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[实用新型]一种检测设备-CN202221316201.9有效
发明人： 洪艮超;张鹏斌;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种检测设备，该检测设备包括：承载件，所述承载件被配置为承载物料，所述物料具有待测面；检测光源所述检测光源与所述承载件间隔设置，当所述承载件上承载有物料时，所述检测光源被配置为向所述物料的待测面的一侧发射检测光，并形成反射光；成像装置，所述成像装置与所述承载件间隔设置，所述成像装置设置在所述反射光的光路上，所述成像装置被配置为获取从所述待测面上反射的反射光并形成检测图像，其中，所述成像装置获得的反射光全部由所述检测光源发射的检测光形成，从而提高了缺陷检测能力。
一种检测设备

[实用新型]一种角度调整装置和检测设备-CN202221327999.7有效
发明人：董坤玲;洪艮超;段晓炳;孙世宏;王晓山;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：一种角度调整装置和检测设备，包括：基板。位于基板上方的第一转盘。连接于第一转盘的第一驱动机构，第一驱动机构被配置为驱动第一转盘沿第一方向转动。位于第一转盘上方的角度调节板。连接于角度调节板的第二驱动机构，第二驱动机构被配置为驱动角度调节板沿第二方向转动。位于角度调节板上方的第二转盘。连接于第二转盘的第三驱动机构，第三驱动机构被配置为驱动第二转盘沿第三方向转动。位于第二转盘上方的承载机构，承载机构被配置为承载待测物。连接于承载机构的第四驱动机构，第四驱动机构被配置为驱动承载机构沿第四方向转动。角度调整装置以机械的方式取代人工转动角度，提高待测物的检测精度和检测效率，便于提高待测物良率。
一种角度调整装置检测设备

[实用新型]一种自动检测装置-CN202123326578.0有效
发明人： 洪艮超;董坤玲;孙世宏;王启坤;张鹏斌;夏爱华;汪辉;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01N21/89 文献下载
摘要：一种自动检测装置，包括传输设备、边缘检测设备以及表面检测设备；传输设备包括装载装置、机械手装置以及校准装置，装载装置用于盛放待测物体，机械手装置用于将待测物体传输至校准装置，校准装置用于确定待测物体的中心以及预设标记的方向；边缘检测设备用于对位于校准装置上的待测物体的边缘进行第一预设特征的检测；机械手装置还用于将位于校准装置上的待测物体以预设姿态传输至表面检测设备；表面检测设备用于对待测物体的表面进行第二预设特征的检测。可见，自动检测装置可以完成对待测物体的正面、背面以及边缘的预设特征的自动检测，如完成晶圆的宏观缺陷的自动检测，提高检测效率以及准确率。
一种自动检测装置

[实用新型]一种边缘检测设备以及设备前端模块-CN202123457242.8有效
发明人： 洪艮超;董坤玲;张鹏斌;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：一种边缘检测设备以及设备前端模块，边缘检测设备包括：转动系统，被配置为驱动待测物体沿预设轴线转动；转动系统还被配置为检测待测物体的转速，在待测物体的转速为匀速的情况下，输出第一控制信号；边检探测系统，与转动系统间隔设置，边检探测系统包括同轴相对设置的第一照明组件以及第二照明组件，边检探测系统被配置为在第一控制信号的触发下，控制第一照明组件和第二照明组件中至少一个进行照明，获取在预设检测区域的图像。可见，通过转动系统以及边检探测系统配合，进行图像的缺陷检测，提高边缘的缺陷检测的自动化程度。同时，同轴设置的两个照明组件，可以实现三种照明模式，边检探测系统获取到三个图像，从而进行缺陷检测。
一种边缘检测设备以及前端模块

[实用新型]一种承载装置及检测设备-CN202123320776.6有效
发明人：董坤玲;段晓炳;金建高;洪艮超;张鹏斌;孙世宏;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种承载装置及检测设备，其中，承载装置包括被配置为固定工件的第一部位的第一载具、被配置为固定工件的第二部位的第二载具以及动力端分别耦合至第一载具和第二载具的驱动组件，驱动组件被配置为驱使第一载具和第二载具在第一位置与第二位置之间运动；当第一载具和第二载具中的一者运动至第一位置并固定承接工件、另一者运动至第二位置时，驱动组件还被配置为驱使承接有待载工件的一者在预设空间内运动。通过第一载具与第二载具的切换配合，能够从工件的不同部位对其进行承接固定，借助驱动组件来调控两个载具的运动形式，不但避免在工件表面检测过程中形成盲区，实现全面、无死角的检测作业，而且能够为人工检测和自动检测创造有利条件。
一种承载装置检测设备

[发明专利]一种表面检测方法、设备以及存储介质-CN202111635133.2在审
发明人：陈鲁;洪艮超;董坤玲;张鹏斌;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种表面检测方法、设备以及存储介质，表面检测方法，包括：将背景图像调整至预设颜色，预设颜色包括至少一种颜色；调整待测物体的待测表面至预设角度，预设角度包括至少一个角度，预设角度反映待测表面与水平面的夹角；将背景图像确定为待测表面的成像背景，采集待测表面对应的检测图像，其中，检测图像包括背景图像的部分或全部在待测表面上反射形成的反射图像；根据检测图像，检测待测表面的预设特征。可见，采用上述表面检测方法，可以形成多种光谱、多种成像角度对应的检测图像，通过处理终端对多个检测图像进行缺陷检测，提高自动化程度、提升晶圆缺陷检出率以及提高检测的精确度以及一致性。
一种表面检测方法设备以及存储介质

[实用新型]一种检测设备-CN202120666358.3有效
发明人： 洪艮超;张鹏斌;刘建鹏;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种检测设备，包括用于承载待检工件的承载装置、用于驱使承载装置绕第一轴线旋转的驱动装置以及布置于承载装置的上方空间的检测装置；其中，检测装置包括用于发射检测光以照射待检工件表面的光发射件、用于供人眼观测待检工件表面的观测窗口以及布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内以获取工件的表面图像的图像采集装置。通过将观测窗口与图像采集件布置于基本相同的位置，可在基本相同的视角或者观测路径下，完成对待检工件表面的同一区域位置的人工观测和设备视觉检测，实现同步及同位置的人工观测与设备视觉检测，有效地提高了检测效率。
一种检测设备

[发明专利]一种移动式自寻位液晶屏像素质量分析装置和方法-CN201611117746.6在审
发明人：卢振洋;洪艮超;闫志鸿;白立来 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：一种移动式自寻位液晶屏像素质量分析装置和方法，属于液晶屏缺陷检测技术领域。该分析装置包括计算机、面阵相机、镜头、随动式遮光装置、二维移动机构、液晶屏控制器、相机外触发控制器、背光光源。镜头安装在面阵相机上，将遮光装置通过螺钉固定在相机上，使得镜头在遮光装置内部，将相机和遮光装置组成的系统通过螺栓连接固定于二维移动机构上，计算机与相机通过网线连接，计算机与相机外触发控制器通过数据线连接，相机与相机外触发控制器通过数据线连接。本发明可实现相机曝光时间的控制，将曝光时间设置为周期性的多种时长的脉宽，进而实现大动态范围成像，拍摄速度快，合成后精准度高，提高了作业效率。
一种移动式液晶屏像素质量分析装置方法

[发明专利]一种回转体线扫描自模板缺陷检测装置-CN201510919435.0在审
发明人：闫志鸿;高吉军;洪艮超;皮冬冬 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2015-12-11 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种回转体线扫描自模板缺陷检测装置，属于回转体缺陷检测技术领域。包括回转体、外表面检测反射镜、内表面检测反射镜、同轴光源、半透半反镜固定外壳、半透半反镜子、线阵图像传感器。回转体围绕自身轴旋转，回转体外表面线形图像通过外表面检测反射镜反射并成像到线阵图像传感器上，内表面线形图像通过内表面检测反射镜反射并同样成像到线阵图像传感器上，下表面线形图像直接成像至线阵图像传感器上。旋转360°后，线阵传感器即可采集到回转体外表面、下表面和内表面的图像，由于采用线阵相机采集图像，且目标是回转体，因此在图像中的扫描方向，图像特征保持一致，当图像特征出现不一致情况时，表面回转体出现缺陷。
一种回转扫描模板缺陷检测装置

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