“徐增凯”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]工艺腔室及半导体工艺设备-CN202221072703.1有效
发明人： 徐增凯 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本申请公开一种工艺腔室及半导体工艺设备，工艺腔室包括腔体、基座、预热环和旋转机构，其中：基座和预热环均设于腔体的内腔中，预热环沿基座的周向环绕设置，且二者之间设有避让间隙；基座和预热环将内腔分隔为工艺腔和底部腔，避让间隙连通工艺腔和底部腔；旋转机构设于底部腔内，旋转机构包括主轴、供气支臂和支撑支臂，支撑支臂的一端与主轴相连，另一端与基座相连，支撑支臂用于支撑基座及带动基座旋转；供气支臂的一端与主轴相连，另一端设有供气口，供气口靠近避让间隙，且与避让间隙相对设置，供气口用于输送吹扫气体，以减少工艺腔室在进行工艺时由工艺腔进入到底部腔中的工艺气体。上述方案能够防止工艺气体在基座底面形成涂层。
工艺半导体工艺设备

[实用新型]一种风电用多孔道电缆导向装置-CN201821887032.8有效
发明人：王跃彬;杨峰;邢春雷;徐增凯 -专利权人：北京万源工业有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： H02G3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及风力发电技术领域，具体公开了一种风电用多孔道电缆导向装置。一种风电用多孔道电缆导向装置，该装置包括电缆护套组件、护套支架以及连接支架，其中，电缆护套组件嵌套在护套支架内，并在护套支架内自由旋转或一定行程范围内上下移动；护套支架通过连接支架与风电塔筒内爬塔固定连接；风电机组悬垂的电缆固定在电缆护套组件中，并随电缆的扭转和拉升带动电缆护套组件扭转和拉升。本实用新型所述的一种风电用多孔道电缆导向装置，设计简约，制作组装成本低，安装维护方便可靠，有效解决了塔筒内电缆在风机偏航扭转过程中的摆动、缠绕和绝缘层磨损的问题，保证了风电机组在运行过程中电缆的运行安全。
电缆导向装置电缆护套护套支架多孔道风电电缆本实用新型风电机组连接支架拉升扭转绝缘层风力发电技术嵌套安装维护电缆固定风电塔筒上下移动有效解决运行过程悬垂摆动风机偏航塔筒磨损缠绕组装制作保证安全

[实用新型]一种收获机传动轴应力实时测量装置-CN201520399608.6有效
发明人：刘守荣;童俊飞;田纪云;徐增凯 -专利权人：中国农业大学
申请日： 2015-06-11 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种收获机传动轴应力实时测量装置，包括盖板、外盒、蓄电池、底座、联接壳体、上夹紧板、下夹紧板、测量模块、放大器、单片机和无线收发器，联接壳体的上部设有凹槽，联接壳体的下部设有缺口。外盒固定在联接壳体的凹槽中，外盒的上端敞口，盖板固定在外盒的上端敞口处，蓄电池固定在外盒的底部左侧，底座固定在外盒的底部右侧，无线收发器、放大器、单片机并排固定在底座上，蓄电池通过导线与测量模块、放大器、单片机、无线收发器相连。本实用新型具有结构设计合理、生产制造成本低、适用面广等优点，可实现实时测量，检测数据准确可靠，同时，可适用于一定范围内不同尺寸收获机传动轴的应力测量，以满足不同场合的需要。
一种收获传动轴应力实时测量装置