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- [发明专利]一种抛光液及其制备方法-CN202211537469.X在审
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唐传梅;易利金;孙天翔
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深圳玖创精密科技有限公司
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2022-12-02
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2023-03-14
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C09G1/02
- 本申请涉及化学机械抛光领域，具体公开了一种抛光液及其制备方法，该抛光液由以下重量百分比的组分组成：改性纳米二氧化硅10‑25%；分散润湿剂6‑10%；缓蚀剂2‑5%；悬浮稳定剂1‑3%；三乙醇胺0.5‑2.5%；L‑酒石酸0.1‑1.5%和余量水。制备方法为：按照重量比预备原料，将分散润湿剂和改性纳米二氧化硅加入反应设备进行混匀润湿，再将剩余原料依次加入制得。本申请的抛光液主要用于半导体硅片材料抛光加工，通过将纳米二氧化硅改性，提升纳米二氧化硅在抛光液中的分散性能，复配优良的悬浮助剂，减少了半导体硅片材料表面的划痕，提升了半导体硅片材料表面的平整性，进而提高了半导体硅片材料的抛光效果。
- 一种抛光及其制备方法
- [发明专利]一种铝合金液体精抛光蜡及其制备方法-CN202111503575.1在审
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唐传梅;易利金;孙天翔
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深圳市拍档科技有限公司
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2021-12-09
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2022-03-11
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C09G1/02
- 本发明涉及液体抛光蜡技术领域，尤其涉及一种铝合金液体精抛光蜡及其制备方法，一种铝合金液体精抛光蜡包括如下组分：矿物油、脂肪酸、油脂、乳化剂、表面活性剂、碱性光亮剂以及磨料。该铝合金液体精抛光蜡抛光效率高、表面效果好。一种铝合金液体精抛光蜡的制备方法包括如下步骤：在搅拌条件下，将水、碱性光亮剂、表面活性剂、乳化剂以及磨料搅拌至全部溶解得到均匀的混合液；当混合液的温度达到75℃以上时，加入矿物油、油脂以及脂肪酸搅拌得到乳化液，并且继续搅拌持续乳化，停止搅拌加热，即得到铝合金液体精抛光蜡。该铝合金液体精抛光蜡的制备方法工艺设备投入少、工艺操作简便，并且能够生产出高品质、高稳定性的铝合金液体精抛光蜡。
- 一种铝合金液体抛光及其制备方法
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