专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种碳化硅外延反应室源气进气过渡部件-CN202022046710.1有效
  • 李凯希;张泽康;冯淦;赵建辉 - 瀚天天成电子科技(厦门)有限公司
  • 2020-09-17 - 2021-07-06 - C30B29/36
  • 本实用新型公开了一种碳化硅外延反应室源气进气过渡部件,由于第一本体和第二本体相嵌合配合,由于淀积生长过程中会产生大量高温的附属物粉尘和颗粒吸附在源气进气过渡部件内,因此,当位于后端的第二本体淀积的粉尘和颗粒较厚时,可仅更换第二本体,使用更加方便且降低了成本;且,由于第一隔板和第二隔板可分别在第一本体和第二本体内活动,可根据实际需要随时调整第一隔板和第二隔板的位置进而调整第一通道和第二通道的流量以使工艺气体在进入反应室时可混合的更加均匀。同时,第一定位组件可定位第一隔板与第一本体,第二定位组件可定位第二隔板和第二本体,稳定性更好,第一隔板和第二隔板不会由于气流的大小进行晃动或移位。
  • 一种碳化硅外延反应室源气进气过渡部件

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