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[实用新型]一种基于石墨烯的微波相位检测系统-CN202221574112.4有效
发明人：王德波;马骄;李超 -专利权人： 张家港芯微感半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01N22/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于石墨烯的微波相位检测系统，包括：检测柜和置物架，所述检测柜的一侧通过合页连接有柜门，所述检测柜的底部通过支撑柱连接有主机，所述主机的一侧设置有控制面板，所述控制面板的一侧设置有显示面板，所述置物架安装在检测柜的内部；该基于石墨烯的微波相位检测系统的有益效果是：在使用的时候，可以按压翘板的一端，使得翘板通过转轴进行转动，此时另一端的限位块就会从置物架底部的插槽中移动处，同时没有翘板的限位块对置物架的限位作用，使得置物架就会通过连接弹簧将置物架从检测柜内部弹出来，从而方便使用者放置待检测石墨烯，不会出现撒漏的情况，这就是基于石墨烯的微波相位检测系统的特点。
一种基于石墨微波相位检测系统

[发明专利]高灵敏度MEMS微波功率传感器-CN202210969644.6在审
发明人：王德波;马骄;李超 -专利权人： 张家港芯微感半导体技术有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01R21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种高灵敏度MEMS微波功率传感器，采用MEMS平面工艺。该传感器由衬底、共面波导传输线、悬臂梁和测试电极组成。衬底的材质为砷化镓，两种悬臂梁和共面波导传输线均设置在衬底上。其中一个悬臂梁的测试电极被安置于锚区与信号线之间，另一个悬臂梁的测试电极被安置于另一侧地线和信号线之间，互连的两个测试电极与输出端相连用来检测电容。当微波信号进入的时候会引起电容的变化，通过测量变化值即可间接得到微波信号的功率。此传感器采用新结构与传统结构相结合的方式，在保证高过载功率的同时，两个悬臂梁采用并联方式极大地提高灵敏度。
灵敏度 mems 微波功率传感器

[实用新型]基于MEMS技术的微波信号集成检测系统-CN202221574239.6有效
发明人：王德波;马骄;李超 -专利权人： 张家港芯微感半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01R13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了基于MEMS技术的微波信号集成检测系统，包括检测柜、一分三功分器和电容式微波功率传感器，所述检测柜的顶部安装有工作台，所述检测柜内部的一侧设置有一分三功分器。该基于MEMS技术的微波信号集成检测系统，把手拉动转动座绕着限位柱旋转，使得转动座下方呈等夹角安装的滚轮在摆放座中滚动旋转，方便工作人员在不同角度对示波器上的幅度、频率和相位微波信息进行展示，风机运行带动流通的空气穿过平行分布的过滤板，一分三功分器、微波信号幅度检测器、微波信号频率检测器、微波信号相位检测器、功率合成器和电容式微波功率传感器运行产生的热量被流通的冷空气带走，保证该微波信号集成检测系统高效运行。
基于 mems 技术微波信号集成检测系统

[实用新型]一种基于石墨烯的微波频率检测系统-CN202221570172.9有效
发明人：王德波;马骄;李超 -专利权人： 张家港芯微感半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01N22/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于石墨烯的微波频率检测系统，涉及微波频率检测领域，包括微波频率检测仪器、波图显示屏、频谱分析仪、数据芯片和检测芯片，所述微波频率检测仪器的一侧设置有波图显示屏，所述微波频率检测仪器的内部安装有频谱分析仪，所述频谱分析仪的一侧安装有数据芯片，所述数据芯片远离频谱分析仪的一侧的安装有波频计数器，所述波频计数器远离数据芯片的一侧安装有检测芯片。本实用新型微波频率检测仪器内部的波长检测器启动，检测芯片控制波长检测器对样品盘内部的石墨烯进行波长测试，波长检测器将波长测试的数据传导至检测芯片的内部，石墨烯平铺在样品盘的内部，使石墨烯均匀，提高了石墨烯的微波频率的测试数据的准确性。
一种基于石墨微波频率检测系统

[发明专利]一种压阻式微波功率检测系统-CN202111311956.X在审
发明人：王德波;马骄;李超 -专利权人： 张家港芯微感半导体技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01R29/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种压阻式微波功率检测系统，包括：高阻硅衬底，所述高阻硅衬底的上方设置有信号线，且信号线的两侧平行设置有地线，并且信号线的上方设置有悬臂梁，所述悬臂梁的底端与高阻硅衬底的上表面进行对接，且悬臂梁的上方涂布有石墨烯层。该压阻式微波功率检测系统，通过限位桥对信号线限位，使得绝缘层对信号线绝缘防护，当信号线传输微波信号时，使得微波功率可以在信号线上进行传输，悬臂梁受静电力并向信号线的方向拉动，使得悬臂梁受拉动而弯曲变形，并带动悬臂梁上表面的石墨烯层也发生形变，使得石墨烯层的电阻值发生变化，通过外接电阻检测仪器对石墨烯层的电阻值测量，方便根据测量的电阻值来检测到微波功率。
一种式微功率检测系统

[发明专利]一种转盘式微波功率检测系统-CN202111312297.1在审
发明人：王德波;马骄;李超 -专利权人： 张家港芯微感半导体技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01R21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种转盘式微波功率检测系统，包括：衬底，表面安装有信号线，所述信号线的顶部设置有第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁，所述第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁的一端固定连接有衬底，测试电极，安装在衬底的表面，所述测试电极设置有三个。该转盘式微波功率检测系统，第二悬臂梁和第三悬臂梁下拉的过程中，测试电极与第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁之间的电容会发生变化，从而工作人员通过测量电容量的变化即可更加便捷的测量信号功率的幅值，通过第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁不同比例的长宽比例的不同，使得第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁谐振频率不同，从而可以检测更宽的微波信号。
一种转盘式微功率检测系统