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- [实用新型]一种硅电极清洗装置-CN202121787891.1有效
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赵顺
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-08-02
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2022-04-01
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B08B3/12
- 本实用新型公开了一种硅电极清洗装置，针对硅电极清洗时产生有毒气体对生产人员健康产生影响的问题，提供了以下技术方案，一种硅电极清洗装置，包括机架和用于放置硅电极的清洗架，机架设置密封的外壳，外壳在进料口和出料口设置自动开启和关闭的密封门，外壳内部设置用于清洗工件的清洗槽，外壳内部设置用于自动移动清洗架的移动组件，移动组件连接用于自动抓取清洗架的抓取组件。通过在出料口和进料口设置自动开启或关闭的密封门，能够在送料时开启密封门，在进行清洗时关闭密封门；设置自动抓取清洗架的抓取组件和自动移动抓取组件的移动组件，能够在装置处于密封状态时，自动移动放置有工件的清洗架。
- 一种电极清洗装置
- [实用新型]便于批量加工的邦定机-CN202121789631.8有效
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秦国梁
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-08-02
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2022-04-01
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H01B13/00
- 本实用新型公开了一种便于批量加工的邦定机，应用在硅电极生产辅助设备领域，解决了现有邦定机一次仅能加工一个产品的问题，其技术方案要点是包括机架、滑动连接于机架的加热板和驱动加热板滑动的驱动组件，加热板并排设置有多个；加热板上设有便于固定工件的固定组件，加热板上方设有加压组件；驱动组件包括设置在靠近加压组件的加热板上的驱动块、带动驱动块移动的动力源和设置在相邻加热板之间伸缩管，伸缩管设置有多段；具有的技术效果是通过并排设置多个加热板，工件设置在加热板之间，加热板提供热量，加压板对加热板进行加压，从而实现一个批次加工多个工件，通过在相邻的两挡板之间设有通气槽，便于热蒸汽溢出。
- 便于批量加工邦定机
- [实用新型]一种加工硅环用夹具-CN202121545217.2有效
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秦国梁
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-07-07
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2022-04-01
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B23Q3/08
- 本实用新型公开了一种加工硅环用夹具，应用在硅环加工领域，解决了对硅环的内侧面和外侧面加工不方便的技术问题，其技术方案要点是包括底座，底座上开设有圆台槽，圆台槽中设有升降圆台，升降圆台的上侧面的高度低于硅环上侧面的高度，升降圆台的侧面与硅环内侧面相贴合，圆台槽的中央开设有放置槽，放置槽中设置有液压缸，圆台槽的底面设置有导向柱，升降圆台上开设有导向孔，导向孔中设置有导向套，导向套与导向柱滑移配合，升降圆台的底部与液压缸连接，升降圆台上设有内侧固定组件，底座上设有外侧固定组件；具有的技术效果是方便加工中心对硅环的内侧面和外侧面进行加工，从而提高加工精度。
- 一种加工硅环用夹具
- [实用新型]便于清理工作台的超声波打孔机-CN202121322362.4有效
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张佳琪
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-06-11
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2022-01-11
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B24B1/04
- 本实用新型公开了一种便于清理工作台的超声波打孔机，应用在硅片超声波打孔设备领域，解决了现有超声波打孔机工作台上悬浮液难清理的问题，其技术方案要点是包括机架和工作台，机架上方设置有支撑架，支撑架滑动连接有打孔机头；工作台上设有夹持组件，夹持组件包括固定板、开设于工作台的滑道和与工作台滑动连接的滑块；工作台外周延伸有挡板，工作台开设有与滑道连通的排水孔，排水孔连接有悬浮液循环组件和清洗组件；清洗组件包括出水管和与排水孔连接的废液箱；具有的技术效果是通过设置夹持组件，将夹持组件的固定方式由螺栓固定更改为滑动抵压方式，同时使滑道与排水孔相连，便于对滑道内的杂物进行清理。
- 便于清理工作台超声波打孔机
- [实用新型]一种硅环装夹装置-CN202121354406.1有效
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秦国梁
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-06-17
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2022-01-11
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B24B41/06
- 本实用新型公开了一种硅环装夹装置，应用在硅环领域，解决了硅环在生产制造中为了找平硅环表面的基准面，需要用磨床对硅环的表面进行打磨，需要一种装夹装置使硅环能够在磨床上稳定打磨的技术问题，其技术方案要点是还包括底板和加工板，加工板设置在底板上，加工板上开设有多个加工槽，多个加工槽中放置有待加工的硅环，加工槽上设置有多个限制硅环位置的限位圆台，加工槽的底部开设有滑移槽，限位圆台连接有滑移块，滑移块与滑移槽滑移配合，限位圆台与滑移块螺纹配合；具有的技术效果是在磨床上方便稳定的对硅环的表面进行打磨。
- 一种硅环装夹装置
- [实用新型]环保的硅环干燥装置-CN202121789578.1有效
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张佳琪
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-08-02
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2022-01-11
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F26B9/06
- 本实用新型公开了一种环保的硅环干燥装置，针对干燥后无法对异丙醇和氮气进行循环使用的问题，提供了以下技术方案，包括用于干燥硅环的干燥室、与干燥室连接用于气化异丙醇的异丙醇加热器、与干燥室连接的氮气加热器，还包括与干燥室连接用于液化异丙醇蒸汽的冷凝组件、与冷凝组件连接用于分离异丙醇和水的异丙醇蒸馏室、与异丙醇蒸馏室连接用于分离氮气和异丙醇气体的氮气回收组件，异丙醇蒸馏室连接用于回收异丙醇的异丙醇回收管，异丙醇和氮气经过冷凝组件进入异丙醇蒸馏室，分馏出异丙醇气体，氮气回收组件滤出氮气并收集，剩余的异丙醇进入异丙醇回收管中后收集。
- 环保干燥装置
- [实用新型]一种清理硅环表面废屑的装置-CN202121355128.1有效
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顾慧莹
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-06-17
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2021-12-14
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B24B7/22
- 本实用新型公开了一种清理硅环表面废屑的装置，应用在硅环打磨领域，解决了硅环在打磨过程中会产生废屑附着在硅环的表面上，需要对硅环表面的废屑进行清理，以免对后续的步骤造成清理负担技术问题，其技术方案要点是包括箱体,箱体内上部设有打磨支架，打磨支架上设有打磨轮，打磨轮连接有打磨电机，打磨支架上设有清理组件，箱体上设有集液盘，集液盘开设有多个通孔，集液盘上设有加工圆台，加工圆台连接有驱动加工圆台转动的驱动电机，集液盘下方设有容纳清理组件流出液体的集液桶，集液桶顶部为敞口，集液桶连接有过滤组件；具有的技术效果是在对硅环打磨的过程中能够及时的清理硅环表面的废屑。
- 一种清理表面装置
- [实用新型]可冲洗和冷却的打孔机-CN202121355693.8有效
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张佳琪
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-06-17
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2021-12-14
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B23B39/00
- 本实用新型公开了一种可冲洗和冷却的打孔机，针对现有技术在一些需要同时钻多个孔的情况下不利于排屑和冷却的问题，提供了以下技术方案，包括机架、活动连接于机架用于承托加工件的固定组件，以及连接于机架对准加工件钻孔的加工组件，机架设置调节加工组件加工位置的驱动组件，机架还设置清除碎屑的冲洗冷却系统，固定组件包括连接于机架的第一载台以及连接于第一载台且倾斜设置的承载盘，承载盘设置固定加工件的夹具，冲洗冷却系统包括自上而下倾斜设置于承载盘的冲洗头，冲洗头与供水装置连通。通过设置倾斜的定位组件与加工组件、固定加工件的夹具及冲洗冷却系统，避免加工件滑落，便于冷却液冲洗加工区域，利于冲洗和冷却。
- 冲洗冷却打孔机
- [实用新型]一种硅盘用超声波清洗装置-CN202121320254.3有效
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赵顺
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-06-11
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2021-12-14
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B08B3/12
- 本实用新型公开了一种硅盘用超声波清洗装置，应用在超声波清洗领域，包括工作台、清洗槽、烘干槽和输送线，清洗槽和烘干槽设置于工作台内，输送线设置于工作台上方，工作台内还设有超声波发生器；输送线上设置有一清洗篮，清洗篮包括伸缩杆和放置篮，伸缩杆一端固定在输送线上，另一端与清洗篮连接；本实用新型提供了一种硅盘用超声波清洗装置，能实现硅片的高自动化程度、高效率清洗，本装置中的放置篮内设置有可拆卸拦网与间隔槽，能减少清洗篮对清洗效果的影响，提高清洗效果，因为清洗篮需与硅片一同进入烘干槽中进行烘干，因此拦网与间隔槽的设置能便于清洗篮离开时清洗液的排除，操作简便，结构简单，可大范围推广。
- 一种硅盘用超声波清洗装置
- [实用新型]一种手动抛光机-CN202121541546.X有效
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顾慧莹
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-07-07
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2021-12-14
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B24B29/00
- 本实用新型公开了一种手动抛光机，针对停下抛光工作才可添加抛光液的问题，提供了以下技术方案，包括底座、转动连接于底座的抛盘、可拆卸连接于底座的顶面的抛光罩、固定连接于抛光罩的顶面的储水箱和连通储水箱与抛光罩的水管；抛盘的顶面固定连接有抛光织物，水管设有用于调节水管流出液体流量的调流组件，抛光罩的底面设有用于夹持工件的夹持组件，工件与抛盘上的抛光织物接触，抛光罩由透明材料制成。调流组件使抛光液自动流入抛光织物，不需要停下抛光工作，而且可手动控制抛光液的流量，提高工作效率。
- 一种手动抛光机
- [实用新型]一种硅盘用手动研磨机-CN202121541653.2有效
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秦国梁
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-07-07
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2021-12-14
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B24B37/10
- 本实用新型公开了一种硅盘用手动研磨机，应用在硅盘研磨领域领域，解决了现有研磨机缺少驱动装置无法研磨的问题，其技术方案要点是包括机架和固定于机架的研磨组件、夹持组件；研磨组件包括固定盘和研磨盘；研磨盘连接有驱动组件；驱动组件包括上从动轴、带动上从动轴转动的上联动轴和驱动上联动轴转动的动力件；固定盘连接有下从动轴，下从动轴连接有下联动轴；上联动轴与下联动轴之间设有同步带，动力件与同步带连接；具有的技术效果是通过设置同步带和斜齿轮组，使用一个动力件就可以驱动研磨盘和固定盘转动，便于单人对工件进行研磨，同时斜齿轮组的啮合方式使得固定盘和研磨盘的转动方向相异，便于对硅盘进行初步研磨。
- 一种用手研磨机
- [实用新型]一种改进型硅片自动研磨机-CN202121543751.X有效
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秦国梁
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江苏宏芯时代半导体有限公司
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2021-07-07
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2021-12-14
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B24B37/08
- 本实用新型公开了一种改进型硅片自动研磨机，包括机架、工作台、上研磨盘和下研磨盘，工作台设置于机架内，下研磨盘固定在工作台上，上研磨盘固定在机架内部上端且设于下研磨盘上方；工作台上还固定有研磨辅助架，研磨辅助架包括依次连接的固定底座、延伸杆和半圆护栏；固定底座固定于工作台上，半圆护栏通过延伸杆设于下研磨盘与下研磨盘之间。本装置放弃了传统的游星轮和太阳轮，通过半圆护栏的设置，能避免离心力对硅盘造成损坏，同时利用独特的中心对称的半圆护栏设置，无需人工干涉，能完成研磨完毕后硅片的自动转移，自动化程度高，能提高生产效率，降低人工成本。
- 一种改进型硅片自动研磨机
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