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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于曝光机的板件的保持装置-CN201810170069.7有效
  • 曹韦翎;许建郎 - 奥特斯科技(重庆)有限公司
  • 2018-03-01 - 2021-09-24 - G03F7/20
  • 本发明涉及用于曝光机的板件的保持装置，并且特别涉及用于保持形成部件承载件(110)的层堆叠体的装置(100)。该装置包括真空板(101)和用于将芯层(111)夹持到真空板(101)的夹持装置(104)。在真空板(101)与芯层(111)之间可布置至少一个加强层(112)。真空板(101)包括支撑部分(102)和固定部分(103)，芯层(111)可布置在该支撑部分上，该固定部分用于通过夹持装置(104)将真空板(101)固定到保持框架。该装置还包括布置在夹持装置(104)和真空板(101)的固定部分(103)之间的密封元件(105)，其中，该密封元件(105)与真空板(101)的支撑部分(102)间隔开，使得在密封元件(105)和支撑部分(102)之间形成沟槽(106)。
  • 用于曝光保持装置
  •  1 
  • 共 1 条
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