专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于浸没式离子注入的工件固位工装-CN202222565415.6有效
  • 刘宣勇;蔡丁森;钱仕;张宪明 - 慈溪生物材料表面工程中心
  • 2022-09-23 - 2023-05-23 - H01J37/20
  • 本实用新型涉及离子注入技术领域,尤其涉及一种用于浸没式离子注入的工件固位工装。该工装包括支架和多个环形固位部,多个环形固位部同心且呈多层阶梯布置,多个环形固位部的正投影依次间隔套设,每个环形固位部上沿周向间隔设有多个固位孔。各个环形固位部通过支架实现支撑及空间位置的固定,工件固位工装通过支架能够固定在离子注入设备真空腔内的工作靶台,且能够随工作靶台旋转,环形固位部和支架均由导电材料制成。该工装采用同心呈多层阶梯的结构,能够在不减少工件数量的同时,提高等离子体鞘层的利用率,且结构简单,使用方便,能有效提高工件处理的效率、稳定性以及工件的导通稳定性,保证工件表面等离子体离子注入的均匀性。
  • 一种用于浸没离子注入工件固位工装
  • [发明专利]一种离子同极溅射镀膜装置及方法-CN202110926673.X在审
  • 刘宣勇;侯志宇;马小涵 - 中国科学院上海硅酸盐研究所;慈溪生物材料表面工程中心
  • 2021-08-12 - 2023-02-17 - C23C14/34
  • 本发明公开一种离子同极溅射镀膜装置及方法。所述离子同极溅射镀膜装置的靶材与基体设置于阴极同一极,且阴极连接负电压电源;所述装置包括:内设有等离子源的真空室;所述真空室的外壳接地;作为阴极的样品台;等离子源;真空装置;真空室的腔体与所述真空装置和气体源相互连通;气体源;通过阀门控制气体源的流量;靶材;所述靶材设置于样品台上,与样品台直接接触导电;负电压电源;所述负电压电源与样品台连接;伺服电机;控制器;所述控制器控制伺服电机转动、负电压电源电压调节、气体源流量调节、真空装置抽真空和等离子源功率。该装置设计靶材与基体同处一极,不仅能够实现绝缘体溅射镀膜,而且可以同时提高溅射产率和沉积速率。
  • 一种离子溅射镀膜装置方法
  • [实用新型]一种真空镀膜设备的工件固位工装-CN202222228457.0有效
  • 刘宣勇;蔡丁森;张宪明;钱仕 - 慈溪生物材料表面工程中心
  • 2022-08-23 - 2022-12-09 - C23C14/50
  • 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种真空镀膜设备的工件固位工装。该工件固位工装包括基座和工件固位插层,安装待镀膜工件的工件固位插层安装在基座上,即可进行真空镀膜。该工件固定工装结构简单、操作方便,能够在将待镀膜工件安装在工件固位插层上,整体安装在基座上,提高效率。基座上沿上下方向设置多层限位滑槽,能够根据待镀膜工件的尺寸调整工件固位插层的安放位置,适用于不同结构尺寸的工件。通过固位孔安放待镀膜工件,适用于常规工件也适用于需要导通的工件,且表面能够充分暴露,镀膜效果好。
  • 一种真空镀膜设备工件固位工装

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