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- [实用新型]一种研磨石英晶片用游星轮结构-CN202223390113.6有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2022-12-17
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2023-06-16
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B24B37/30
- 本实用新型提供了一种研磨石英晶片用游星轮结构,涉及游星轮结构技术领域,包括外轮、定位盘和定位槽,所述外轮可拆卸套设在所述定位盘的外侧,所述定位槽设有多个,多个所述定位槽分布设置在所述定位盘的中心位置处,所述外轮内侧通过第一安装环与所述定位盘的外侧可拆卸装配连接,所述定位槽内可拆卸设有调节环,待加工晶片设置在所述调节环内,所述调节环与晶片适配,所述调节环的外壁通过第二安装环与所述定位槽之间可拆卸设置。本实用新型通过对定位盘与外轮之间的可拆卸设置和对调节环的可装配设置,便于对同一个游星轮上的定位槽进行不同形状和不同尺寸的更换,从而节省了购买成本。
- 一种研磨石英晶片游星结构
- [实用新型]一种晶圆环环切用切割工作台-CN202223133271.3有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2022-11-24
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2023-05-02
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B28D7/04
- 本实用新型提供了一种晶圆环环切用切割工作台,涉及晶圆环切割技术领域,包括台板,所述台板底端的四个拐角处安装有支撑腿,所述台板的内部设置有旋转机构,所述台板的顶端安装有安装腔,所述安装腔的内部设置有固定机构,所述安装腔的顶端设置有夹持块,所述夹持块的顶端安装有放置块,所述台板顶端的两侧设置有吸尘机构;通过在台板的内部设置有固定机构,利用固定机构的转轮传动齿轮、传动齿盘、螺旋导轨、螺旋导块、限位槽和限位块的相互配合,可带动三个夹持块进行便捷移动,利用三个夹持块对晶圆进行高效便捷的固定,使得晶圆在固定时更加便捷,从而大大提高了该切割工作台在使用时的工作效率。
- 一种圆环环切用切割工作台
- [实用新型]一种游星轮工件夹紧装置-CN202223282490.8有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2022-12-07
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2023-05-02
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B24B41/06
- 本实用新型提供了一种游星轮工件夹紧装置,涉及游星轮领域,包括夹紧装置本体,所述夹紧装置本体的顶部设置有工作台,所述工作台的顶部设置有下夹紧模具,所述下夹紧模具的内底壁设置有轴承,所述工作台的内壁设置有电机;本实用新型设置通孔,便于将连接板连接的游星轮本体安装在第一打磨片上,设置液压缸本体,从而上夹紧模具带动第二打磨片紧贴在工件本体的顶部,通过下夹紧模具和上夹紧模具对游星轮工件进行夹紧,设置紧固螺栓,拔出脱离螺纹孔,使限位盒脱离连接板,将连接板连接的游星轮本体通过通孔向外拉脱离下夹紧模具,从而对游星轮进行拆卸更换,实现了对游星轮进行安装和拆卸更换新的。
- 一种游星工件夹紧装置
- [实用新型]一种晶圆环取料贴装装置-CN202223133145.8有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2022-11-24
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2023-03-24
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H01L21/687
- 本实用新型提供了一种晶圆环取料贴装装置,涉及晶圆环加工技术领域,包括工作台,所述工作台的内部设置有旋转机构,所述工作台的顶端安装有转动板,所述第一气缸的下方安装有取料腔,所述取料腔的内部设置有取料槽,所述取料腔内部的中间位置处设置有固定机构,所述工作台顶端的一侧安装有放置板,所述工作台顶部的后端安装有支架,所述支架的底端安装有第二气缸,所述第二气缸的底端安装有贴装板;通过在取料腔的内部设置有固定机构,利用固定机构的相互配合,可使得晶圆环进入取料槽的内部后,利用固定板对晶圆环进行固定处理,使得晶圆环在取料时更加稳定,不易脱落,从而大大提高了该装置在使用时的工作效率。
- 一种圆环取料贴装装置
- [实用新型]一种晶圆表面缺陷检测装置-CN202222914227.X有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2022-11-02
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2023-03-24
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G01N21/01
- 本实用新型提供了一种晶圆表面缺陷检测装置,涉及晶圆领域,包括检测装置本体,所述检测装置本体的顶部设置有支撑台,所述支撑台的顶部设置有工作板,所述支撑台的一侧设置有轴承,所述检测装置本体的顶部设置有支撑板,所述支撑板的一侧设置有电机;本实用新型通过设置液压缸本体,带动固定板通过转动轴连接的另一个限位架紧贴在晶圆的一边,设置两个限位架对晶圆的两边进行紧贴,设置螺纹杆,带动夹持板向下,使两个夹持板带动底部连接的橡胶垫紧贴在晶圆的顶部,设置螺栓,使螺纹杆固定在螺纹槽内,从而便于根据晶圆的大小进行夹持固定,防止晶圆表面缺陷进行检测时出现偏移或移动。
- 一种表面缺陷检测装置
- [实用新型]一种研磨抛光治具游星轮-CN202223161821.2有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2022-11-28
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2023-03-21
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B24B41/06
- 本实用新型提供了一种研磨抛光治具游星轮,涉及游星轮技术领域,包括游星轮盘和连接件,所述游星轮盘和所述连接件均设有多个,相邻两个所述游星轮盘之间通过连接件装配连接,所述游星轮盘包括上轮、下轮和加固板,所述加固板设置在所述上轮与下轮之间,所述上轮与下轮之间可拆卸装配设置,所述加固板的下方与所述下轮的上方固定装配设置,所述游星轮盘内的定位槽上可调节设有定位环。该研磨抛光治具游星轮通过多个游星轮盘的堆叠安装设置可实现对不同的高度进行调节,使得适用范围更广泛,且节省了对不同游星轮的购买成本,给工作人员的使用带来便利。
- 一种研磨抛光游星
- [实用新型]一种晶圆环激光开槽机-CN202222914226.5有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2022-11-02
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2023-02-03
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B23K26/38
- 本实用新型提供了一种晶圆环激光开槽机,涉及晶圆环领域,包括底座,所述底座的顶部设置有工作箱,所述工作箱的顶部设置有网板,所述工作箱的顶部设置有固定板,所述固定板的一侧设置有气缸本体,所述气缸本体的输出端固定连接有夹持板,所述夹持板的内壁设置有防滑垫,所述底座的顶部设置有支撑板,所述支撑板的顶部设置有顶板;本实用新型通过设置两个夹持板,将晶圆环放置两个夹持板中间,设置气缸本体,带动夹持板相互靠近,从而各夹持板带动防滑垫紧贴在晶圆环的外壁,便于根据晶圆环的大小进行调节,对晶圆环夹持固定,防止晶圆环在开槽时受力出现移动或偏移,不需要人工手动进行固定或间断调整晶圆环,提高了激光开槽机的工作效率。
- 一种圆环激光开槽
- [实用新型]一种晶圆片高温处理用承载装置-CN202222823947.5有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2022-10-25
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2023-02-03
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H01L21/683
- 本实用新型提供了一种晶圆片高温处理用承载装置,涉及晶圆片加工技术领域,包括两个侧板,两个所述侧板内侧的下方安装有下固定板,所述侧板的内侧安装有多个固定腔,所述固定腔的内部均设置有连接机构,一组所述固定腔的内侧安装有侧固定板,所述侧板内部的上方设置有移动机构,所述移动机构的内侧可拆卸安装有上固定板;通过在固定腔的内部设置有连接机构,利用连接机构的安装座、连接杆、固定槽、安装腔、伸缩弹簧、活动板、卡块、限位槽和限位块的相互配合,可对侧固定板的位置进行调节,进而对不同型号的晶圆片进行承载处理,使得该装置在使用时更加便捷,更加全面,从而大大提高了该装置在使用时的通用性。
- 一种晶圆片高温处理承载装置
- [实用新型]一种新型研抛载具-CN202221559458.7有效
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王达;朱联联
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王达;朱联联
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2022-06-20
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2022-12-09
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B24B37/27
- 本实用新型公开了一种新型研抛载具,包括金属盘体,所述金属盘体的外圆周为齿轮,所述金属盘体的端面上分布研抛元件放置孔及抛光液存储孔,所述研抛元件放置孔具有径向突出孔壁且间隔分布的多个台阶块,所述台阶块上具有阻挡部位,还包括固定在所述研抛元件放置孔内的非金属垫圈,所述非金属垫圈与所述台阶块相互卡嵌。本实用新型的研抛载具具有非金属垫圈与研抛元件放置孔结合牢固的优点,避免了抛光作业过程中研抛载具和研抛元件的损伤,延长了使用寿命。
- 一种新型研抛载具
- [实用新型]一种研抛载具-CN202021913378.8有效
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王达;朱联联
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上海朗太精密机械有限公司
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2020-09-04
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2021-06-04
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B24B41/06
- 本实用新型公开了一种研抛载具,包括设置在上磨盘与下磨盘之间且与内齿轮以及太阳轮进行内外啮合的载具本体;在载具本体的外周面设有与太阳轮以及内齿轮相啮合的齿轮,在载具本体上设有用于放置抛光元件的抛光元件放置孔,在载具本体上还设有用于放置抛光元件研磨过程中所需要的抛光液的抛光液放置孔;在抛光液放置孔内部设有用于对其支撑且防止载具本体被挤压变形的支撑结构,支撑结构由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成。本实用新型优点为支撑结构是由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成的,利用此种结构能够对抛光液放置孔进行有效的支撑,避免载具在旋转过程中被挤压变形,提高了载具的使用寿命。
- 一种研抛载具
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