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[发明专利]测量方法以及基于原子力显微镜测头的大范围轮廓仪-CN202211715351.1在审
发明人：吴森;张锐 -专利权人： 苏州知锐技术有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本申请涉及轮廓测量技术领域，特别是一种测量方法以及基于原子力显微镜测头的大范围轮廓仪。通过AFM测头得到样品轮廓的Z向测量值，基于Z向测量值与样品在AFM测头的探针针尖位置的测量误差值得到样品的真实Z向值，克服了大范围轮廓测量时引起的测量误差，提高了测量精确度。在一些实施例中，当样品轮廓变化使得Z向压电陶瓷接近其行程极限时，通过Z向电机的反馈运动使Z向压电陶瓷向所述Z向压电陶瓷的行程中间运动，样品轮廓上各点的高度即Z向测量值由Z向压电陶瓷位移量和电机位移量之和得到。通过上述设置，在轮廓仪测量过程中不会超出AFM测头的Z向量程，实现了基于原子力显微镜测头即AFM测头的大范围轮廓测量。
测量方法以及基于原子显微镜范围轮廓仪

[实用新型]Z向粗定位组件及采用该Z向粗定位组件的原子力显微镜-CN202222818265.5有效
发明人：刘佶睿;肖莎莎;吴森 -专利权人： 苏州知锐技术有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本申请涉及高精度表面形貌测量仪器领域，更具体地，涉及一种Z向粗定位组件及采用该Z向粗定位组件的原子力显微镜。在本申请的一些实施例中，与固定件连接的测头连接件设置于固定件的重心线上，减小了测头与固定件之间的Z向相对振动，进而减小或消除了探针针尖与样品表面之间存在的Z向相对振动，提高了原子力显微镜测出的样品表面的Z向高度的准确性。在本申请一些实施例中，在测头连接件位于固定件的重心线上时，测头连接件与固定件作为整体其重心降低，更靠近原子力显微镜的重心，测头连接件与固定件作为整体其重心降低，具有更好的稳定性。
定位组件采用原子显微镜

[发明专利]接触式表面形貌测量仪及其安装方法-CN202211314173.1在审
发明人：吴森;肖莎莎;刘佶睿 -专利权人： 苏州知锐技术有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本申请涉及高精度表面形貌测量仪器领域，更具体地，涉及一种接触式表面形貌测量仪及其安装方法。在本申请的一些实施例中，与固定件连接的测头连接件设置于固定件的重心线上，减小了测头与固定件之间的Z向相对振动，进而减小或消除了探针针尖与样品表面之间存在的Z向相对振动，提高了接触式表面形貌测量仪测出的样品表面的Z向高度的准确性。在本申请一些实施例中，在测头连接件位于固定件的重心线上时，测头连接件与固定件作为整体其重心降低，更靠近接触式表面形貌测量仪的重心，减小或消除了测头与接触式表面形貌测量仪之间的Z向相对振动，提高了测出的Z向高度的准确性。
接触表面形貌测量仪及其安装方法

[实用新型]原子力显微镜-CN202122405627.3有效
发明人：吴森 -专利权人： 苏州知锐技术有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种原子力显微镜，包括：光杠杆检测模块，光杠杆检测模块包括激光器、光纤结构、准直镜、反射镜和光电探测器组件；扫描器模块，扫描器模块包括会聚透镜、反射面、微悬臂梁探针和扫描器组件，会聚透镜、反射面和微悬臂梁探针均设置在扫描器组件上；激光器发出的光通过光纤结构进行非相干处理进入准直镜进入会聚透镜，通过会聚透镜的光被反射面反射至探针的微悬臂梁上，微悬臂梁反射的光经反射面返回会聚透镜，然后再通过反射镜进入光电探测器组件。本实用新型解决了现有技术中原子力显微镜在检测的时候由激光干涉现象引起的噪声问题。
原子显微镜

[实用新型]原子力显微镜-CN202122405677.1有效
发明人：吴森 -专利权人： 苏州知锐技术有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种原子力显微镜，包括：光杠杆检测模块，光杠杆检测模块包括非相干光源、准直镜、反射镜和光电探测器组件；扫描器模块，扫描器模块包括会聚透镜、反射面、微悬臂梁探针和扫描器组件，会聚透镜、反射面和微悬臂梁探针均设置在扫描器组件上；非相干光源发出的光通过准直镜进入会聚透镜，通过会聚透镜的光被反射面反射至探针的微悬臂梁上，微悬臂梁反射光经反射面返回会聚透镜，然后再通过反射镜进入光电探测器组件。本实用新型解决了现有技术中原子力显微镜在检测的时候由激光干涉现象引起的噪声问题。
原子显微镜