专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种背板绑定的铬靶及其制造方法-CN202210145048.6有效
  • 赵霄昊;马宽;王晨;梁书锦;王庆相 - 西安欧中材料科技有限公司
  • 2022-02-17 - 2022-07-01 - C23C14/34
  • 本发明公开了一种背板绑定的铬靶及其制造方法,包括以下步骤:①将一定粒度的纯铬粉末进行氢气还原提纯处理;②将还原提纯处理后的纯铬粉末填充、装实至冷等静压弹性模具中,进行冷等静压预处理得到铬金属块体;③将得到的铬金属块体和背板表面预处理后,并置于包套中;④在真空电子束设备中对包套进行加热除气、密封焊接,并利用氦质谱仪测试其漏率;⑤将测试合格的包套置于热等静压设备中进行热等静压烧结,靶材和背板扩散连接,形成铬靶坯;⑥利用机械加工的方法去除包套并对铬靶坯进行精细加工,得到铬靶。本发明通过采用上述技术方案,可以实现铬靶坯致密化和背板绑定工艺一次成型,提高靶材生产效率、降低生产成本。
  • 一种背板绑定及其制造方法

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