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[发明专利]一种具有低翘曲度的晶圆-CN202211600657.2在审
发明人：姜浩延;韩雪飞;林立男;张琳琳;曹文静;孙润吉;唐嫒尧;陶硕 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种具有低翘曲度的晶圆，晶圆包括基底和设置于基底上的膜层结构，膜层结构能减小晶圆的翘曲度。膜层结构包括至少一层功能膜层和至少一层平衡膜层，平衡膜层对基底产生的应力与功能膜层对基底产生的应力方向相反，以减小所述晶圆所受的合应力，功能膜层是实现晶圆所需的功能膜层结构，通常功能膜层由于材料热膨胀系数与基底材料有差异会对晶圆产生应力，平衡膜层是通过平衡膜层材料与基底材料的热膨胀系数差别对晶圆产生与功能膜层相反方向的应力，通过平衡膜层与功能膜层对晶圆之间产生的应力的相互作用，使得膜层间应力相互抵消，使得整体晶圆所受合应力减小，从而降低整体晶圆的翘曲度。
一种具有曲度

[发明专利]一种真空规电容结构及真空规-CN202211505072.2有效
发明人：曹文静;林立男;姜浩延;张琳琳;闫冉;陶硕;刘旭强;潘雨墨;孙润吉 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01D5/241 文献下载
摘要：本发明涉及电容式测量计的技术领域，提供一种真空规电容结构及真空规，包括：外壳，具有内腔；动极板，为薄膜结构，并将内腔分隔为测试腔和参考腔；固定极板，设置于参考腔内，固定极板朝向动极板的一面具有第一电极，第一电极与动极板组成可变电容；参考极板，设置于固定极板背离动极板的一侧，并且朝向参考极板的一面具有第二电极，第二电极与固定极板组成参考电容，可变电容的初始电容值与参考电容值相等。通过设置参考极板，以形成参考电容，以消减翘曲度对测试结果的影响，进而提高测试精度；同时，可以测得更大的电容值，以提高测试的精度；此外，通过参考极板作为参考，以减小动极板变形所带来的影响，保证期间长时间的使用精度。
一种真空电容结构

[发明专利]一种薄膜真空计参考腔室形成装置及方法-CN202211282013.3在审
发明人：陶硕;刘旭强;闫冉;韩雪飞;林立男;张琳琳;曹文静;姜浩延;孙润吉 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜电容式真空计的领域，提供一种薄膜真空计参考腔室形成装置及方法，包括：除气模块，包括烘烤室，以及用于对烘烤室抽真空的第一真空泵组；钳封模块，包括主腔室，设置于主腔室内的钳封机构，以及用于对主腔室抽真空的第二真空泵组；主腔室设置于烘烤室下游，并通过可控制开闭的第一阀门与烘烤室连通；传送模块，用于使待加工样品在除气模块和钳封模块之间密闭传送；气体回填模块，具有多个可控制通断的回填支路，且与除气模块和钳封模块连接，用于向除气模块和钳封模块内回填气体。避免了采用真空焊接温度高、空洞率较大的问题，保证了封接区的密封性；封前采用烘烤除气，以加速待加工样品材料的释气，提高了参考腔室内部的真空度。
一种薄膜真空计参考形成装置方法

[发明专利]一种电容薄膜压力传感器-CN202211321019.7在审
发明人：刘旭强;林立男;廖兴才;曹文静;陶硕;姜浩延;孙润吉;潘雨默 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明提供一种电容薄膜压力传感器，涉及压力传感器技术领域。本发明提供的电容薄膜压力传感器包括壳体、非金属固定电极、电极组件和非金属薄膜。非金属薄膜位于非金属固定电极朝向连接口的一侧。非金属固定电极朝向连接口的一侧设置有第一金属连接层。非金属薄膜通过第一金属连接层与非金属固定电极连接。本发明实施例提供的电容薄膜压力传感器，通过第一金属连接层将非金属薄膜与非金属固定电极连接。由于非金属固定电极与壳体绝缘，而非金属薄膜不与壳体连接，非金属固定电极与壳体之间的寄生电容减少，电容薄膜压力传感器测量精度受外界环境的影响减少。
一种电容薄膜压力传感器