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[发明专利]一种晶圆夹持装置和等离子体处理设备-CN201911168656.3有效
发明人：梁洁;倪图强;王伟娜;吴磊 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种晶圆夹持装置，包括静电吸盘和接地装置，静电吸盘内部可以形成有静电电极板，静电电极板可以连接直流电源，接地装置可以包括互连的金属接地端和顶部部分，金属接地端用于连接地线，在静电吸盘上固定有晶圆，晶圆上方形成有等离子体时，顶部部分与等离子体接触，实现晶圆的接地，而顶部部分会使静电吸盘中的直流信号接地，且阻断射频信号在等离子体与地线之间的传输，这样可以为直流信号提供接地端，即为晶圆的夹持提供接地端，而射频信号不会通过接地装置接地，将射频回路和直流回路分隔开，提高晶圆夹持的可靠性。
一种夹持装置等离子体处理设备

[发明专利]等离子体处理装置-CN201910790446.1有效
发明人： 王伟娜;黄允文;梁洁 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，该等离子体处理装置包含真空反应腔室，内部有处理基片的等离子体；该反应腔室底部设有承载基片的基座；在基座的外缘环绕设有聚焦环；在聚焦环的下方设置有第一绝缘环，该第一绝缘环环绕基座；在第一绝缘环的内部或下方设置有加热器；在第一绝缘环的下方设置有屏蔽环，该屏蔽环接地并环绕基座；在屏蔽环的内部设置有电路接线，该电路接线用于向所述加热器提供电能。本发明对聚焦环的加热更均匀，实现更准确精细快速灵敏的温度控制和调节，同时线路设计简单可靠，可有效隔绝射频干扰。
等离子体处理装置

[发明专利]一种具有柔性电介质薄片的等离子体处理装置-CN201910837528.7有效
发明人： 王伟娜;涂乐义;梁洁;雷仲礼;叶如彬 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有柔性电介质薄片的等离子体处理装置。柔性电介质薄片的上部与接地环结构导电连接，下部与围成反应腔的腔体外壁导电连接；接地环结构环绕在等离子体处理装置的基座外围，并可随基座一起在反应腔的腔体内上下移动或定位在设定的高度；柔性电介质薄片的最短长度，与接地环结构到腔体之间的最远距离相匹配。本发明的柔性电介质薄片通过优化，有良好的射频电流通过能力，安装方便，使用寿命长，且不产生金属污染。
一种具有柔性电介质薄片等离子体处理装置

[发明专利]一种等离子体处理装置-CN202010468437.3有效
发明人：吴磊;王伟娜 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，其包含：真空反应腔，其内具有上电极和可移动下电极，两者相对设置且两者之间为等离子体环境；等离子体约束装置，其环绕设置于可移动下电极的外侧；中接地环，设置于等离子体约束装置的下方；上接地环，位于可移动下电极与等离子体约束装置之间；外绝缘环，位于等离子体约束装置上包围上接地环的内侧壁、外侧壁和顶部表面；内绝缘环，包围可移动下电极的顶部表面和外侧壁，内绝缘环与外绝缘环之间形成缝隙。其优点是：其采用外绝缘环、内绝缘环等部件相结合，避免了真空反应腔内上接地环等遭受等离子体侵蚀，减少了其损坏的可能性，延长了等离子体处理装置的使用寿命，也为工作人员的日常维护工作提供了便利。
一种等离子体处理装置

[发明专利]一种等离子体处理装置及其约束环组件与方法-CN202010554322.6有效
发明人： 王伟娜;吴磊;叶如彬;范光伟 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体处理装置及其约束环组件与方法，反应腔内设置用于支撑基片的下电极组件，射频功率源将射频功率施加至下电极组件，反应腔还包括：等离子体约束环组件，环绕设置于下电极组件外围，包括等离子体约束环和接地环；接地环在等离子体约束环下方，接地环包含内环和外环，内环电接地，内环通过中间件与外环连接，内环与等离子体约束环内侧之间存在第一电容，外环与等离子体约束环外侧之间存在第二电容，第一电容大于第二电容，使得射频电流经由第一电容进入接地环的内环。本发明改变射频回路局部路径，解决等离子体约束环与接地环内环间出现的放电问题，可使用的射频功率的范围变宽；射频回路稳定，机械加工简单、方便。
一种等离子体处理装置及其约束组件方法

[发明专利]一种水利建筑施工方位倾度测量仪-CN202310712271.9有效
发明人：徐勇;张亚平;王可铮;徐蕾;王伟娜;申远;冯帆 -专利权人：北京永慧互赢科技有限公司;华北水利水电大学
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01C9/14 文献下载
摘要：本发明提供一种水利建筑施工方位倾度测量仪，涉及水利建筑施工技术领域，包括立板，所述立板的顶端固定安装有横梁，所述横梁的底面固装有刻度盘和吊线，所述吊线的底端固定安装有线坠，所述横梁的顶面开设有收纳槽，所述收纳槽的内壁开设有侧槽，所述侧槽的内壁滑动连接有滑杆，所述滑杆的一端固定安装有移动板，所述移动板的侧面固装有收卷杆，所述收纳槽的内壁固定安装有磁铁，所述移动板的侧面固装有铁片。本发明通过设置的收卷杆可以方便的收卷吊线，这样可以避免收纳时吊线出现打结的情况，且在收卷棒不使用时，收卷杆还可以方便的收入收纳槽存放，避免占用额外的空间，实用性较高。
一种水利建筑施工方位测量仪

[发明专利]射频电极组件和等离子体处理设备-CN201910600861.6有效
发明人：陈龙保;梁洁;王伟娜;涂乐义 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于等离子体处理设备的射频电极组件和等离子体处理设备，其中，用于等离子体处理设备的射频电极组件包括：基座，基座内设置有第一流体通道，第一流体通道连接第一流体源；位于基座上的静电夹盘；位于静电夹盘外围的聚焦环；位于基座周围的热传导环，热传导环至少部分包围基座，热传导环位于聚焦环下方，热传导环内设置有第二流体通道，第二流体通道连接第二流体源，热传导环与聚焦环之间能够进行热传导。所述等离子体处理设备能够对待处理基片边缘区域聚合物的分布进行调节。
射频电极组件等离子体处理设备

[发明专利]一种便于固定的建筑施工测量装置-CN202310986304.9在审
发明人：徐勇;张亚平;王可铮;徐蕾;王伟娜;申远;冯帆 -专利权人：北京国智惠民互联网科技有限公司
申请日： 2023-08-08 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种便于固定的建筑施工测量装置，涉及建筑施工测量技术领域。包括放置板，所述放置板底部通过螺丝安装有万向轮，所述放置板顶部设有移动装置，所述放置板顶部焊接固定座，所述固定座顶部开设有第一放置槽，所述第一放置槽内部对称开设有滑轨，所述滑轨内壁底部设有液压缸，所述液压缸顶部套接液压杆，所述液压杆顶部焊接有滑块，所述滑块滑动安装在滑轨内壁。该一种便于固定的建筑施工测量装置，通过旋转装置、限位装置和连接装置的组合设置，不仅仅能对建筑施工测量装置进行限位固定，同时可以能对其进行旋转，从而建筑施工测量装置在使用时不再需要人工不断地来回搬运进行测量，方便其更好地进行测量，确保了测量的效果和速度。
一种便于固定建筑施工测量装置

[发明专利]三明治结构柔性抗干扰应变兼温度传感材料及其制备方法-CN202310236083.3在审
发明人：翟倩倩;张荣敏;赵荻;卢志华;王静;王伟娜 -专利权人：济宁学院
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B32B27/28 文献下载
摘要：本发明属于柔性电子技术领域，具体涉及三明治结构柔性抗干扰应变兼温度传感材料及其制备方法。所述的三明治结构柔性抗干扰应变兼温度传感材料，包括底、中、上三层和两个电极，底层为纯PDMS保护层，中层为PDMS/液态金属复合物，上层为纯PDMS保护层；金属箔作为电极，金属箔一部分固定于底层和中层之间，一部分裸露在外用于与检测装置相连。价格低廉，有效避免了液态金属“漏液”导致的电性能不稳定、抗干扰能力不足的问题。本发明还提供了科学合理、操作便捷的制备方法。
三明治结构柔性抗干扰应变温度传感材料及其制备方法

[发明专利]一种可调式水深测量装置-CN202310934026.2在审
发明人：徐勇;张亚平;王可铮;徐蕾;王伟娜;申远;冯帆 -专利权人：北京永慧互赢科技有限公司;华北水利水电大学
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01C13/00 文献下载
摘要：本发明涉及测量装置技术领域，具体为一种可调式水深测量装置，包括测量仪主体、探测头、数据线、显示面板和控制按钮，所述数据线安装于测量仪主体和探测头之间，所述显示面板和控制按钮分别安装于测量仪主体的表面，所述测量仪主体的表面套设有连接壳，所述连接壳的表面开设有插槽。本发明，通过设置该连接壳，工作人员可以将测量仪主体安装在连接壳内，然后将探测头安装在弹性夹上，然后通过调节多节伸缩杆，使探测头能够处于合适高度处进行测量使用，且通过手拧螺栓对多节伸缩杆的角度进行调整固定，探测头不会轻易晃动移动，使工作人员能够快速进行测量，无需等待较长时间，以便工作人员进行使用。
一种调式水深测量装置

[外观设计]笔记本（减重代谢术后自我管理手册）-CN202330251834.X有效
发明人： 王伟娜 -专利权人：安徽省立医院(中国科学技术大学附属第一医院)
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： 19-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：笔记本（减重代谢术后自我管理手册）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于记录文字。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
笔记本代谢术后自我管理手册

[发明专利]一种建筑施工道路抗沉降地基-CN202310836598.7在审
发明人：徐勇;张亚平;王可铮;徐蕾;王伟娜;申远;冯帆 -专利权人：北京永慧互赢科技有限公司;华北水利水电大学
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： E01C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种建筑施工道路抗沉降地基，涉及建筑施工技术领域，包括装置主体，所述装置主体包括支撑柱、连接管、第一加固网以及地基基层，所述装置主体底部与支撑柱顶部连接，所述支撑柱顶部设有支撑块，所述支撑块顶部与装置主体底部紧密贴合，通过支撑柱外部的翼板能够有效提高与土壤的接触面积，从而有利于通过翼板对支撑柱进行支撑，从而有效防止地基下沉，通过固定栓将第一加固网与第二加固网进行卡合，从而通过固定环与固定栓的螺纹连接，将第一加固网与第二加固网能够进行固定和限位，防止第一加固网与第二加固网发生水平方向偏移，通过对加固网进行灌浆能够有效提高路基的横向抗拉能力，进而有利于防止路基表面开裂变形。
一种建筑施工道路沉降地基

[发明专利]一种建筑防护棚及便捷搭建结构-CN202310889134.2在审
发明人：徐勇;张亚平;王可铮;徐蕾;王伟娜;申远;冯帆 -专利权人：北京国智惠民互联网科技有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： E04H1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种建筑防护棚及便捷搭建结构，涉及建筑结构装置技术领域，包括装置主体，所述装置主体包括固定座、顶板、安装槽以及第二螺栓，所述装置主体底部焊接有底座，所述底座底部与固定座顶部螺纹连接，所述固定座外部套装有固定板，所述装置主体两侧设有安装槽，该搭建结构在进行安装时，通过第一卡条与第二卡条对相邻的顶板进行连接，从而有利于避免雨水通过顶板连接处的缝隙渗入，同时通过U形状的第一卡条与第二卡条能够使卡条具有伸缩性，进而有利于在热胀冷缩的作用下使顶板连接处避免产生缝隙，同时通过将底座与固定板采用预埋的安装方式，通过固定板提高与地下的接触面积，进而有利于提高该防护棚底部的抗压能。
一种建筑防护便捷搭建结构

[发明专利]一种实验室信息管理平台-CN202310509688.5在审
发明人：何建丽;高新林;王强;王伟娜;吴镇池 -专利权人：黑龙江图启信息技术工程有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H04L47/2408 文献下载
摘要：本发明公开了一种实验室信息管理平台。本专利通过采用身份验证模块、身份安全评估模块、限流模块以及后台插入模块，使得在实际使用时可以通过限制传输文件的速度，通过多层身份的验证，从而对传输信息的人员身份安全进行保障，且由于采用了限流的方式，使得在多人同时使用该管理平台时，不易因局域网网速的限制而导致重要文件的传输受到影响，并通过管理人员的信息对不同等级的人员信息进行相对应的速度调整，保障及时在最大程度运行该管理平台时，该管理平台依旧不会因速度受限而影响文件的传输效率，避免影响重要实验研发进度的可能，且不易造成局域网因速度受限而出现崩溃的情况，降低了数据出现丢失的可能。
一种实验室信息管理平台

[实用新型]一种角度可调的鼠标架-CN202123113324.0有效
发明人： 王伟娜;赵燕;杨芸;马战宝;李昊;刘欢;吴芬芬 -专利权人：河南交通职业技术学院
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G06F3/039 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种角度可调的鼠标架，包括：支架、弧形板；所述支架上设有紧固销孔，所述弧形板上设置有连接孔，所述弧形板设置在支架的上方，所述紧固销孔与所述连接孔通过紧固销连接，使所述弧形板在所述支架上可旋转；所述弧形板上设置有鼠标板；本装置可通过对调整件进行调整，使鼠标板的角度发生改变，进而适用不同人的不同坐姿。角度的调整，可有效避免人体手腕、手臂处长时间工作造成的疲劳、酸痛，且本装置的结构简单、实用性强。
一种角度可调鼠标

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