|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 3个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]谐振装置制造方法-CN201780029832.8有效
-
盛永俊吾
-
株式会社村田制作所
-
2017-01-24
-
2022-03-08
-
H03H3/007
- 一种谐振装置制造方法，不损害谐振子的压电性而进行谐振频率的调整。包括：准备下盖的工序；将基板配置为该基板的下面与上述下盖对置，并在基板的上面依次形成第一电极层、压电膜以及第二电极层的工序；由第一电极层、第二电极层以及压电膜形成进行弯曲振动的振动臂，形成具有该振动臂的谐振子的工序；以及将上盖配置为隔着谐振子与下盖对置的工序，在配置上盖的工序之前或者之后，还包括通过在第一电极层与第二电极层之间施加电压，使振动臂激励，使该振动臂的一部分与下盖以及上述上盖的至少一方碰撞，来调整谐振子的频率的工序。
- 谐振装置制造方法
|
