“安井健一”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果9个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]描绘数据生成方法、多带电粒子束描绘装置、图案检查装置、以及计算机可读取的记录介质-CN201880059474.X有效
发明人： 安井健一;中山田宪昭 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：根据具有曲线的图形所包含的设计数据来生成能够抑制数据量以及多带电粒子束描绘装置内的计算量的描绘数据。本实施方式涉及生成在多带电粒子束描绘装置中使用的描绘数据的方法。在该方法中，算出表现设计数据所包含的图形的曲线部的曲线、且是分别由多个控制点定义的一对曲线，将上述多个控制点中的与第1控制点在上述曲线的行进方向上相邻的第2控制点的位置用从上述第1控制点起的上述曲线的行进方向的位移以及与该行进方向正交的方向的位移表现，从而生成上述描绘数据。
描绘数据生成方法带电粒子束装置图案检查以及计算机读取记录介质

[发明专利]数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质-CN202210950737.4在审
发明人： 安井健一 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质，能够高速且准确地进行包含曲线的图形的像素覆盖率计算。本发明的一个方式的数据生成方法将表现描绘图案的形状且由在规定方向上依次配置的多个控制点定义的参数曲线在极值以及拐点的位置分割而生成多个参数要素，对于各参数要素，从上述多个控制点中提取一部分控制点，将提取出的控制点在上述规定方向上依次连结而生成多边形，计算以规定尺寸分割带电粒子束的照射对象而得的多个矩形的划分区域各自的基于上述多边形的覆盖率，求出上述多个参数要素与上述多个划分区域的四边的交点，计算上述描绘图案的周缘部的划分区域的覆盖率。
数据生成方法带电粒子束照射装置以及计算机读取记录介质

[发明专利]描绘数据生成方法以及多带电粒子束描绘装置-CN201910972026.5有效
发明人： 安井健一;中山田宪昭 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及描绘数据生成方法以及多带电粒子束描绘装置，生成在多带电粒子束描绘装置中使用的描绘数据。在该描绘数据生成方法中，计算设计数据所包含的包含曲线和直线的图形的、表现上述曲线的多个控制点和上述曲线以及上述直线的多个顶点，并将各控制点以及各顶点的位置用从相邻的控制点或者顶点起的位移表现，从而生成上述描绘数据。
描绘数据生成方法以及带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置-CN202010343027.6有效
发明人： 安井健一 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：实施方式涉及带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置。实施方式的带电粒子束描绘方法具备如下工序：使用被定义了图形图案的描绘数据，将所述图形图案分割为通过带电粒子束的发射而能够照射的尺寸的多个发射图形；将描绘对象基板虚拟分割成网格状而分为多个网格区域，基于所述图形图案的位置，按照每个所述网格区域，计算对邻近效应以及与邻近效应相比影响半径更小的中距离效应进行校正的校正照射量；使用所述校正照射量计算各发射图形的照射量；基于所述照射量计算所述发射图形的边缘部的不足照射量；基于所述不足照射量对所述发射图形进行尺寸调整；以及使用所述照射量的带电粒子束，对所述描绘对象基板描绘进行了尺寸调整的发射图形。
带电粒子束描绘方法以及装置

[发明专利]带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置-CN202010343206.X有效
发明人： 安井健一;加藤靖雄 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：实施方式涉及带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置。在实施方式的带电粒子束描绘方法中，计算以第一网格尺寸将基板的描绘区域虚拟分割而得的每个第一网格区域的图案的面积密度而制作第一网格数据，将所述第一网格数据的网格尺寸转换为比第一网格尺寸大的第二网格尺寸而制作第二网格数据，进行所述第二网格数据与邻近效应校正内核的卷积运算，制作第三网格数据，将所述第三网格数据的网格尺寸转换为所述第一网格尺寸而制作第四网格数据，进行所述第一网格数据与中距离效应校正内核的卷积运算，制作第五网格数据，将所述第四网格数据与所述第五网格数据相加，计算每个所述第一网格区域的带电粒子束的照射量。
带电粒子束描绘方法以及装置

[发明专利]描绘数据生成方法以及多带电粒子束描绘装置-CN202210683092.2在审
发明人： 安井健一;中山田宪昭 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及描绘数据生成方法以及多带电粒子束描绘装置，生成在多带电粒子束描绘装置中使用的描绘数据。在该描绘数据生成方法中，计算设计数据所包含的包含曲线和直线的图形的、表现上述曲线的多个控制点和上述曲线以及上述直线的多个顶点，并将各控制点以及各顶点的位置用从相邻的控制点或者顶点起的位移表现，从而生成上述描绘数据。
描绘数据生成方法以及带电粒子束装置

[发明专利]描绘数据制作方法-CN201810262756.1有效
发明人：原重博;安井健一;加藤靖雄 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G06T11/20 文献下载
摘要：本实施方式涉及的描绘数据制作方法包括：将设计数据中包含的多边形图形分割成多个梯形的工序，多个梯形各自的一组对边沿着第一方向平行，且多个梯形将平行于该第一方向的边作为公共边而在正交于该第一方向的第二方向上排列连结；以及在第一梯形、第二梯形和第三梯形沿着所述第二方向连结的情况下，用相对于该第一梯形和该第二梯形的公共顶点的位置的、第一方向和第二方向上的位移，来表现该第二梯形和该第三梯形的公共顶点的位置，来制作描绘数据的工序。在多个梯形中的至少一个梯形中，定义了第一方向上不同的剂量。该描绘数据生成方法在削减了数据量的同时，还能进行用于抑制由影响半径小的现象所引起的图案尺寸变动的修正运算。
描绘数据制作方法

[发明专利]数据生成方法以及带电粒子束照射装置-CN202110696247.1在审
发明人： 安井健一 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及数据生成方法以及带电粒子束照射装置。本发明的一方式的数据生成方法将定义图案形状的参数曲线分割为多个参数曲线，分别对于分割后的多个参数曲线，计算连结该参数曲线的控制点的端点的线段以及该参数曲线所包围的区域的面积，将连结所述控制点的端点的线段作为一边，计算与计算出的所述面积具有相同的面积的图形的顶点的位置，使用所述顶点生成多边形，计算多个像素各自中的基于所述多边形的覆盖率，该多个像素是将带电粒子束的照射对象以规定尺寸分割而成的多个像素。根据本发明的一方式，能够高速且准确地进行包含曲线的图形的像素覆盖率计算。
数据生成方法以及带电粒子束照射装置

[发明专利]描绘数据生成方法、计算机可读记录介质及多带电粒子束描绘装置-CN201910649368.3有效
发明人：坂本信二;安井健一;稻叶千晓;山村光;福岛悟;赤羽芳规 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2019-07-18 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及描绘数据生成方法、计算机可读记录介质及多带电粒子束描绘装置。本发明的描绘数据生成方法生成在多带电粒子束描绘装置中使用的描绘数据，参照登记有包含多个顶点的顶点列的库数据，抽出设计数据所包含的图形的外形线中的与上述顶点列对应的部分，用识别该顶点列的信息和表示该顶点列的多个顶点的连接形式的信息表现所抽出的部分，从而生成上述描绘数据。
描绘数据生成方法计算机可读记录介质带电粒子束装置

1
共 9 条