专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构及形成半导体装置的方法-CN201010251089.0无效
  • 曾明鸿;陈承先;郭正铮;陈志华;萧景文 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2010-08-09 - 2011-09-21 - H01L23/00
  • 本发明公开了一种半导体结构及形成半导体装置的方法,其中该半导体结构包括:一基材以及一柱体,基材包括一导电焊盘,该导电焊盘具有一第一宽度,柱体电性耦接于该导电焊盘,该柱体具有一第二宽度,其中该第一宽度比该第二宽度大了大约6微米或6微米以上。本发明提供一凸块底部金属化结构,用于一半导体装置中。一钝化层形成于接触垫上,而暴露接触垫的至少一部分。一保护层,例如一聚酰亚胺层,形成于该钝化层上。该凸块底部金属化结构,例如一导电柱体形成于该接触垫上,使下方的接触垫朝侧向延伸而超过该凸块底部金属化结构一足够大的距离,而避免或减少钝化层与保护层的破裂。
  • 半导体结构形成装置方法
  • [发明专利]金属柱凸块结构及其形成方法-CN201010226312.6有效
  • 曾明鸿;连永昌;陈承先;郭正铮 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2010-07-08 - 2011-01-19 - H01L21/60
  • 本发明公开了一种金属柱凸块结构及其形成方法,该方法包括:形成一保护层于一半导体基板之上;形成一导电层于该保护层之上;提供经图案化与经过蚀刻的一阻剂层于该导电层之上,该阻剂层中定义有至少一开口;沉积一金属层于该至少一开口内;沿着介于该阻剂层与该金属层间的一或多个界面蚀刻部分的该阻剂层,以形成多个凹穴;沉积一焊锡材料于该至少一开口内,该焊锡材料填入所述多个凹穴内以及高于该金属层的该开口的一部内;移除剩余的该阻剂层与未形成于该金属层之下的该导电层;以及回焊该焊锡材料以包覆该金属层。本发明可于制造过程中保护金属柱凸块的侧壁。
  • 金属柱凸块结构及其形成方法

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