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[发明专利]放电检查装置、打线装置以及放电检查方法-CN201580019995.9有效
发明人： 笹仓一正;吉野浩章;関根悠超 -专利权人：株式会社新川
申请日： 2015-02-10 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及一种放电检查装置、打线装置以及放电检查方法。放电检查装置(50)是检查对炬电极(48)与金属线(42)之间施加电压而进行放电的打线装置的放电的放电检查装置(50)，且包括：电流检测部(53)，检测流经金属线(42)的放电电流；计时部(56b)，计测自施加电压至检测出放电电流为止的放电检测时间；以及放电判定部(57a)，基于放电检测时间而判定放电是否异常。本发明可检测放电异常。
放电检查装置线装以及方法

[发明专利]球形成装置、打线装置以及球形成方法-CN201580019414.1有效
发明人：萩原美仁;笹仓一正;砂田辰之 -专利权人：株式会社新川
申请日： 2015-02-10 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明是关于一种球形成装置、打线装置以及球形成方法。所述球形成装置(50)，在炬电极(48)与金属线(42)的前端部之间产生放电而在金属线(42)的前端部形成球(43)，且所述球形成装置(50)包括：电流供给部(54)，对电极(48)与金属线(42)的前端部之间供给球形成电流；以及电流控制部(57)，以规定期间内的球形成电流的信号具有规定电流值的第1期间与包含三角波的第2期间的方式，对电流供给部(54)进行控制。由此，可稳定地形成具有规定径(直径)的球，并且可抑制气泡、缩孔、偏心等的异形球的形成。
球形装置线装以及成方