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[发明专利]晶片清洁装置及晶片清洁方法-CN202310995154.8在审
发明人：朱亮;李阳健;陈道光;汪谢乐 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶盛创芯半导体设备有限公司
申请日： 2023-08-09 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶片清洁装置及晶片清洁方法，该晶片清洁装置包括：夹持单元，包括固定盘和多个活动设于固定盘的夹爪，多个夹爪沿着固定盘的周向分布；甩干单元，用于带动固定盘运动；检测单元，设有多个且与夹爪一一对应设置，用于检测夹爪对晶片的夹持状态；及调节单元，设有多个且与夹爪一一对应设置，调节单元驱动夹爪活动。本发明的优点在于：在使用本发明提供的晶片清洁装置时，可以通过检测单元检测晶片的夹持状态，以获知晶片夹爪对晶片的夹持力是否过小或过大，从而判断晶片是否处于容易脱落或容易受损的状态；根据检测单元的检测结果，对应的调节单元驱动对应的夹爪活动，以将对应的夹爪对晶片的夹持力调节到合适区间内。
晶片清洁装置方法

[发明专利]一种实现电磁阀快速运动的控制系统及其方法-CN202010014878.6有效
发明人：钟麒;汪谢乐;王军;何贤剑;孙造诣;李研彪;陈波;孙鹏 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种实现电磁阀快速运动的控制系统及其方法。系统包括预加载高电压源、预加载稳电压源、高电压源、稳电压源、负电压源、零电压源、高速切换开关、电流检测器、电磁阀、压力传感系统和控制器；通过在电磁阀预期启闭时刻前，提前加载预加载高电压源，并通过预加载稳电压源使线圈电流保持在一个略小于开启电流的状态。在开启阶段，采用高电压源激励，使电流快速上升，减小了开启阶段的运动时间；在关闭阶段，采用负电压源激励，使电流快速下降到0，减小了关闭阶段的运动时间。
一种实现电磁阀快速运动控制系统及其方法

[发明专利]一种高速开关阀动态特性直接检测方法-CN202210186850.X在审
发明人：钟麒;贾体伟;徐恩光;余诚;谢耿;汪谢乐;李研彪 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G01M13/003 文献下载
摘要：本发明提出了一种高速开关阀动态特性直接检测方法，该方法通过观察传感器的振动信号就可以准确判断高速开关阀的开启阶段与关闭阶段，并以此分析高速开关阀的动态特性，该种测量方法突破了现存测试方法对高速开关阀工作状态有要求的局限性，不需要改变高速开关阀的机械结构，测试更便捷，测试成本较低，也可以极大减小现存测试方法中存在的测量误差，有助于解决数字液压领域关于测量的难题。
一种高速开关动态特性直接检测方法

[发明专利]一种数字阀岛故障诊断方法-CN202210188666.9在审
发明人：钟麒;贾体伟;徐恩光;余诚;谢耿;汪谢乐;李研彪 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字阀岛故障诊断方法。首先建立数字阀岛上高速开关阀正常工作数据库和故障数据库；处理器将数字阀岛工作时各个加速度振动传感器检测到的振动信号先与高速开关阀正常工作时的数据库做对比，如果全部可以匹配，则表明各高速开关阀都没有故障发生；如果部分没有匹配成功，则说明数字阀岛中的高速开关阀存在故障；将未匹配成功的振动信号与高速开关阀故障数据库匹配，即可判断数字阀岛上高速开关阀发生故障的位置以及发生故障的原因。本发明方法无需对数字阀岛内部结构进行改动，可以准确锁定发生故障的高速开关阀位置，并判断发生故障的原因极大的提高了数字液压系统的稳定性。
一种数字故障诊断方法

[发明专利]一种开关阀控系统的实时流量检测方法-CN202210188677.7在审
发明人：钟麒;贾体伟;徐恩光;余诚;谢耿;汪谢乐;李研彪 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种开关阀控系统的实时流量检测方法。加速度振动传感器分别采集各个高速开关阀的振动曲线，采集到的信号可以转换为阀芯的加速度运动曲线，计算机经过处理器可以把各个高速开关阀的加速度振动曲线转换为阀芯位移曲线，在已知高速开关阀结构的情况下，阀芯位移曲线可以转换成高速开关阀开口面积(A)曲线，根据开关阀控系统主进油口和主回油口压力传感器的测量值可以得到高速开关阀两端的压差(ΔP)，k为比例系数，即可得到开关阀控系统中每一个高速开关阀的流量，继而可以根据各高速开关阀在开关阀控系统内的组合形式得到开关阀控系统的总流量。本发明不需要改变开关阀控系统的内部结构，解决了数字液压领域开关阀控系统内部各支路流量测量方面的难题。
一种开关系统实时流量检测方法

[发明专利]一种针对不同行程电磁阀高动态柔性关闭控制方法-CN202210186837.4在审
发明人：钟麒;贾体伟;徐恩光;余诚;谢耿;汪谢乐;李研彪 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： F15B13/02 文献下载
摘要：本发明公开了针对不同行程电磁阀高动态柔性关闭控制方法。本发明利用控制器存储电磁阀的控制数据和关闭阶段特性数据，用户可以输入所需求的电磁阀关闭阶段总时长T与关闭时刻撞击速度V。在关闭阶段，先采用负电压源使线圈电流快速降低为0，然后控制器从存储的数组中查找匹配用户需求的电磁阀控制参数，从而实现电磁阀的控制，提高动态特性，降低阀芯的损耗，从而兼顾动态特性和柔性启闭，延长液压电磁阀的使用寿命。
一种针对不同行程电磁阀动态柔性关闭控制方法

[发明专利]一种基于复合PWM的开关阀动态特性调控方法-CN202010332933.6有效
发明人：钟麒;汪谢乐;谢耿;何贤剑;王军;李研彪;孙造诣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01F7/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于复合PWM的开关阀动态特性调控方法，属于开关阀控制领域。本发明的控制方法分为若干阶段，通过控制器控制占空比控制器输出不同占空比的高频方波信号给电压源，电压源在不同阶段输出不同占空比的电压方波，使得高频开关阀的启闭动态特性可以调节。本发明进一步公开了在开关阀单周期持续时间较短情况下的开关阀启闭特性调整方案，并给出了开关阀的最慢启闭特性控制方法和最快启闭特性控制方法。本发明通过调节个阶段的占空比使得高频开关阀可满足使用者对高频开关阀启闭动态特性的不同需求，大大拓宽了高频开关阀工作范围。
一种基于复合 pwm 开关动态特性调控方法

[发明专利]一种基于电压脉宽调制技术的电磁阀高动态高频响控制方法-CN202010014346.2有效
发明人：钟麒;汪谢乐;何贤剑;王军;孙造诣;李研彪;陈波;孙鹏 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电压脉宽调制技术的电磁阀高动态高频响控制方法。本发明将电磁阀单个工作周期划分预加载激励阶段、预加载维持阶段、开启阶段、反向激励阶段、开启维持阶段、关闭阶段、关闭维持阶段。本发明采用单电压源，在预加载阶段先采用经占空比为100％的高频方波信号调制后的电压源激励，电流上升速率更大，电流将更快的上升至预加载电流状态，使预加载激励阶段耗时更短；而后使电流维持在预加载电流状态。本方法在反向激励阶段采用经占空比为‑100％的高频方波信号调制后的电压源激励，快速将电流降低至维持电流；本发明不仅降低了工作周期内的平均电流大小，降低了电磁能耗，还使得电磁阀可以适应更好的启闭工况。
一种基于电压脉宽调制技术电磁阀动态高频控制方法

[发明专利]一种基于电压脉宽调制技术的电磁阀快速运动驱动方法-CN202010014349.6有效
发明人：钟麒;汪谢乐;何贤剑;王军;孙造诣;李研彪;陈波;孙鹏 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电压脉宽调制技术的电磁阀快速运动驱动方法。本发明将电磁阀单个工作周期划分预加载激励阶段、预加载维持阶段、开启阶段、开启维持阶段、关闭阶段、关闭维持阶段。本发明采用单电压源，在预加载阶段先采用经占空比为100％的高频方波信号调制后的电压源激励，电流上升速率更大，电流将更快的上升至预加载电流状态，使预加载激励阶段耗时更短；而后使电流维持在预加载电流状态。本方法可以保证电磁阀阀芯完成预期工作行程，并保证在开启阶段转换到开启维持阶段的瞬时，阀芯处于静止状态，可以进一步提高电磁阀开启阶段的动态特性，本发明适用于一些开关频率更高的场合。
一种基于电压脉宽调制技术电磁阀快速运动驱动方法

[发明专利]一种基于电容自举技术的电磁开关阀驱动电路及方法-CN202111392973.0在审
发明人：钟麒;谢耿;何贤剑;王军;汪谢乐;李研彪 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电容自举技术的电磁开关阀驱动电路及方法，驱动电路包括基础放大电路和N级附加放大支路，其中基础放大电路包括激励电源、第一开关、第二开关、二极管和基础电容，二极管和基础电容并联，附加放大支路上均设置有支路电容。通过基础电容和支路电容的储能，开关的切换，实现在不增大驱动电压的前提下使电磁开关阀激励电压短时间内放大N+2倍，从而使电磁开关阀克服阻力实现开启。本发明也可以用于电磁开关阀的高动态驱动，通过短时间的电压放大，加快开启电流的上升速度，从而减少电磁阀开启滞后时间，提高电磁开关阀开启动态特性。
一种基于电容技术电磁开关驱动电路方法

[发明专利]一种基于电压脉宽调制技术的电磁阀高动态控制系统及方法-CN202010014323.1有效
发明人：钟麒;孙造诣;王军;何贤剑;汪谢乐;李研彪;陈波;孙鹏 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电压脉宽调制技术的电磁阀高动态控制系统及其方法。系统包括占空比控制器、电压源、电流检测器、电磁阀、压力传感系统、控制器；通过在电磁阀预期开始时刻前，使线圈电流保持在一个略小于开启电流的状态，在电磁阀预期关闭时刻前，保持在一个略大于关闭电流的状态，大幅降低了启闭滞后时间。在开启阶段，使电流快速上升，减小了开启阶段的运动时间；在关闭阶段，使电流快速下降到0，减小了关闭阶段的运动时间。
一种基于电压脉宽调制技术电磁阀动态控制系统方法

[发明专利]一种基于测试数据对液压阀启闭阶段时间和阀芯速度进行控制的方法-CN202010484941.2有效
发明人：钟麒;汪谢乐;帅琨;何贤剑;王军;李研彪;孙造诣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： F15B13/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于测试数据对液压阀启闭阶段时间和阀芯速度进行控制的方法。利用数据库技术存储电磁阀的控制数据和启闭特性数据，用户可以输入所需求的电磁阀启闭特性，由控制器从存储的数组中匹配适宜的电磁阀控制参数，从而实现电磁阀的控制。在开启阶段(关闭阶段同理)采用两个电压源，第一个电压源使阀门快速开启(在关闭阶段则为快速关闭)，提高动态特性；第二个电压源降低最终阀芯的运动速度，降低阀芯的损耗，从而兼顾动态特性和柔性启闭，延长液压电磁阀的使用寿命。
一种基于测试数据液压启闭阶段时间速度进行控制方法

[发明专利]一种基于速度控制器实现高速开关阀阀芯运动可控的方法-CN202010485852.X有效
发明人：钟麒;汪谢乐;谢耿;王军;何贤剑;李研彪 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于速度控制器实现高速开关阀阀芯运动可控的方法，属于高速开关阀控制领域。将高速开关阀的一个工作周期分为多个阶段，通过控制每个周期各阶段的占空比，使电压源输出相应占空比的电压方波，进行高速开关阀高动态控制。在高速开关阀开启、关闭阶段中，在初始阶段采用较大的电压驱动(关闭阶段采用较大的负电压)，当速度达到设定值时(速度可根据用户期望进行调整)，为降低阀芯受到刚性冲击而产生的损耗，利用速度闭环控制器对占空比进行实时调整，使开启阶段和关闭阶段的最终速度的数值维持在较低的水平。本发明可以兼顾动态特性和柔性启闭，提高高速开关阀性能并延长其寿命。
一种基于速度控制器实现高速开关阀阀芯运动可控方法

[发明专利]一种可提高电磁阀响应速度和运动速度的控制系统及其方法-CN202110930162.5在审
发明人：钟麒;徐恩光;谢耿;汪谢乐;何贤剑;王军;李研彪 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种可提高电磁阀响应速度和运动速度的控制系统及其方法。系统包括控制器、恒电压源、占空比控制模块、开关k2、H桥功率放大器、蓄能模块、单刀双掷开关和电流传感器等部件。本发明通过预加载调制电压的方法，先将预加载阶段的初始电流稳定在略小于临界开启电流值；等到控制信号的上升沿来临时，通过电容储能后放电，在冲击电压的作用下，电流值快速上升到开启电流值，大幅减少了电磁开关阀的开启滞后时间；在开启维持阶段，电流稳定在略大于临界关闭电流值，提高关闭阶段动态响应。本发明可以同时减少电磁开关阀的开启滞后时间和开启运动时间，大幅提高了电磁开关阀的响应速度，从而提高电磁开关阀开启动态特性和控制精度。
一种提高电磁阀响应速度运动控制系统及其方法

[发明专利]一种可实现电磁阀超高速启闭的预加载续流冲击电路及其控制方法-CN202110930044.4在审
发明人：钟麒;徐恩光;谢耿;汪谢乐;何贤剑;王军;李研彪 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种可实现电磁阀超高速启闭的预加载续流冲击电路及其控制方法。本发明通过预加载调制电压的方法，先将预加载阶段的初始电流稳定在略小于临界开启电流值；等到控制信号的上升沿来临时，通过电容储能后放电，在冲击电压的作用下，电流值快速上升到开启电流值，大幅减少了电磁开关阀的开启滞后时间；在开启维持阶段，电流稳定在略大于临界关闭电流值，提高关闭阶段动态响应。本发明同时减少电磁开关阀的开启滞后时间和开启运动时间，大幅提高了电磁开关阀的响应速度，从而提高电磁开关阀开启动态特性和控制精度。
一种实现电磁阀超高速启闭加载冲击电路及其控制方法

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