“秋山裕照”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]检查方法及检查装置-CN201811137848.3有效
发明人：矢部诚;秋山裕照;井上贵文 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明的实施方式涉及检查方法及检查装置。实施方式的检查方法具备粗校准工序和精校准工序，在粗校准工序中，取得作为确认相对于X、Y方向的样品(2)的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下的粗校准中使用的图案而预先设定的第1及第2图案的光学图像，基于取得结果，确认位置偏移量是否为第1容许值以下，在精校准工序中，在确认了为第1容许值以下的情况下，取得在样品(2)的光学图像上位于以沿着X、Y方向的四边构成的矩形框的不同的角部上、且在对位置偏移进行校正的精校准中使用的第3图案的光学图像，使台架(6)旋转，直到基于第3图案的光学图像检测到的位置偏移量达到比第1容许值小的第2容许值以下为止。
检查方法装置

[发明专利]图案检查装置以及图案检查方法-CN201911118601.1在审
发明人：井上贵文;中岛和弘;矶部学;秋山裕照 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及图案检查装置以及图案检查方法。本发明的一方式的图案检查装置具备：光学图像取得机构，从形成有多个图形图案的基板取得多个区域的光学图像数据；多个比较处理电路，进行裸片－裸片检查处理与裸片－数据库检查处理中的一方的处理，该裸片－裸片检查处理将光学图像数据彼此进行比较，该裸片－数据库检查处理将光学图像数据与根据设计图案数据制作的参照图像数据进行比较；以及检查处理电路，以如下方式进行控制，按多个区域的每个区域，分别将该区域的光学图像数据向多个比较处理电路中的按每个区域可变地设定的数量的比较处理电路输出，对光学图像数据的输出目的地的各比较处理电路进行裸片－裸片检查处理或裸片－数据库检查处理。
图案检查装置以及方法