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[发明专利]一种用于半球谐振子的激光抛光方法-CN202310266553.0在审
发明人：肖峻峰;张雄;许剑锋;楚建宁;张建国 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B23K26/354 文献下载
摘要：本发明属于半球谐振陀螺仪制造相关技术领域，并公开了一种用于半球谐振子的激光抛光方法，其包括：对经过磨削加工的半球谐振子进行清洁以去除表面杂质，然后烘干处理；将半球谐振子装夹在五轴联动平台上，并通过控制激光按照设定轨迹依次扫描半球谐振子的外内表面，由此执行外内表面的熔融抛光，在降低表面粗糙度的同时修复亚表面损伤；最后对激光抛光后的半球谐振子进行退火以消除残余应力。与现有技术相比，本发明能够有效地解决半球谐振子现有抛光方法加工效率低且无法完全去除亚表面损伤层的问题，而且省去现有工艺流程中化学腐蚀这一步，不仅可以提高半球谐振子的生产效率，还更加绿色环保。
一种用于半球谐振子激光抛光方法

[发明专利]一种石英玻璃半球谐振子低损耗金属化镀膜方法及产品-CN202211181781.X在审
发明人：许剑锋;楚建宁;刘鑫;张雄;张建国;肖峻峰 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明属于惯性导航半球谐振陀螺仪相关技术领域，并公开了一种石英玻璃半球谐振子低损耗金属化镀膜方法，包括：制备物理掩膜，将半球谐振子的整个外球面和内球面上的部分表面进行遮蔽；在半球谐振子的端面、下支撑柱的表面以及部分内球面上，沉积一层过渡金属薄膜；在已沉积的过渡金属薄膜层上再沉积导电层，形成复合金属导电膜层；将半球谐振子端面与下支撑柱表面各自形成的复合金属导电膜层之间，施加多个导电条带连接。本发明还公开了相应的半球谐振子产品。通过本发明，能够在充分满足石英玻璃谐振子电气化功能的前提下，有效降低表面金属化薄膜所占面积，同时减小了因金属化薄膜所引入的阻尼，从而显著提升谐振子的品质因数，改善其性能。
一种石英玻璃半球谐振子损耗金属化镀膜方法产品

[发明专利]一种高真空下石英半球谐振子性能参数测量装置-CN202011400556.1在审
发明人：许剑锋;楚建宁;朱蓓蓓;兰洁;陈肖;张建国;秦琳 -专利权人：华中科技大学;上海航天控制技术研究所
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明属于半球谐振陀螺配套检测设备领域，并具体公开了一种高真空下石英半球谐振子性能参数测量装置，其包括真空单元、运动单元、激励单元及数据采集与处理单元，真空单元包括真空腔体，真空腔体的侧壁设有玻璃观察窗口；运动单元和激励单元置于真空腔体中，运动单元用于调节石英半球谐振子的空间姿态与位置，激励单元用于产生瞬态激励以使石英半球谐振子振动；数据采集与处理单元设于真空腔体的玻璃观察窗口的旁侧，用于将测量激光发射至石英半球谐振子表面，并基于接收的反射光信息进行数据处理获得石英半球谐振子的性能参数。本发明可实现高真空环境下的石英半球谐振子性能参数的高精度测量，具有测量精度高、操作简单、可靠性高等优点。
一种真空石英半球谐振子性能参数测量装置