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[发明专利]等离子处理装置-CN201980005077.9有效
发明人： 岩瀬拓;矶崎真一;横川贤悦;森政士;佐山淳一 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：为了能够使中心高的分布和节分布这两方独立地对等离子密度分布进行控制，针对处理的均匀性能够以更高精度对试料进行等离子处理，将等离子处理装置构成为具备：真空容器，试料被等离子处理；高频电源，提供用于生成等离子的高频电力；试料台，载置试料；和磁场形成部，使真空容器的内部形成磁场并被配置于真空容器的外侧，磁场形成部中具备：第1线圈；第2线圈，被配置于比第1线圈更靠内侧的位置且直径比第1线圈的直径小；第1磁轭，覆盖第1线圈、真空容器的上方以及侧面且第1线圈被配置于内部；和第2磁轭，沿着第2线圈的周方向覆盖第2线圈并在第2线圈的下方侧具有开口部。
等离子处理装置

[发明专利]电气轴流式风扇-CN200710166424.5有效
发明人： 岩瀬拓;渡部真德;关口治;日冲哲也;旦野太郎;神基;加藤义彦 -专利权人：日本伺服公司
申请日： 2007-10-31 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： F04D29/38 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于轴流式风扇的叶轮，所述叶轮包括：轮轴，其具有径向外表面并且中心位于中心轴线(J1)上；和多个叶片，其从轮轴的径向外表面径向向外延伸，以当轮轴在转动方向(RD)上转动时产生沿着中心轴线(J1)的空气流，多个叶片中的每个叶片都包括：前缘，其是沿转动方向(RD)的前侧边缘；后缘，其是沿转动方向(RD)的后侧边缘；和径向外缘，其连接前缘和后缘，其中，在多个叶片中的每个叶片中，径向外缘和后缘相接处的第一拐角(B)在转动方向(RD)上设置在轮轴的径向外表面与前缘相接处的第二拐角(A)的前侧。
电气轴流风扇