专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种晶圆检测装置-CN201921518735.8有效
  • 白落;潘中宝 - 紫光宏茂微电子(上海)有限公司
  • 2019-09-12 - 2020-05-26 - G01N21/88
  • 本实用新型实施例公开了一种晶圆检测装置。本实用新型的晶圆检测装置,包括:底板、移动机构、承载盘、支架、检测镜头、清洁机构和控制器,移动机构设置在底板的第一滑轨,承载盘设置在移动机构上,承载盘设有放置晶圆的圆形凹槽,支架设置在底板上,检测镜头设置在支架上,位于承载盘的上方,清洁机构包括:氮气源、吹气管和氮气管路,吹气管设置在支架上,通过氮气管路与氮气源连接。本实用新型的晶圆检测装置,氮气源向吹气管输送高压氮气,对晶圆进行清洁吹扫,检测镜头摄取清洁后的晶圆图像,并传送至检测设备,控制器控制晶圆前后和左右移动,以对晶圆进行全景检测,提高了晶圆的检测效率和良率,也保证后续的封装制程的顺利进行。
  • 一种检测装置

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