(例如，重定目标图案)的方法。方法包括获得多个剂量‑焦距设置、和基于与所述多个剂量‑焦距设置中的每个设置相关联的被印制的图案的特性的测量值的参考分布。所述方法还包括基于调整模型和所述多个剂量‑焦距设置来确定所述特性的概率密度函数(PDF)，使得减小所述PDF与所述参考分布之间的误差。所述PDF可以是所述调整模型和与剂量相关联的方差的函数，所述调整模型被配置成改变对所述PDF的非线性剂量敏感度贡献的比例。可以基于所述特性的所确定的PDF来调整过程窗口。
用于基于缺陷过程窗口基础校准模拟方法