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[发明专利]振动传感器的制作方法、振动传感器及电子设备-CN202310522392.7在审
发明人： 王邦水 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明提出一种振动传感器的制作方法、振动传感器以及电子设备，该振动传感器的制作方法包括如下步骤：提供金属外壳，所述金属外壳朝向开口的底壁形成第一电极；在拾振组件电镀金属层形成第二电极；将拾振组件固定在金属外壳中并与第一电极相对设置；将电路板罩盖于金属外壳的开口并使电路板分别与金属外壳和第二电极电连接。本申请的技术方案，可以缩小振动传感器的体积，以适应电子设备的轻薄化和小型化发展趋势。
振动传感器制作方法电子设备

[发明专利]光罩、阵列基板及其制作方法、显示面板及电子设备-CN202310534102.0在审
发明人： 王邦水 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G03F1/60 文献下载
摘要：本发明提供一种光罩、阵列基板及其制作方法、显示面板及电子设备，光罩包括基体和设置于基体上的图案层，基体为凸透镜。图案层一般由不透光的材料制成，图案层形成有图形，经过曝光、显影、蚀刻等工序后能够将对应的图形转移到基板上。当光线通过图案层的孔隙时会发生散射，造成实际入射到光阻层上的关键尺寸偏宽，降低了最终产品的精度。该光罩通过将基体成设计为由凸透镜制成，光线通过图案层的间隙入射到凸透镜上，虽然同样会产生光的散射，但当光线穿过凸透镜时，由于凸透镜具有汇聚光线的作用，能够减小或抵消光的散射作用，使得穿过凸透镜后入射到光阻层上的光线与光罩的实际间隙大小相同或更相近，提高了制作精度。
阵列及其制作方法显示面板电子设备