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[发明专利]投影曝光装置-CN200710092240.9有效
发明人：佐藤仁;中泽朗;百濑克己 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2007-04-02 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种投影曝光装置，抑制了装置的水平方向及垂直方向的大小而使其设置容积比现有的装置的设置容积小。投影曝光装置(20)使用配置于铅直方向的曝光台(24)，将掩模(M)的图案利用照射光投影在膜带状的工件(F)上而进行曝光，该投影曝光装置包括：搬运机构(25)，其将工件于铅直方向朝曝光台移动；以及投影光学机构，其具有戴森光学系统(23)，该戴森光学系统(23)配置在与该搬运机构以曝光台为边界的相邻位置上，戴森光学系统配置成使得入射到该戴森光学系统的照射光的光轴以及从该戴森光学系统射出的照射光的光轴与曝光台上的工件成正交。
投影曝光装置

[发明专利]光源装置-CN200610148626.2有效
发明人：石锅荣彦;屋木康彦;安达伸雄 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-11-20 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： H05B41/36 文献下载
摘要：本发明的课题是提供一种光源装置，该光源装置自动地判断安装在光源装置中的放电灯是否为适当的放电灯，如果是适当的放电灯，则管理放电灯的使用状态以及使用历史。作为解决手段，该光源装置具有：放电灯，其具有灯头(1)以及在该灯头(1)上显示与放电灯有关的灯/数据的灯/数据显示部(2)，该灯头(1)由用圆板状的抵接面(12)封闭了一端面的大直径的圆筒状的基部(11)以及贯通圆板状的抵接面的中央而同轴状地植入设置的小直径的突出部(13)构成；以及灯头座(3)，其保持该放电灯的灯头而进行通电，在灯头座(3)上设置了读取灯/数据显示部(2)的数据的读取装置。
光源装置

[发明专利]灯及光源装置-CN200610126016.2有效
发明人：屋木康彦 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-08-30 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： F21V19/00 文献下载
摘要：本发明提供灯及光源装置，其使作业者目视进行的安装作业容易，即使灯头座和灯头碰撞也可将冲击控制在最小限度内，可将灯简单可靠、圆周方向的位置再现性良好地安装在灯头座上。灯(1)可装卸地安装在灯头座(20)上。上述灯头座(20)具有与设置在灯(1)的灯头(4)上的缺口部(7)相卡合的凸起部(22)，还具有与上述灯的灯头保持部(9)相嵌合的保持部(24)。灯(1)包括与发光管两侧连接的密封管(3)、收容该密封管且在一端具有端面的圆筒状灯头(4)、以及与该灯头(4)的端面连接且形成为直径小于上述灯头的上述灯头保持部(9)，在该灯(1)中，上述缺口部(7)设置在从上述灯头的圆筒侧面(5)至端面(6)的位置上。
光源装置

[发明专利]长形灯容器-CN200710079177.5无效
发明人：屋木康彦 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2007-02-15 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： H01J65/00 文献下载
摘要：本发明提供一种长形灯容器。在长形的玻璃制准分子灯中，防止了灯的破损和照度降低。在该长形灯容器中，将长形的玻璃制圆筒形内管(1)和玻璃制圆筒形外管(2)呈同轴状地固定，并设置用于保持内管(1)使其不弯曲的保持材料(3)。保持材料(3)是与外管(2)材质相同的玻璃棒。当外管(2)的内径是d₁、内管(1)的外径是d₂时，保持材料(3)的长度大致是(d₁²－d₂²)^1/2。保持材料在与轴正交的方向上固装在内管的外周圆筒面上。这样，即使是长形灯容器的准分子灯，内管也不会弯曲，能够确保本来的放电间隙。能够避免因灯的破损或破裂引起的不亮灯，也不会发生灯整体的照度的不均匀，能够确保长时间稳定的亮灯。
长形灯容器

[发明专利]基板曝光装置及基板曝光方法-CN200710078862.6有效
发明人：田端秀敏 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2007-02-16 - 公布日： 2007-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供基板曝光装置与基板曝光方法。不需要推动基板的端面使之变形而给予负荷的方式的预定位机构，适用于大型且薄的基板的基板且可进行高精度曝光。基板曝光装置包括：曝光用光学系统(22)；曝光台(16)；晒相框(19)，其经由透光板支撑掩模；第一摄影装置(27)，其对调整标记M1、M2摄影；第二摄影装置(23)，其透过上述透光板，对上述基板的至少二边摄影；该第二摄影装置用的照明装置；控制装置(25)，其分析由上述第二摄影装置拍摄的图像，控制上述曝光台以对上述基板预定位，使得上述基板与上述掩模的各调整标记(24)进入上述第一摄影装置的视野内，并且分析由上述第一摄影装置所拍摄的图像，控制上述曝光台以调整上述基板的调整标记与上述掩模的调整标记。
曝光装置方法

[发明专利]曝光装置-CN200610167089.6有效
发明人：船山昌彦;水口信一郎 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-12-14 - 公布日： 2007-06-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光装置，使对于光罩薄膜及基板的空气的送风状态达到适当，而且使曝光室内对光罩薄膜及基板送风的空气的流体环境达到适当。曝光装置(1)包括：设于上述曝光室(R2)内的一侧壁上、沿着成为上述支持框(31)的光照射侧的面而供给预设温度及湿度的空气的供给口(3)；设于上述供给口的下方、通过上述支持框与上述载置台(30)之间而送来的空气以及排出上述曝光室内的空气用的侧壁面排出口(5)；设于上述曝光室的另一侧壁且将从上述供给口送来的空气的送风方向至少改变至通过上述支持框与载置台之间而朝向上述侧壁面排出口的送风方向变更装置(4)；使从上述侧壁面排出口排出的空气经过过滤器而进入的同时、调整成预设的温度及湿度而输送至上述供给口的温度湿度调整装置(2)。
曝光装置

[发明专利]激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法-CN200610143732.1有效
发明人：剑持晴康;佐藤博明;池田泰人;森昌人 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-11-03 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，从而将一个台座的移动速度确定为适当的速度。激光束、紫外线照射周边曝光装置包括：保持基板的台座(2)；使台座在绕与基板的面正交的垂线旋转的旋转方向、使台座沿基板的面水平移动的移动方向以及与使台座与所述移动方向正交的正交方向上水平移动的移动搬运机构(3)；在该移动搬运机构的移动路径上设在基板的上方的位置，并照射激光束的激光束单元(5)；从照射口对周边区域照射包含紫外线的光的紫外线照射单元(9)；和对应于照射激光束时使台座移动的第一移动速度和照射包含紫外线的光时使台座移动的第二移动速度中的某一个速度来控制移动搬运机构的控制装置(20)。
激光束紫外线照射周边曝光装置及其方法

[发明专利]周边曝光装置及其方法-CN200610143737.4有效
发明人：剑持晴康;佐藤博明;池田泰人;森昌人 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-11-03 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种周边曝光装置及其方法，该周边曝光装置及其方法可提高生产量并使污染基板表面的原因达到最小限度。周边曝光装置对基板(W)的周边区域照射包含紫外线的光，来对光阻剂墨液进行曝光，该装置包括：紫外线照射单元(9)，其设于处于基板上方的位置，从形成在框体的照射口(9m)经由照射用透镜(9e)将包含紫外线的光照射至基板的周边区域；照度测量部(11)，其设于紫外线照射单元，测量紫外线的照度；以及照度测量部移动机构，其使照度测量部移动至紫外线照射单元的照射口的面对位置以及从照射口离开的退避位置。
周边曝光装置及其方法

[发明专利]激光束曝光装置及其方法-CN200610143734.0有效
发明人：剑持晴康;佐藤博明;池田泰人;森昌人 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-11-03 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种激光束曝光装置及其方法，该装置及方法不会使得识别标记变形，而且在多个激光照射单元中光路长度相同。激光束曝光装置(5)包括：光路长度调节单元(6)，其对从激光束光源(5a)至基板的激光束的光路长度进行调节；和多个激光照射单元(7)，其在基板的移动路径上设于基板的上方，并向基板照射由光路长度调节单元调节了光路长度的激光束。
激光束曝光装置及其方法

[发明专利]激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法-CN200610143735.5有效
发明人：剑持晴康;佐藤博明;池田泰人;森昌人 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-11-03 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，该装置及其方法能够应对于当识别标记形成在周边区域的任何位置的情况下。本装置包括：保持基板(W)的台座(2)；对基板的预设的预定位置和与预设在台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，以取得图像数据的摄影装置(4)；使台座移动的移动搬运机构(3)；在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束的激光束单元(5)；从照射口对基板的周边区域照射包含紫外线的光的紫外线照射单元(9)；和可使基于从摄影装置取得的图像数据来进行基板的校准，并可使利用激光束的识别标记的曝光和利用包含紫外线的光的周边曝光同时进行的，控制移动搬运机构的控制装置(20)。
激光束紫外线照射周边曝光装置及其方法

[发明专利]周边曝光装置及其方法-CN200610143731.7有效
发明人：剑持晴康;佐藤博明;池田泰人;森昌人 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-11-03 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种周边曝光装置及其方法，该周边曝光装置及其方法可对应于在周边区域的任何位置上形成识别标记，并可使污染基板表面的原因达到最小限度。周边曝光装置具有：紫外线照射单元(9)，其在移动路径上，从照射口经由照射用透镜将包含紫外线的光照射至基板的周边区域；和照射区域调节遮板机构(10)，其根据基板的移动速度，以遮盖照射口(9m)的至少一部分而对识别标记进行遮光的方式进行控制。
周边曝光装置及其方法

[发明专利]放电灯的密封结构-CN200610135727.6有效
发明人：林武弘;仓野正弘 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-10-18 - 公布日： 2007-04-25 - 主分类号： H01J61/36 文献下载
摘要：本发明提供一种放电灯密封结构。在密封放电灯的组装工序中，能够准确高效地将安装部装配于放电管上。在电极(10)的内部导线棒(12)的圆周面上卷绕玻璃管固定部件(40)。在圆筒状的内部玻璃管(14)中插通内部导线棒(12)。从玻璃管固定部件(40)的卷绕部(40A)延伸出舌状的止挡部(40B)。使从内部玻璃管(14)的端面突出的止挡部(40B)弯曲，避免内部玻璃管(14)沿管轴方向的移动。在卷绕部(40A)和内部玻璃管(14)之间，设置与内部导线棒(12)同轴的卷绕箔(46)。玻璃管固定部件(40)含有钽、铌、钨、钼中的任意成分。卷绕部(40A)含有钽或铌，卷绕箔(46)含有钽、铌、钨、钼中的任意成分。
电灯密封结构

[发明专利]放电灯保护罩和亮灯装置-CN200610159902.5有效
发明人：石锅荣彦 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-09-27 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： H01J61/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种放电灯保护罩和亮灯装置，该放电灯保护罩防止放电灯安装出错和保护罩忘记取下。封入有高压气体的放电灯在移动时破裂的情况下，也可由保护罩(10)保护放电灯的表面，从而能减少损害。在保护罩(10)内设置IC芯片(6)，保持放电灯相关信息。当把保护罩(10)安装在亮灯装置上时，通过读出IC芯片(6)的信息，防止放电灯安装出错。当取下保护罩(10)时，由于IC芯片(6)被破坏，因而不会读出IC芯片(6)的信息，检测出保护罩(10)取下，可防止忘记取下。
电灯护罩装置

[发明专利]短弧放电灯的密封结构-CN200610139398.2有效
发明人：加濑征彦;泽俊行 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-09-27 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： H01J61/36 文献下载
摘要：本发明提供一种短弧放电灯的密封结构，该结构提高短弧放电灯的耐压性和耐热负荷性，使其在亮灯时或移动中不容易受损。使短弧放电灯的密封部的多枚金属箔不在圆周上重叠。使用密封部内侧的第1密封管和外侧的第2密封管进行双重密封。使灯电流值(A)/{(金属箔枚数)×(金属箔宽度(mm))×(金属制环厚度(mm))}的值小于2.08。使第1密封管的发光管侧端部为呈喇叭状打开的形状。使第1密封管的厚度小于等于2mm且比第2密封管的厚度的2/3薄。使从内部玻璃部件的发光管侧端面到第1密封管的端面的长度为5～12mm。
短弧放电灯密封结构

[发明专利]短弧型放电灯-CN200610139397.8无效
发明人：岩间裕一朗;加濑征彦 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2006-09-27 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： H01J61/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种短弧型放电灯，防止在亮灯时在一对电极位于上下的短弧型放电灯的光照射面上附着黑化物，不使照度下降。在上侧的阳极电极(4)的发光管端侧端面设置凹部(12)。凹部(12)的断面形状是凹字型、U字型、レ字型或V字型。借助凹部(12)使来自发光管(1)的上端部的对流气体再次循环到发光管(1)的上端部。通过阳极电极(4)的侧面的上升气流朝向发光管(1)的上端。下降气流和上升气流的合流气流与发光管(1)的上端附近的内面碰撞。由于包含黑化成分的气流与大大偏离了光照射所需要的发光管面区域的位置碰撞，因而可防止光照射所需要的面的黑化。
短弧型放电灯