“安达涉”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果1个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于供应载气和干燥气体的喷淋板结构-CN201910022394.3有效
发明人： 安达涉;佐藤和男 -专利权人： ASM IP控股有限公司
申请日： 2019-01-09 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于等离子体沉积设备的喷淋板，该喷淋板包括：多个孔口，所述多个孔口中的每一个都从喷淋板的后表面延伸到前表面以用于使载气沿此方向通过该孔口到达反应室；多个第一孔口，所述多个第一孔口中的每一个都从第一连接孔口延伸到前表面的内部部分以用于使气体沿此方向通过该第一孔口到达反应室；以及多个第二孔口，所述多个第二孔口中的每一个都从第二连接孔口延伸到前表面的外部部分以用于使气体沿此方向通过该第二孔口到达反应室，其中第一连接孔口将第一孔口连接到从喷淋板的侧壁侧延伸的至少一个第一孔口，第二连接孔口将第二孔口连接到从侧壁侧延伸的至少一个第二孔口。
用于供应干燥气体喷淋板结

1
共 1 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top