专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果4个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]基板处理装置和判定方法-CN201980015527.2在审
  • 渡部谦 - 东京毅力科创株式会社
  • 2019-06-20 - 2020-10-13 - H01L21/02
  • 提供一种在基板处理装置中可实现满足指定条件的OR搬送的技术。基板处理装置具有:确定部,其参考多个处理模块各自的在各处理时隙的使用状态,并从在各处理时隙能够使用的处理模块中确定能够执行待处理的控制作业中包含的各基板的处理的处理模块;计算部,其在由所述确定部所确定的处理模块的各处理时隙分配所述各基板的处理,并计算所述各基板的处理的开始至结束的时间;及决定部,其决定开始进行所述各基板的处理的开始时间,以使由所述计算部所计算的时间满足指定条件。
  • 处理装置判定方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top