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[发明专利]用于检验WAT测试机台的测试结构及方法、测试系统-CN202210663522.4在审
发明人： 孔建业 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于检验WAT测试机台的测试结构及方法，该测试结构包括多个测试焊盘和至少一个标准电性结构，该至少一个标准电性结构与该多个测试焊盘对应电连接，标准电性结构具有标准电性能参数，标准电性结构的测量电性能参数通过WAT测试机台的测试部件进行测试得到，标准电性结构的测量电性能参数与标准电性能参数的偏差大小用于表征WAT测试机台的测试部件是否异常，通过获取测试结构中的标准电性结构的测量电性能参数，然后根据测量电性能参数和标准电性能参数的偏差确定WAT测试机台的测试部件是否异常，实现了在测试晶圆前以及测试过程中对机台进行检测，避免测试产能的浪费以及测试成本增加，降低测试问题的发生率。
用于检验 wat 测试机台结构方法系统

[发明专利]探针结构及其制作方法-CN202210635765.7在审
发明人： 孔建业 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本公开提供了一种探针结构及其制作方法。该探针结构包括：两个绝缘连接部，间隔设置；多个导电部，设置于两个绝缘连接部的同一侧，多个导电部沿第一方向间隔设置，且多个导电部中的每个导电部沿第二方向延伸，第一方向与第二方向交叉；多个探针，一一对应地设置于多个导电部的远离两个绝缘连接部的一侧，且多个探针位于两个绝缘连接部之间。通过合理设置上述多个导电部的间距，能够降低位于其上的探针与焊垫的对位难度，同时通过合理设置上述两个绝缘连接部与探针之间的水平距离，并在测试过程中合理控制施加在上述两个绝缘连接部上的压力，可以实现对针头压力的调节，使针头压力满足晶圆检测的需求，进而提高了晶圆检测的效率和准确度。
探针结构及其制作方法