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[实用新型]一种调节成像光路倍率及夹角的装置-CN201922277839.0有效
发明人：肖燕青;何伟;程珂;陈海巍 -专利权人： 江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，属于曝光技术领域。本实用新型的调节成像光路倍率及夹角的装置，包括DMD承载台、夹角调节装置和底座，其中DMD承载台用于承载DMD组件，包括至少三个倍率调节装置；通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，达到升降DMD承载台以调节DMD与到PCB板的距离，此过程无需对设备进行拆卸，方便操作，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；在需要进行夹角调节时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，从而带动DMD承载台位置的改变来达到夹角调节的目的。
一种调节成像倍率夹角装置

[实用新型]一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备-CN201922247788.7有效
发明人：肖燕青;王方江;陈海巍;程珂;何伟 -专利权人： 江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备，属于光刻机镜头领域。镜头污染防控装置包括壳体和进气管，壳体为筒状结构，筒壁上沿竖直方向开有槽，槽的深度小于筒壁高度；壳体上开有进气口，进气口与槽相通；进气管用于向槽内通入气体以便在成像镜头的下端镜片的表面形成保护气幕。通过在下端镜片的表面形成保护气幕，使得工件上的有机溶剂污染物无法到达成像镜头的下端镜片，从而保护下端镜片不被污染，无法形成污染膜，相对于更换保护镜片的方案，本申请大大降低了维护成本；进一步的，通过抽气孔以及抽气管将下端镜片下方的气体抽走，同时带走气体中的污染物和热量，降低环境温度，使得LDI设备的使用寿命更长。
一种镜头污染装置 ldi 设备

[实用新型]一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机-CN201922247648.X有效
发明人：肖燕青;王方江;陈海巍;程珂 -专利权人： 江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机，属于激光直写曝光机技术领域。通过提供一种无水管接头的水冷装置，解决了现有激光器中存在漏水风险导致停机的问题；进一步的，通过将激光二极管设置为上下两层，布局紧凑，减小了激光器的体积；进一步的，通过将光纤出口方向设置为与激光二极管的插拔方向平行，增大了光纤安装时的弯曲半径，减少了光纤通电后硬化导致的断裂风险；同时这种布局便于光纤的安装，提升了安装效率。
一种激光曝光激光器

[实用新型]一种电子图形资料自动检索和应用的装置-CN201920785934.9有效
发明人：肖燕青;钱聪;杨曙华 -专利权人： 江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： G06F16/51 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子图形资料自动检索和应用的装置，属于印刷电路板制造和检测领域。本实用新型提供了一种典型的图形应用部件就是激光直接成像设备。该设备通过在实现曝光区精确定位的前提下，将数字化的图形资料通过激光扫描的形式转印在PCB板件上。该设备可通过图形资料名的扫描、识别和检索上料，实现图形资料的自动转移，无需人工干预。
一种电子图形资料自动检索应用装置