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[实用新型]一种淀积设备高效率保养装置-CN202320364870.1有效
发明人： 朱云彬;常俊;徐林;徐虎;王俊 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种淀积设备高效率保养装置，属于集成电路制造技术领域。包括底板，所述底板上设有腐蚀盖板，所述腐蚀盖板底部开设凹槽，所述腐蚀盖板边缘支撑于底板上，所述凹槽与底板之间的间隙作为腐蚀腔；所述腐蚀盖板上压设压紧块；所述腐蚀盖板上开设酸瓶孔，所述酸瓶孔内设有加酸瓶，所述加酸瓶出口与腐蚀腔连通，所述加酸瓶内的酸液流入腐蚀腔内并均匀覆盖于底板表面；所述底板上开设氮气孔单元，所述底板下方设有氮气吹扫装置；所述腐蚀盖板上设有排风单元，所述排风单元与腐蚀腔连通，所述排风单元将酸气外排。本申请结构简单，操作便捷，减少了底板腐蚀时间，减少了保养时间，提高了保养效率。
一种设备高效率保养装置

[发明专利]磁力计探头及磁场测量方法-CN202011069479.6有效
发明人：靖克;荣星;谢一进;朱云彬;于会尧;谢才津;杜江峰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01R33/032 文献下载
摘要：本公开提供了一种磁力计探头，包括：静磁场发生装置、操控场发生装置、基于固态自旋的磁敏感单元及信号接收与转换单元；所述静磁场发生装置，用于产生稳恒静磁场；所述操控场发生装置为微带线结构或者共平面波导结构，用于产生操控场；所述基于固态自旋的磁敏感单元，位于所述稳恒静磁场和待测磁场中，在外部光源和所述操控场作用下，所述固态自旋中电子自旋态发生跃迁，产生荧光信号；所述信号接收与转换单元，用于接收所述荧光信号，并将所述荧光信号转换成电信号，所述电信号包含所述待测磁场的信息。所述操控场发生装置开设有透光部，以使所述荧光信号穿过所述透光部发射到所述信号接收与转换单元。本公开还提供了一种磁场测量方法。
磁力计探头磁场测量方法

[实用新型]一种防特气泄漏的连锁保护装置-CN202220513185.6有效
发明人：常俊;朱云彬;黄强;李天鹏;汪嘉 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防特气泄漏的连锁保护装置。包括第一连锁保护单元，所述第一连锁保护单元包括下电极和上电极，所述下电极顶面设有密封圈，驱动所述下电极向上电极靠近时，所述密封圈对上电极底端进行密封，形成密封腔；所述密封腔上连接主路管道和抽气管道，所述主路管道上连接多个并联布置的气体支路管道，所述气体支路管道上设有支路流量控制器和支路气动阀；所述主路管道上设有主路气动阀，所述密封腔内设有压力计，所述密封腔与压力计之间设有压力检测开关，所述压力检测开关与电磁阀串联；所述抽气管道上设有抽气阀。本申请中两路连锁保护单元控制独立，但又可以相互弥补，有效杜绝了密封腔内泄漏工艺气体，保证了作业人员的健康。
一种防特泄漏连锁保护装置

[发明专利]一种固态自旋传感器及其磁场测量方法-CN202110713222.8有效
发明人： 朱云彬;荣星;谢一进;杜江峰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G01R33/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种固态自旋传感器及其磁场测量方法，由于对磁敏感单元施加特定操控场，使得未完全退简并的能级与特定能级发生偏共振，当温度变化引起零场劈裂发生时，其中共振频率中靠近操控场频率和远离操控场频率的部分会相互抵消对特征信号的影响，因而能够在磁场测量过程中抑制固态自旋传感器温度漂移的情况，提高磁场的测量精度与稳定性。
一种固态自旋传感器及其磁场测量方法

[发明专利]一种固态自旋磁传感器及磁场测量方法-CN202110952833.8有效
发明人：谢一进;荣星;朱云彬;靖克;杜江峰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-08-18 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01R33/10 文献下载
摘要：本公开提供了一种固态自旋磁传感器，包括：光学单元，用于提供激发光；磁敏感单元，用于将部分激发光转换成荧光信号；其中，磁敏感单元设置于至少两个相对设置的磁场增益单元之间，磁场增益单元用于为磁敏感单元提供偏置磁场，并放大待测外部磁场的磁感应强度；探测单元，用于探测荧光信号及另一部分激发光，并将信号进行数字转换处理得到数字信号，该数字信号携带待测外部磁场的信息。本公开还提供了一种基于固态自旋磁传感器的磁场测量方法。
一种固态自旋传感器磁场测量方法

[实用新型]一种压铆螺母-CN202123087630.1有效
发明人： 朱云彬;徐利平;耿茂 -专利权人：东莞市昕艺精密五金有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： F16B37/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压铆螺母，包括螺母头，所述螺母头内部的中心位置开设有内部孔，内部孔呈现圆形，内部孔上盘绕有内螺纹，螺母头内部的左侧设置有内部凹槽，内部凹槽的一侧与内部孔的一侧相互接触，内部凹槽的尺寸大于内部孔的尺寸，螺母头的右侧设置有压花齿。本实用新型在螺母上设置有紧固槽，紧固槽呈现一定的锥度，压花齿呈现三角形，从而当螺母打入到钣金中时，压花齿就会卡在钣金中的孔中，且压花齿就会与钣金形成与压花齿相互啮合的形状，且紧固槽卡在钣金中的孔中，从而防止螺母脱落，通过设置有内螺纹，内螺纹可以安装其他的螺栓，且螺栓的地面插入到内部凹槽中，从而方便实用。
一种螺母

[实用新型]一种铆接牢固的螺栓螺母组件-CN202123038744.7有效
发明人： 朱云彬;徐利平;耿茂 -专利权人：东莞市昕艺精密五金有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： F16B37/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铆接牢固的螺栓螺母组件，包括螺母柱，螺母柱表面的一侧开设有第一外螺纹槽，第一外螺纹槽的表面螺纹安装有螺母块，螺母柱的内部螺纹安装有螺栓柱，螺栓柱的一端固定有固定头，固定头的外周面设置有加强肋，固定头远离螺栓柱的一端固定有外六角连接头，螺母柱和螺栓柱皆采用铬钼合金钢，螺母柱和螺栓柱的外表面皆电镀有环保兰锌，螺母柱的一端安装有导头。本实用新型不仅增强螺栓螺母组件的后期维护便捷性，提高对螺栓和螺母的保护性能，延长螺栓螺母组件的使用寿命，还便于工作人员进行螺栓螺母组件的装配工作。
一种铆接牢固螺栓螺母组件

[实用新型]一种用于金属板加固的铆接螺母-CN202123078250.1有效
发明人： 朱云彬;徐利平;耿茂 -专利权人：东莞市昕艺精密五金有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： F16B37/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于金属板加固的铆接螺母，包括铆接螺母本体、中心通孔、内螺纹槽、铆接部和连接部，中心通孔设置在铆接螺母本体内部的中心位置处，且中心通孔的一端设置有上开口，并且中心通孔的另一端设置有下开口，内螺纹槽设置在中心通孔的内壁上，且内螺纹槽呈等间距分布，铆接部设置在铆接螺母本体表面的一侧，且铆接部的表面皆设置有铆接齿，铆接齿呈等间距分布，连接部设置在铆接部一侧的铆接螺母本体表面，且连接部的外壁上皆设置有卡接齿。本实用新型不仅提高了铆接螺母安装的牢固性，使得铆接螺母不易松动，具备密封、防尘防水的效果，而且提升了耐磨和耐腐性能，延长了使用寿命。
一种用于金属板加固铆接螺母

[实用新型]一种金属板固定使用的铆接螺钉-CN202122820519.2有效
发明人： 朱云彬;徐利平;耿茂 -专利权人：东莞市昕艺精密五金有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： F16B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属板固定使用的铆接螺钉，包括螺钉柱弧形壁、涂层、加长螺钉柱和外螺纹壁，加长螺钉柱的外壁上设有外螺纹壁，且外螺纹壁的外壁与加长螺钉柱固定连接，外螺纹壁的外壁上设有涂层，且涂层的内壁与外螺纹壁固定连接，外螺纹壁一侧的加长螺钉柱外壁上安装有螺钉柱弧形壁，且螺钉柱弧形壁的外壁与加长螺钉柱固定连接，加长螺钉柱远离螺钉柱弧形壁的一端安装有螺钉帽，且螺钉帽的外壁与加长螺钉柱固定连接。本实用新型不仅实现了金属板固定使用的铆接螺钉优良的耐腐蚀性，提高了铆接螺钉连接时的可靠性，而且延长了铆接螺钉的使用寿命。
一种金属板固定使用铆接螺钉

[实用新型]一种防松动的压铆螺母-CN202122778283.0有效
发明人： 朱云彬;徐利平;耿茂 -专利权人：东莞市昕艺精密五金有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： F16B37/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防松动的压铆螺母，包括顶部固定板，顶部固定板的左侧设置有连接部，连接部具有一定的厚度，顶部固定板的中心位置设置螺孔，连接部的外部设置有压铆齿，连接部的左侧设置有锁紧部，锁紧部的一端设置有内螺纹，螺孔穿过连接部并一直延伸到延伸部中，延伸部的内壁开设有内螺纹。本实用新型因此在延伸部的一侧设置有锁紧部，锁紧部呈现一定斜度，当螺母打入到薄板中时，锁紧部就会卡在薄板中，且连接部的底部能紧密的与薄板接触，同时顶部固定板的底部也会紧密的与薄板接触。
一种松动螺母

[发明专利]基于固态自旋复合体系的电磁测量方法及装置-CN202210116332.0在审
发明人：谢才津;荣星;谢一进;朱云彬;杜江峰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2022-02-07 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01R29/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于固态自旋复合体系的电磁测量方法，包括：对固态自旋复合体系施加稳恒磁场，其中，固态自旋复合体系由基于固态自旋的磁敏感单元与磁电耦合材料组成；对磁敏感单元施加激发光和操控场，得到预处理复合体系；将预处理复合体系置于待测磁场中，对磁电耦合材料施加调制场，以对待测磁场进行测量；将预处理复合体系置于待测电场中，以对待测电场进行测量。本发明提供的电磁测量方法具有更高的灵敏度，且实现了低频噪声抑制。
基于固态自旋复合体系电磁测量方法装置

[实用新型]一种提升匀胶工艺胶膜质量的装置-CN202120204343.5有效
发明人：黄强;常俊;李天鹏;朱云彬 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种提升匀胶工艺胶膜质量的装置，属于半导体光刻匀胶工艺技术领域。包括匀胶室本体，所述匀胶室本体内设置胶盘，所述匀胶室本体内腔设于竖向布置的匀胶主轴，且所述匀胶主轴穿设胶盘，所述匀胶主轴顶端设置用于吸附硅片的吸盘，所述吸盘外侧围设挡圈，所述挡圈固定于胶盘上；所述匀胶室本体内活动设有可调式喷嘴单元，所述可调式喷嘴单元能够向硅片背面靠近或远离，对硅片背面的残胶进行清理。本申请能够有效阻挡硅片在高速旋转时甩出的光刻胶回溅到硅片正、背面，提高了胶膜质量。手动调节喷嘴喷射角度，喷嘴调至特定的角度后移动至既定位置，喷嘴喷出的液剂对硅片背面的残胶进行清洁，便于清理硅片背面的残胶。
一种提升工艺胶膜质量装置

[发明专利]基于金刚石中固态自旋的集成化传感器-CN202110409911.X在审
发明人：谢一进;荣星;张闻哲;朱云彬;靖克;秦熙;杜江峰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： G01R33/032 文献下载
摘要：一种基于金刚石中固态自旋的集成化传感器，包括：光学子系统，包括：发光单元；敏感子系统，包括：含固态自旋的金刚石；以及读出子系统，包括：光电探测单元；以及模数转换单元；其中，所述光学子系统、所述敏感子系统和所述读出子系统以子系统组件载体为基础集成为所述集成化传感器，所述子系统组件载体为用于将系统传感器各子系统以及全部所需功能集成为一个整体，包括印刷电路板、柔性印刷电路板、以及半导体集成电路芯片的三者的至少之一。本发明的集成化传感器，体积小、稳定性好、成本低。
基于金刚石固态自旋集成化传感器

[发明专利]一种基于固态自旋的磁场测量方法及装置和磁场测量系统-CN201811283741.X有效
发明人：荣星;谢一进;朱云彬;石致富;代映秋;杜江峰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G01R33/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于固态自旋的磁场测量方法及装置和磁场测量系统，所述磁场测量方法包括：对待测磁场进行调制处理为调制磁场，所述调制处理包括：对所述待测磁场进行聚集以放大所述待测磁场的磁感应强度，和/或，将所述待测磁场调制为预设频段；采用基于固态自旋的磁传感器测量所述调制磁场。由上述内容可知，本发明提供的技术方案，通过对待测磁场进行聚集而放大待测磁场的磁感应强度，和/或，通过将待测磁场调制为预设频段，而后采用基于固态自旋的磁传感器对该调制处理后的调制磁场进行测量，以提高基于固态自旋的磁传感器的对磁场测量的灵敏度。
一种基于固态自旋磁场测量方法装置测量系统

[实用新型]一种房屋建筑平面度检测装置-CN202020787472.7有效
发明人：胡寅;朱云彬;周盛 -专利权人：胡寅
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种房屋建筑平面度检测装置，包括第一导轨，第一导轨两端下侧均设置有安装板，安装板下侧固定安装有竖直支撑杆，竖直支撑杆下端均固定安装有第一电动滑块，第一电动滑块下端均设置有第二导轨，第一电动滑块配套安装在第二导轨上，第二导轨下端均固定安装有支撑板，第一导轨前后侧壁均开设有上下对称分布的第一滑槽，所有的第一滑槽配合安装有同一个第二滑块。本装置通过滑块带动红外线测距仪在地面上运动，红外线测距仪将会对地面进行测量，并将信号传递给信号处理器，从而得到地面的平面度，整个装置安装过程极为简单，测量范围大，测量效率极高且测量数据准确。
一种房屋建筑平面检测装置

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