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[发明专利]一种晶圆级半导体应变片转移贴装方法-CN202310143858.2在审
发明人：刘嘉铭;邱华诚;刘智辉;孙鹏;穆勇峰;吴友生;吴双宇;尚瑛琦;陈婧 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/50 文献下载
摘要：一种晶圆级半导体应变片转移贴装方法，本发明属于芯片制作工艺领域，具体涉及一种晶圆级半导体应变片转移贴装方法。本发明要解决现有方法制备半导体应变片难以批量生产，重复性低的技术问题。方法：一、临时键合；二、背面腐蚀分离；三、应变片基底制作；四、圆片分离。本专利通过简便的工艺流程，价格低廉的工艺原料，实现以晶圆级，批量的将应变片进行分离和粘接，同时通过简便的应变片基底制作工艺，将应变片粘接后的性能进行控制，提高应变片产品的一致性和附着力。本发明用于批量制备半导体应变片芯片。
一种晶圆级半导体应变转移方法

[发明专利]一种具有聚酰亚胺和埃洛石纳米管复合湿敏传感层的湿度传感器的制备方法-CN202310136555.8在审
发明人： 穆勇峰;郑丽;刘智辉;侯彦杰;李子旭;柳微微;于洋;司良友;尚瑛琦;吴双宇;刘嘉铭 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C09D179/08 文献下载
摘要：一种具有聚酰亚胺和埃洛石纳米管复合湿敏传感层的湿度传感器的制备方法，本发明涉及具有湿度敏感材料传感器的制备方法领域。本发明为了解决目前对聚酰亚胺湿敏薄膜的改性方法存在制备工艺复杂，价格昂贵的缺陷，导致影响其在湿度传感器中的应用的技术问题。方法：将埃洛石纳米管改性，然后与制备的聚酰亚胺基体树脂混合制备的复合感湿液，再制备成传感器。本发明采用硅烷偶联剂修饰的HNTs作为纳米改性剂，原料来源丰富，环境友好，并且价格低廉。通过引入含亲水基团的纳米管状结构，增加了湿敏材料中水分子的吸附位点，该改性过程简单，适合大规模生产。本发明用于制备具有聚酰亚胺和埃洛石纳米管复合湿敏传感层的湿度传感器。
一种具有聚酰亚胺埃洛石纳米复合传感湿度传感器制备方法

[发明专利]一种晶圆级半导体应变片转移贴装方法-CN202211380777.6在审
发明人：刘嘉铭;穆勇峰;吴双宇;尚瑛琦;郑丽;陈婧;于洋;顾博 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种晶圆级半导体应变片转移贴装方法，本发明属于芯片制作工艺领域，具体涉及一种晶圆级半导体应变片转移贴装方法。本发明要解决现有方法制备半导体应变片难以批量生产，重复性低的技术问题。方法：一、临时键合；二、背面腐蚀分离；三、应变片基底制作；四、圆片分离。本专利通过简便的工艺流程，价格低廉的工艺原料，实现以晶圆级，批量的将应变片进行分离和粘接，同时通过简便的应变片基底制作工艺，将应变片粘接后的性能进行控制，提高应变片产品的一致性和附着力。本发明用于批量制备半导体应变片芯片。
一种晶圆级半导体应变转移方法

[发明专利]一种原位自组装聚合物纳米粒子增强分离膜及其制备方法-CN201810010566.0有效
发明人：王贵宾;朱凯;穆勇峰 -专利权人：吉林大学
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B01D67/00 文献下载
摘要：一种原位自组装聚合物纳米粒子增强分离膜及其制备方法，属于聚合物水处理膜制备技术领域。分离膜是由100重量份的聚醚砜基体和1～4重量份的聚合物纳米粒子组成，聚合物纳米粒子为通过静电相互作用组装在一起的磺化聚醚醚酮和支化聚乙烯亚胺。由于聚合物纳米粒子是通过原位生成的方式引进，同时又是由聚合物分子构成，因此与聚合物膜基体间有很好的相容性，在膜基体里呈现出非常优异的分散性。亲水性聚合物纳米粒子的引入促进了相转化过程中溶剂与非溶剂的交换速率，形成了更加多孔的膜，提高了膜的渗透性。富集到膜表面的亲水性纳米粒子改善了膜表面的亲水性，从而增强了膜的抗污染能力。
一种原位组装聚合物纳米粒子增强分离及其制备方法