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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于处理基板的装置-CN202111651064.4在审
  • 金周援;柳杨烈;安熙满;徐准浩;朴崠云;尹相弼 - 细美事有限公司
  • 2021-12-30 - 2022-07-01 - H01L21/67
  • 提供了一种用于处理基板的装置。该装置包括：第一处理单元，其被配置为具有第一处理容器和第一支承单元并被配置为处理基板；第二处理单元，其被配置为具有第二处理容器和第二支承单元并被配置为处理基板；和排放单元，其被配置为将第一处理容器的第一内部空间和第二处理容器的第二内部空间进行排放，其中第一处理单元和第二处理单元布置成一行，其中排放单元包括集成管道、第一排放管和第二排放管，其中集成管道包括被配置为分隔集成管道中的排放路径的第一壁构件，第一壁构件在第一位置与第二位置之间起始并沿着排放路径的排放方向延伸，并且其中第一壁构件分隔设置为与第一排放管流通的第一排放路径和设置为与第二排放管流通的第二排放路径。
  • 用于处理装置
  • [发明专利]用于处理基板的设备-CN202111396154.3在审
  • 严基象;李正悦;丁宣旭;柳杨烈 - 细美事有限公司
  • 2021-11-23 - 2022-05-24 - G03F7/16
  • 一种用于处理基板的设备包括：处理容器，其具有内部空间；支撑单元，其具有支撑板，所述支撑板配置成在所述内部空间中支撑和旋转所述基板；液体供应单元，其配置成将处理液体供应至由所述支撑单元支撑的所述基板；以及排气单元，其配置成排放所述内部空间中的空气流，其中所述排气单元包括空气流引导管，所述空气流引导管引导由于由所述支撑单元支撑的所述基板的旋转而在所述基板上流向所述基板的外侧的空气流的流动方向，并且所述空气流引导管具有入口，空气流被引入所述入口中，所述入口设置在与由所述支撑单元支撑的所述基板基本相同的水平处。
  • 用于处理设备
  • [发明专利]用于处理基板的装置-CN202111392170.5在审
  • 严基象;宋京院;柳杨烈;徐庚进 - 细美事有限公司
  • 2021-11-23 - 2022-05-24 - H01L21/67
  • 本发明构思的实施方式提供了一种用于处理基板的装置。该装置包括：处理容器，其具有内部空间；支撑单元，其配置为在内部空间中支撑和旋转基板；液体供应单元，其配置为向由支撑单元支撑的基板供应处理液；以及排气单元，其配置为从内部空间排出气流，其中排气单元包括具有入口的气流引导管，所述入口设置为在与支撑在支撑单元上的基板的旋转方向的切线方向上将气流引入气流引导管。
  • 用于处理装置
  •  1 
  • 共 4 条
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