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- [发明专利]一种晶圆清洗方法-CN202211088034.1在审
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张然;张娟辉;李彩凤;刘晓荣;张玉珏
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北京燕东微电子科技有限公司
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2022-09-07
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2023-06-23
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B08B3/04
- 本申请公开一种晶圆清洗方法。一实施例的晶圆清洗方法包括:对晶圆进行第一腐蚀;对晶圆利用第一中心口和第一辅助口进行溢流注水,第一中心口的注水流速为第一流速,第一辅助口的注水流速为第二流速;对晶圆进行第二腐蚀;利用第二中心口和第二辅助口进行溢流注水,第二中心口的注水流速为第三流速,第二辅助口的注水流速为第四流速;在冲洗腔内,自槽体底部的注水口以第五流速进行注水进行第三次清洗,直至水电阻率达到工艺要求;以及对晶圆进行干燥处理,第一、第二、第三以及第四流速为5L/min~22L/min,第五流速为20L/min~30L/min,第三次清洗时间为150s~1000s。该清洗方法能够避免深宽比大的沟槽内水膜置换不良导致的水痕,进而提高产品良率。
- 一种清洗方法
- [实用新型]一种防跌倒和遇险检测报警装置-CN202221059233.5有效
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吴涛;张玉珏;苏文斌;苏颖彤;周玥妤;梁恩源
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广东恩斯湃迩生物科技有限公司
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2022-05-06
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2023-03-24
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G08B21/04
- 一种防跌倒和遇险检测报警装置,包括报警装置本体、智能检测模块、主控模块、报警模块及通信模块;所述智能检测模块、主控模块、报警模块及通信模块设置于所述报警装置本体中,所述报警装置本体设置检测窗口,所述至少一个声音检测单元用于检测到的声音信息传输给主控模块;所述主控模块与所述智能检测模块相连,用于接收至少一个红外雷达检测单元和至少一个声音检测单元输出的报警模块信息,并根据报警模块信息传送到通信模块,通过所述通信模块将信息发送到云端报警平台,所述云端报警平台将接收到的报警信息再发送到终端设备。将报警装置通过固定杆固定于天花板上。解决可穿戴设备佩戴舒适性差、设备不易清洗等缺点,采用红外雷达检测技术和声音检测技术,同时也解决了视频方法的隐私保护问题,保证了摔倒或遇险发生时的第一时间报警。
- 一种跌倒遇险检测报警装置
- [发明专利]自发荧光骨修复磁性缓释微球-CN201310442023.3有效
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陈景帝;张惠;张玉珏;潘盼盼;张其清
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福州大学
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2013-09-26
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2014-01-08
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A61L27/46
- 本发明公开了一种自发荧光骨修复磁性缓释微球及其制备方法,采用溶剂热法合成纳米Fe3O4,将纳米Fe3O4均匀分散于海藻酸钠溶液中,同时复合对成骨细胞具有促进增殖和分化作用的传统中药-淫羊藿苷;将混合物通过微囊成型装置,滴入凝胶浴中形成初级微球;再将初级微球浸没于壳聚糖溶液中,利用壳聚糖和海藻酸钠的电荷互补特性形成聚电解质半透膜,并将复合微球与京尼平交联,制备自发荧光骨修复磁性缓释微球。本发明充分考虑了作为植入性骨修复材料对细胞毒性的要求,选用具有优良生物相容性和降解性的壳聚糖和海藻酸钠为原料,并可根据骨病损处的需要通过调节电压大小来制备不同粒径的微球。
- 自发荧光修复磁性缓释微球
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