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[发明专利]等离子体装置-CN201710271263.X有效
发明人：吉村拓也;小泉雅史;井出光太郎;芦高优 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体装置。利用等离子体对工件的一部分进行成膜或蚀刻的等离子体装置具备：真空容器，具备第一模和第二模，所述第一模具备第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部，所述第二模与第一模对向地配置；绝缘部件，配置于第一平面部与第二模之间，在使工件的被处理对象部分朝向第一凹陷部内的空间并且使工件从第一平面部离开的状态下与工件接触；以及电力施加部，向工件施加电力。工件与绝缘部件间的接触点中的最靠近所述第一平面部的接触点和第一平面部之间的距离小于工件和第一凹陷部的底部之间的距离。
等离子体装置

[发明专利]用于燃料电池的分离器的制造方法-CN201510594003.7有效
发明人： 小泉雅史 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： H01M8/0258 文献下载
摘要：一种用于燃料电池的分离器的制造方法，该制造方法是一种用于通过CVD在钛基材(41)上形成碳涂覆膜(50)的方法，钛基材(41)在钛基材(41)的表面上具有氧化钛层(41a)。该方法包括：形成其中将在其表面上具有氧化钛层(41a)的钛基材(41)置于真空氛围中的状态的步骤；在形成碳涂覆膜(50)之前或者在碳涂覆膜(50)正在形成时利用具有等于或者短于390nm的波长的光照射钛基材(41)的氧化钛层(41a)的表面的照射步骤；和在于照射步骤中利用光照射的氧化钛层(41a)的表面上形成碳涂覆膜的步骤。
用于燃料电池分离器制造方法

[发明专利]等离子体CVD装置-CN201580014820.9有效
发明人：久野裕彦;小泉雅史 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2015-03-16 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：提供在使用了高电压的情况下也能抑制异常放电的等离子体CVD装置。等离子体CVD装置(100)的特征在于，具备：形成等离子体空间的腔室(61)、配置于贯通腔室(61)的壁(61a)的端子导入孔(62)的电力导入端子(10)，电力导入端子(10)具有绝缘件(21)和棒状导电体(11)，绝缘件(21)具有贯通孔(22)，棒状导电体(11)插通于贯通孔(22)，棒状导电体(11)的一端配置在腔室(61)内，棒状导电体(11)的另一端与向腔室(61)内供给电力的电源(E)电连接，绝缘件(21)的内壁面(211)与棒状导电体(11)之间的间隙小于2mm，从绝缘件(21)的配置于腔室(61)内的等离子体空间的一端至绝缘件(21)与棒状导电体(11)的接点(221)为止的距离比10mm大。
等离子体 cvd 装置

[发明专利]燃料电池用隔板的制造方法及燃料电池用隔板-CN201610224747.4有效
发明人： 小泉雅史;池田耕太郎 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2016-04-12 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： H01M8/0228 文献下载
摘要：本发明提供燃料电池用隔板的制造方法及燃料电池用隔板，能够提高碳膜相对于钛基材的紧贴性且耐腐蚀性也良好。本实施方式的燃料电池用隔板的制造方法具有以下工序：在钛基材(40)上形成TiOx(1
燃料电池隔板制造方法

[发明专利]燃料电池隔片、燃料电池、和燃料电池隔片的制造方法-CN201480051872.9有效
发明人： 小泉雅史;伊关崇;中西和之;小泽康弘 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2014-09-18 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： H01M8/0228 文献下载
摘要：燃料电池隔片(110)包含导电性基材和在基材上形成的碳膜(120)。碳膜(120)包括最接近基材形成的第一层(121)和最远离基材形成的第二层(122)。包含在第一层(121)中的碳颗粒的直径为19nm或更小，且小于包含在不同于第一层(121)的碳膜层中的碳颗粒的直径，且包含在第二层(122)中的碳颗粒的直径为40nm或更小。
燃料电池第一层碳颗粒隔片基材形成碳膜导电性基材碳膜层基材制造

[发明专利]无定形碳膜、无定形碳膜的形成方法、具备无定形碳膜的导电性构件和燃料电池用隔板-CN201380007324.1有效
发明人：伊关崇;中西和之;小泽康弘;上田直树;小泉雅史 -专利权人：株式会社丰田中央研究所;丰田自动车株式会社
申请日： 2013-01-25 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：一种无定形碳膜，以碳为主成分，包含30at％以下的氢、20at％以下的氮以及3at％以下的氧，且在将该碳的总量设为100at％时，具有sp²杂化轨道的碳量为70at％以上且小于100at％，所述氢、氮以及氧的含量都不包括0at％。氮和氧在膜表面侧浓化而存在，利用X射线光电子光谱法从表层检测到的氧的含有率为4at％以上15at％以下、氮的含有率为10at％以上30at％以下。无定形碳膜兼具导电性和亲水性，显示出适合于燃料电池用隔板等的表面性状。
无定形碳形成方法具备导电性构件燃料电池隔板

[发明专利]燃料电池用隔板和其制造方法-CN201080059033.3有效
发明人：伊关崇;中西和之;小泽康弘;山田由香;长谷川元;小泉雅史;藤泽克利;上田直树;久野裕彦 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2010-12-24 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： H01M8/02 文献下载
摘要：燃料电池用隔板具备不锈钢制基材、取向性非晶碳膜、混合层和多个突起，其中，所述取向性非晶碳膜：在该基材的至少与电极对向的表面上形成，以C为主成分，含有3～20原子％的N、大于0原子％且为20原子％以下的H，且在将该C的总量设为100原子%时，具有sp2杂化轨道的碳Csp2为70原子％以上且小于100原子％，石墨的(002)面沿厚度方向取向，所述混合层：在所述基材和所述取向性非晶碳膜的界面上生成，含有该两者的构成原子各一种以上，所述多个突起：从所述混合层突出到所述取向性非晶碳膜内，平均长度为10～150nm。
燃料电池隔板制造方法