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[实用新型]装载装置-CN202021134754.3有效
发明人：袁鹏华;火天樾 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种装载装置，包括：静电吸盘，所述静电吸盘包含台阶面；导热圈，所述导热圈具有外边缘面；所述静电吸盘与所述导热圈在所述台阶面处相连接，所述台阶面和所述外边缘面之间具有间隙。据此，由于所述间隙的存在，静电吸盘的边缘和导热圈的边缘，即在所述外边缘面处，静电吸盘和导热圈为悬空设置，首先不会产生接触应力，其次导热圈的热胀冷缩效应也有补偿，最后在此处导热圈没有和静电吸盘直接热交换，从而避免了应力集中的涂层边缘产生额外的附加应力，延缓了静电吸盘的台阶面的边缘处的破损发生，避免了破损处发生电弧故障而静电吸盘本体中的铝材料进入到反应腔体，避免晶圆缺陷发生。
装载装置

[实用新型]拆卸工具-CN202021135614.8有效
发明人：袁鹏华;火天樾 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种拆卸工具，包括：安装座，所述安装座包含安装槽；切割片，所述切割片设置在所述安装槽内。据此，切割片能够将导热胶顺利的分割，并且能够坚固耐用，且不需要整体更换工具，利于节约维护成本。
拆卸工具