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[发明专利]一种高填充因子的MEMS微镜及制造方法-CN202310694434.5在审
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种高填充因子的MEMS微镜及制造方法，微镜包括设于衬底上的微桥结构，微桥结构包括支撑及电连接柱和微桥桥面；微桥桥面上设有微镜镜面，微镜镜面通过支撑及电连接柱电连接衬底；支撑及电连接柱形成于第一沟槽中，第一沟槽设于第一牺牲层中，第一牺牲层位于衬底与微桥桥面之间，支撑及电连接柱包括形成于第一沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于导电体内侧的支撑体，微镜镜面通过导电体电连接衬底，微桥桥面支撑于支撑体和导电体上；微桥结构通过去除第一牺牲层得以释放。本发明能够减小所形成的支撑及电连接柱在微镜中的占用面积，由此使得微镜镜面的面积得到有效的增加，从而能大幅度提升填充因子和产品的性能。
一种填充因子 mems 制造方法

[实用新型]一种高填充因子的MEMS微镜-CN202321493703.3有效
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高填充因子的MEMS微镜，微镜包括设于衬底上的微桥结构，微桥结构包括支撑及电连接柱和微桥桥面；微桥桥面上设有微镜镜面，微镜镜面通过支撑及电连接柱电连接衬底；支撑及电连接柱形成于第一沟槽中，第一沟槽设于第一牺牲层中，第一牺牲层位于衬底与微桥桥面之间，支撑及电连接柱包括形成于第一沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于导电体内侧的支撑体，微镜镜面通过导电体电连接衬底，微桥桥面支撑于支撑体和导电体上；微桥结构通过去除第一牺牲层得以释放。本实用新型能够减小所形成的支撑及电连接柱在微镜中的占用面积，由此使得微镜镜面的面积得到有效的增加，从而能大幅度提升填充因子和产品的性能。
一种填充因子 mems 微镜

[实用新型]基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗-CN202321493651.X有效
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗，节能玻璃包括：衬底玻璃和设于所述衬底玻璃表面上的微镜阵列；所述微镜阵列包括沿所述衬底玻璃表面密布的多个微镜镜面，所述微镜镜面通过一端悬设于锚点上，所述锚点设于所述衬底玻璃的表面上；所述微镜镜面在受热时发生由弯曲向平直的热敏自适应形变，使所述衬底玻璃对应由透光状态转变为被所述微镜镜面遮盖的状态。本实用新型的节能玻璃上的微镜阵列具有热敏自适应性，无需电能操控，就可实现玻璃上从趋于零至趋于100％透过率的高调制比，可用于制作例如节能玻璃窗，具有一定的实用价值。
基于热敏自适应节能玻璃玻璃窗

[发明专利]拍摄方法、装置、设备及计算机可读存储介质-CN202080007322.2有效
发明人： 程正喜;封旭阳 -专利权人：深圳市大疆创新科技有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H04N23/63 文献下载
摘要：一种拍摄方法、拍摄装置、拍摄设备及计算机可读存储介质，所述方法包括：根据目标对象的当前对焦情况，确定拍摄设备的对焦模式，所述对焦模式包括重识别模式、目标跟踪模式(S101)；若确定所述对焦模式为重识别模式，则在当前拍摄画面中重识别所述目标对象，并在重识别到所述目标对象时，对所述目标对象进行对焦(S102)；若确定所述对焦模式为目标跟踪模式，则对所述目标对象进行目标跟踪，以持续对焦所述目标对象，进行拍摄(S103)。
拍摄方法装置设备计算机可读存储介质

[发明专利]一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法-CN202310693038.0在审
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法，微镜单元包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构设有微桥桥面，所述微桥桥面通过至少三个弹性支撑体弹性支撑于所述衬底上，所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑体相隔离；所述衬底上设有施力机构，通过所述施力机构对各所述支撑体中的至少一个施加作用力，使其对应发生高度上的弹性伸张或压缩，带动使所述微桥桥面以及所述微镜镜面作对应方向和角度的偏转。本发明能减小驱动微镜时所需的吸合电压，可采用与CMOS工艺完全兼容的技术实现，并能够大幅度提升产品的性能及降低成本。
一种弹性支撑单元阵列制造方法

[发明专利]一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法-CN202310694444.9在审
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接，所述支撑及电连接柱电连接所述衬底，所述微镜镜面受驱动时，带动所述微桥桥面在所述支撑及电连接柱上绕活动支撑处偏转。本发明能够显著降低微镜的吸合电压，并可降低器件的工作电压。
一种采用活动支撑结构制造方法

[发明专利]基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法-CN202310693050.1在审
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法，节能玻璃包括：衬底玻璃和设于所述衬底玻璃表面上的微镜阵列；所述微镜阵列包括沿所述衬底玻璃表面密布的多个微镜镜面，所述微镜镜面通过一端悬设于锚点上，所述锚点设于所述衬底玻璃的表面上；所述微镜镜面在受热时发生由弯曲向平直的热敏自适应形变，使所述衬底玻璃对应由透光状态转变为被所述微镜镜面遮盖的状态。本发明的节能玻璃上的微镜阵列具有热敏自适应性，无需电能操控，就可实现玻璃上从趋于零至趋于100％透过率的高调制比，可用于制作例如节能玻璃窗，具有一定的实用价值。
基于热敏自适应节能玻璃玻璃窗制造方法

[发明专利]一种实现数字化旋转控制的微镜-CN202310694412.9在审
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种实现数字化旋转控制的微镜，包括：设于衬底上的一对墙体，墙体相对的墙面上沿高度方向对应设有多个卡槽；两端分别卡接于两个墙体上的一个卡槽中的梁结构；连接在梁结构上的一对升降机构；通过使其中一个升降机构上升，将位于对应侧的梁结构的一端顶起，由当前卡接的一个卡槽中滑出，并弹入上方相邻的另一个卡槽中，同时，通过使另一个升降机构下降，将位于对应侧的梁结构的另一端拽下，由当前卡接的一个卡槽中滑出，并弹入下方相邻的另一个卡槽中，使得梁结构发生对应角度的上下转动，以使连接在梁结构上的微镜镜面跟随旋转。本发明可实现对微镜的数字化步进式旋转控制，并能大幅度提升产品的性能。
一种实现数字化旋转控制

[发明专利]一种低吸合电压的微镜结构及制造方法-CN202310694427.5在审
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种低吸合电压的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的锚点，和通过一端与所述锚点连接并悬设于所述衬底上的微镜镜面，以及对应设于所述微镜镜面下方的所述衬底上的寻址电极；所述微镜镜面与所述锚点一一对应设置；所述微镜镜面在来自所述寻址电极的静电驱动下，发生相对于所述衬底表面的整体倾斜，并在失去来自所述寻址电极的静电驱动时，受弹性作用发生整体回复。本发明能有效降低微镜的吸合电压，并可与CMOS工艺设计兼容，具有结构相对简单，成本较为低廉的优势。
一种低吸合电压结构制造方法

[发明专利]跟随方法、可移动平台、设备和存储介质-CN202080004200.8有效
发明人： 程正喜;杨龙超;封旭阳 -专利权人：深圳市大疆创新科技有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H04N5/232 文献下载
摘要：一种跟随方法、可移动平台、设备和存储介质，可移动平台可以获取不同图像采集设备采集到的不同视场角的第一图像和第二图像。若识别出第一图像中包含目标物，则表明第一图像对目标物跟随成功，此时，可移动平台会对目标物对第一图像中的位置进行标注，再将标注结果映射到第二图像中，以确定目标物在第二图像中的位置。由于第一图像和第二图像的视场角不同，因此，上述方法也即是实现了从不同角度对目标物的跟随，使得目标跟随的效果更佳丰富。另外，目标物在第二图像中的位置是以目标物在第一图像中的位置为依据确定的，使得目标物在第二图像中实现跟随的过程更为简便、快速，保证了跟随效果。
跟随方法移动平台设备存储介质

[实用新型]一种微镜结构、微镜阵列以及探测器-CN202022591336.3有效
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微镜结构，包括：六边形光反射膜，悬设于衬底上；六段导电梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，各导电梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的一条对应边的外侧上；六个支撑柱，分别支撑于每两段导电梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段导电梁中通电，使导电梁中的下导电梁和上导电梁因静电相吸或排斥而使导电梁整体产生向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应边向上或向下位移，并通过对各段导电梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本实用新型还公开了一种微镜阵列和探测器。
一种结构阵列以及探测器

[实用新型]一种微镜结构、微镜阵列及探测器-CN202022591864.9有效
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微镜结构，包括：六边形光反射膜，悬设于衬底上；六段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的一条对应边的外侧上；六个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应边向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本实用新型还公开了一种微镜阵列和探测器。
一种结构阵列探测器

[实用新型]微镜结构、微镜阵列和探测器-CN202022592475.8有效
发明人： 程正喜;徐鹤靓;陈永平 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微镜结构，包括：光反射膜，悬设于衬底上；多段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的外侧上；多个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应侧向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本实用新型还公开了一种微镜阵列和探测器。
结构阵列探测器

[发明专利]拍摄方法、拍摄装置及存储介质-CN202080006539.1在审
发明人： 程正喜;封旭阳 -专利权人：深圳市大疆创新科技有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H04N5/232 文献下载
摘要：一种拍摄方法、拍摄装置及存储介质，该方法包括：在当前对焦模式下，获取图像序列中N帧图像的N个对焦区域(S101)；根据所述N个对焦区域中的对焦目标，确定是否对所述当前对焦模式进行切换(S102)；以确定后的对焦模式进行拍摄(S103)。
拍摄方法装置存储介质

[发明专利]拍摄方法、拍摄装置及存储介质-CN202080005968.7在审
发明人： 程正喜;封旭阳 -专利权人：深圳市大疆创新科技有限公司
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H04N5/232 文献下载
摘要：一种拍摄方法、拍摄装置及存储介质，该方法包括：获取目标人物的至少局部部位在当前帧图像中的当前姿态(S101)；根据目标人物的至少局部部位在当前帧图像中的当前姿态，确定所述目标人物的至少局部部位在当前帧图像中对应的标准姿态的尺寸信息(S102)；根据所述目标人物的至少局部部位在当前帧图像中对应的标准姿态的尺寸信息，与在先前帧图像中对应的标准姿态的尺寸信息的变化，控制对焦装置进行对焦(S103)；根据对焦结果进行拍摄(S104)。
拍摄方法装置存储介质

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