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[发明专利]高速并行写入读取系统及方法-CN202310772032.2有效
发明人： 曹子峥;周延;皮雅稚;余少华 -专利权人：鹏城实验室
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G11B7/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速并行写入读取系统及方法，系统包括：片上集成光子芯片系统；片上集成光子芯片系统包括：光源、多个阵列化单元以及探测器，各阵列化单元独立控制，多个阵列化单元划分为近场作用像素区和距离校准像素区；近场作用像素区内的阵列化单元根据写入需求和/或读取需求将控制信号调制至光载波或调制光信号上，从而对待测样品各空间点写入，和/或，读取待测样品各空间点返回的光信号；距离校准像素区内的阵列化单元探测写入和读取过程中与待测样品的垂直距离；由于本发明中通过高速并行超分辨成像与曝光技术，同时对待测样品进行写入和读取，从而能够提高扫描速度，并加入实时垂直测距反馈功能，从而能够调控扫描时的最佳垂直距离。
高速并行写入读取系统方法

[发明专利]连续旋转曝光系统及方法-CN202310772029.0有效
发明人： 曹子峥;周延;皮雅稚;余少华 -专利权人：鹏城实验室
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种连续旋转曝光系统及方法，系统包括：片上集成光子芯片系统；片上集成光子芯片系统包括：位移设备、片上集成高速并行读写头，片上集成高速并行读写头包括多个阵列化单元，所述多个阵列化单元划分为近场作用像素区和距离校准像素区；位移设备用于根据写入需求和/或读取需求进行旋转移动；近场作用像素区内的阵列化单元用于在位移设备进行旋转移动时，根据写入需求和/或读取需求将调制信号投射至位于所述位移设备上的待测样品进行重复曝光和/或全功率曝光，和/或读取所述待测样品反射的光信号，本发明根据位置设备对旋转移动的待测样品进行重复曝光和/或全功率曝光，基于旋转的曝光方式从一步曝光到多步曝光，从而提高曝光精度。
连续旋转曝光系统方法

[发明专利]曝光分辨率优化方法、装置、电子设备及存储介质-CN202311037238.7有效
发明人： 曹子峥;周延;皮雅稚;余少华 -专利权人：鹏城实验室
申请日： 2023-08-17 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种曝光分辨率优化方法、装置、电子设备及存储介质，涉及光刻领域，本申请将光刻系统的可调曝光参数和可调曝光参数的曝光结果输入至预设优化模型得到目标参数，其中，可调曝光参数至少包括光源相位；基于目标参数对光刻系统进行调节形成新曝光参数的光刻系统；基于新曝光参数的光刻系统进行曝光得到新的曝光结果，将目标参数作为新的可调曝光参数，基于新的可调曝光参数和新的曝光结果返回执行将光刻系统的可调曝光参数和可调曝光参数的曝光结果输入至预设优化模型得到目标参数的步骤。本申请实施例，加入了光源相位作为可调曝光参数之一，参与到优化过程中，丰富了优化方向，改善调控的精细度，从而提高光刻分辨率的增强效果。
曝光分辨率优化方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种波导集成型光电探测器及其制备方法-CN202310910166.6在审
发明人：唐颖;王磊;曹子峥;贺志学 -专利权人：鹏城实验室
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L31/109 文献下载
摘要：本发明公开了一种波导集成型光电探测器及其制备方法。所述波导集成型光电探测器包括波导和范德华异质结；所述范德华异质结包括设置在所述波导一侧的p型二维半导体层、以及设置在所述p型二维半导体层背对所述波导一侧的n型二维半导体层。本发明中，电子和空穴的流动会在范德华异质结界面处形成电势突变而产生内建电场，该内建电场可作为无光照下器件中自由载流子运动的势垒，减小暗电流；同时也可加快光生载流子的分离，提升载流子提取率，进而提升光响应度和光响应速率。
一种波导集成光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种智能时空锁模光纤激光器和控制方法-CN202310156088.5在审
发明人：马春阳;皮雅稚;王超鹏;李超;曹子峥;余少华 -专利权人：鹏城实验室
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01S3/1115 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能时空锁模光纤激光器和控制方法，所述智能时空锁模光纤激光器包括：全光纤动量空间调制装置，所述全光纤动量空间调制装置用于控制空间模场分布；所述全光纤动量空间调制装置包括：动量空间随机调控器件和智能反馈控制装置；所述动量空间随机调控器件和所述智能反馈控制装置连接；所述动量空间随机调控器件用于得到在多模光纤坐标空间中任意形态的模场分布；所述智能反馈控制装置用于得到多模光纤时空锁模状态的特定模场分布。通过动量空间随机调控器件得到坐标空间中任意形态的模场分布，并通过智能反馈控制装置找出多模光纤时空锁模状态的特定模场分布，达到准确地控制空间模场分布，实现时空模式的同时锁定的效果。
一种智能时空光纤激光器控制方法

[发明专利]一种时变光源-掩模版协同优化方法及相关设备-CN202310123013.7有效
发明人： 曹子峥;周延;皮雅稚;余少华 -专利权人：鹏城实验室
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种时变光源‑掩模版协同优化方法及相关设备，所述方法包括：获取散焦和光刻胶的阈值，对散焦和阈值进行预计算得到初始参量；进行时变光源优化和掩模版优化得到联合方案，并将联合方案反馈给第一训练库；根据联合方案对隐图像进行计算光刻模拟得到模拟结果，并对联合方案进行曝光得到量测结果，并将模拟结果与量测结果进行对比得到对比结果；将对比结果输入第二训练库，根据智能核心算法对第一训练库和第二训练库进行学习得到优化后的多次曝光方案，并基于多次曝光方案得到超分辨光刻图案。本发明通过稀疏采样降低量测所需的精度，并在多次曝光后形成具有高质量临界尺寸的锐化边缘，实现超分辨光，且降低测试成本。
一种光源模版协同优化方法相关设备

[发明专利]基于级联马赫-曾德尔调制器的毫米波发生器-CN201010104844.2无效
发明人：周平;曹子峥;郑之伟;陈林;文双春;范滇元 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2010-02-03 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H04B10/12 文献下载
摘要：一种基于级联马赫-曾德尔调制器的毫米波发生器，包括泵浦光源、两个双臂马赫-曾德尔调制器、微波信号源、三个移相器、光纤布拉格光栅滤波器、一段光纤、掺铒光纤放大器、光电探测器和喇叭天线，泵浦光源的输出经过两个级联级的马赫-曾德尔调制器由微波信号源调制后，经所述的光纤、掺铒光纤放大器和光电探测器，并经喇叭天线发射后，可获得八倍于信号源频率的毫米波。本发明使用带宽低于20GHz的微波信号源可获得100GHz以上的毫米波。这种毫米波发生器具有频谱纯度高、易于调谐、结构简单、稳定性高等特点。
基于级联马赫曾德尔调制器毫米波发生器

[发明专利]光载波抑制调制产生光毫米波的OFDM光纤无线通信系统-CN200910043026.3无效
发明人：陈林;余建军;文双春;李瑛;董泽;卢嘉;曹子峥 -专利权人：湖南大学
申请日： 2009-04-03 - 公布日： 2009-10-28 - 主分类号： H04J14/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光纤无线(Radio-on-Fiber，缩写为ROF)通信系统技术与无线OFDM技术结合，利用OFDM信号所具有的抗多径时延特性以及子载波传输速率较低等特性来抵抗光纤传输中色散对信号的影响，增大传输距离。将OFDM信号与射频正弦波信号混频后驱动强度调制器，使强度调制器对分布反馈式激光器产生的连续光波实现载波抑制调制，加载了OFDM信号的光载波通过光纤传送至基站，在基站先用光电检测器将光毫米波信号转换成电毫米波信号，最后再实现OFDM信号的解调。本发明所述的OFDM-over-fiber光纤无线通信系统，还可以用双强度调制器实现，主要工作过程如下：分布反馈式激光器产生连续光波，射频信号源产生的正弦波信号驱动双臂强度调制器，对连续光波实现载波抑制调制，OFDM信号产生模块产生OFDM信号，单臂的强度调制器将OFDM信号加载到抑制了载波的光毫米波上，最后经光纤传输至基站。本发明所述的光载OFDM信号的毫米波产生方法及由此构成的光纤无线通信系统，可以抵抗光纤传输中色散对毫米波的影响，增大传输距离，降低长远距离通信系统的成本。
载波抑制调制生光毫米波 ofdm 光纤无线通信系统

[发明专利]单边带高频光毫米波产生及波长再利用系统-CN200910043025.9无效
发明人：陈林;余建军;董泽;卢嘉;曹子峥 -专利权人：湖南大学
申请日： 2009-04-03 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： H04W88/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种属于光纤无线通信(Radio-over-Fiber，缩写为ROF)系统技术领域中的采用一个带宽较窄的强度调制器和一个频率较低的射频信号生成高频单边带毫米波信号的方法。充分利用了双边带调制较高的可靠性和成本低特性和单边带调制信号能较好的抗光纤色散的性能。在中心站利用多倍双频技术产生高频的毫米波，降低了中心站对器件带宽的要求，使得中心站的配置很简单，易于实现，降低了中心站造价。在基站利用滤波器得到单边带信号，而得到的单边带信号带宽是传统单边带信号带宽的2倍。从而既避免了直接使用单边带调制时在中心载波处较高的直流分量，又减小了光纤色散对信号的影响。同时，本发明从下行链路中滤出ROF毫米波中心载波，用于上行链路波长再利用，简化了基站。
边带高频毫米波产生波长再利用系统

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