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[发明专利]光探针、光探针阵列、检查系统以及检查方法-CN202011055158.0有效
发明人：奥田通孝;齐藤祐贵;竹谷敏永;原子翔;福士树希也;佐藤实;成田寿男 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：本发明提供一种光探针、光探针阵列、检查系统以及检查方法，能够抑制光半导体元件的检查时间的增加。光探针(10)接收从被检查体(200)输出的光信号(L)。光探针(10)具有由芯部(111)和配置于芯部(111)的外周的包层部(112)构成的光波导(11)，光波导(11)的射入光信号(L)的入射面(100)为曲率半径(R)固定的凸球面。
探针阵列检查系统以及方法

[发明专利]测定系统-CN202111569930.5在审
发明人：奥田通孝;竹谷敏永;成田寿男 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供一种测定系统，能够抑制形成于半导体基板的光半导体元件的测定时间的增大。测定系统具备：驱动装置，其驱动多个光半导体元件；探测器单元，其具有分别接收来自光半导体元件的出射光的多个光连接装置；以及处理装置，其具有多个光电变换器。光连接装置与光电变换器以1对1的方式连接，光连接装置所接收到的出射光的至少一部分输入到光电变换器。光电变换器将被输入的出射光变换为电信号。
测定系统

[发明专利]测定系统和测定方法-CN202110884724.7在审
发明人：奥田通孝;齐藤祐贵;成田寿男;原子翔;福士树希也;斋藤友和;竹谷敏永 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供一种测定系统和测定方法，能够稳定地测定光半导体元件的准确的测定值。在测定方法中，通过光探针的入射端面来接收从光半导体元件输出的出射光，其中，使光半导体元件与光探针的相对位置沿与出射光的光轴交叉的平面发生变化，在多个位置处分别测定出射光的入射强度，获取表示相对位置的变化与入射强度之间的关系的入射强度图案。
测定系统方法

[发明专利]电连接装置-CN202080018929.0在审
发明人：林崎孝幸;赤平明久;成田寿男;今瑞穗;须藤贤一 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：电连接装置(1)包括探针(10)和探针头(20)，该探针头(20)具有中部引导板(23)，该中部引导板(23)在顶部引导板(21)与底部引导板(22)之间靠近底部引导板(22)地配置，并且供探针(10)贯穿。供探针(10)贯穿的引导孔的位置在顶部引导板(21)和中部引导板(23)中偏移地设置，以在顶部引导板(21)与中部引导板(23)之间弯曲的状态保持探针(10)。探针(10)具有如下的构造：与在通过顶端部与被检体接触而压曲的探针(10)施加的应力最大的最大应力位置相比，在除了最大应力位置以外的区域中，该探针(10)容易弯曲。
连接装置

[发明专利]探针和电连接装置-CN202110340594.0在审
发明人： 成田寿男;原子翔;葛西祐树;田中慎二 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明提供一种减少滑动时的探针与周围的摩擦的探针和电连接装置。探针(10)包括：筒体(11)，该筒体(11)呈管形状，具有沿着中心轴线方向伸缩的拉伸弹簧(12)；以及柱塞(13)，该柱塞(13)的基端部位于筒体(11)的内部，该柱塞(13)的顶端部自筒体(11)的一个开口端暴露。拉伸弹簧(12)的一个端部固定于柱塞(13)的基端部，拉伸弹簧(12)的另一个端部在距柱塞(13)的基端部的距离大于距柱塞(13)的顶端部的距离的位置固定于筒体(11)。
探针连接装置

[发明专利]测定系统-CN202011296783.4在审
发明人：奥田通孝;斋藤祐贵;成田寿男;原子翔;福士树希也 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2021-05-21 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：提供一种测定系统，能够抑制形成于半导体基板的光半导体元件的测定时间增大。测定系统具备：配置m个光探针群(111～11m)而形成的光探针阵列，m个光探针群各自具有n根光探针(101～10n)；m个光信号选择器(211～21m)，m个光信号选择器各自与m个光探针群中的任一个光探针群以1对1的方式对应，从由对应的探针群的光探针分别输出的光信号中选择一个光信号来输出；以及控制电路，其控制光信号选择器。测定系统通过控制电路的控制，重复切换光信号选择器对光信号的选择，直到选择了从m个光探针群中包含的全部的光探针输出的光信号为止。
测定系统

[发明专利]电连接装置-CN201880024254.3在审
发明人：林崎孝幸;成田寿男 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明提供一种电连接装置，该电连接装置包括：探针(10)；以及探针头(20)，其具有由探针(10)贯穿的顶部(21)、配置于比顶部(21)靠端头部侧的位置且由探针(10)贯穿的底部(23)、以及配置于顶部(21)与底部(23)之间且由探针(10)贯穿的上部引导部(24)和下部引导部(25)，探针(10)被以在顶部(21)与底部(23)之间弯曲的状态保持，通过端头部与被检查体(2)相接触，从而探针(10)发生压曲，至少探针(10)发生压曲的状态下的探针(10)的自贯穿底部(23)的部分起到贯穿下部引导部(25)的部分为止的连续的部分是刚性比探针(10)的发生压曲的部分的刚性高的高刚性部分(101)。
探针贯穿压曲电连接装置下部引导部端头部上部引导部被检查体状态保持高刚性探针头配置