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[发明专利]一种晶圆片厚度大量程、高精度快速解算方法-CN202211361994.0在审
发明人：孙新磊;胡春光;王子政;胡晓东;翟聪;袁禹聪;姚程源;税旭青 -专利权人：天津大学
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆片厚度大量程、高精度快速解算方法，包括下列步骤：确定待测晶圆片在测量波长下的折射率；获得待测晶圆片反射光电场矢量的光学模型；获得傅里叶变换法和希尔伯特变换法的适用区间；对于待测晶圆片，获得其光学厚度初值；若光学厚度初值大于设定阈值，则通过希尔伯特变换法求取待测晶圆片的物理厚度；否则，通过傅里叶变换法求取待测晶圆片的物理厚度。
一种晶圆片厚度量程高精度快速方法

[发明专利]一种窄波段高分辨力微型红外光谱仪-CN202210856970.6在审
发明人：胡春光;袁禹聪;姚程源;王子政;税旭青;刘亦辰;翟聪 -专利权人：天津大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种窄波段高分辨力微型红外光谱仪，用于采集被测红外光信号的光谱数据，包括狭缝(2)、反射式准直镜(3)、平面反射闪耀光栅(4)、平面反射镜(5)、反射式聚焦镜(6)、凸面柱面透镜(7)、线阵探测器及驱动电路(8)，其中，被测红外光信号经过所述狭缝(2)后由所述准直镜(3)准直与方向转折；所述平面反射闪耀光栅(4)以不同的衍射角输出不同波长的反射光束；反射光束经所述平面反射镜(5)反射后，由所述聚焦镜(6)和所述凸面柱面透镜(7)将不同波长的反射光束分别进行聚焦，输出到所述线阵探测器及驱动电路(8)；所述线阵探测器驱动电路(8)用于采集光谱数据，经由驱动电路发送至计算机。
一种波段分辨力微型红外光谱仪

[发明专利]基于光纤式差分的晶圆片快速测厚系统及方法-CN202210581161.9在审
发明人：胡春光;王子政;孙新磊;翟聪;刘亦辰;袁禹聪;姚程源 -专利权人：天津大学
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于光纤式差分的晶圆片快速测厚系统，包括光源模块、分束模块、测量路、参考路、探测器模块和主控模块，其中：光源模块，用于产生近红外光束并输出；测量路，用于将测量光束汇聚入射至待测晶圆片样品上形成小光斑，并使待测晶圆片反射的反射光返回至分束模块后进入探测器模块，在测量路上设置有测量路快门；参考路，用于将参考光束汇聚入射至参考样品上形成小光斑，并使被参考样品反射的反射光返回至分束模块后进入探测器模块，在参考路上设置有参考路快门；探测器模块，包括近红外高分辨力光谱仪。本发明同时提供一种采用上述系统的晶圆片快速测厚方法。
基于光纤式差分晶圆片快速系统方法

[发明专利]基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统和方法-CN201910970207.4有效
发明人：胡春光;王浩;霍树春;姚程源;曲正;胡晓东;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01N21/55 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统及方法，包括三色光源模块、分束器、测量光路、彩色成像模块与数据处理模块，其中：三色光源模块，用于整个系统的照明；分束器，用于将三色光源模块产生的照明光束分成两路光束，分别为测量光束与参考光束；彩色成像模块，分时控制光路通断，使用彩色相机分别对待测样品和标准样品进行成像；将两次成像时的光强图像按照感光面元上红、绿、蓝三个通道分别读出，获得样品三色光下的显微光强图像；数据处理模块，使用差分反射的计算方法，得到对应于红光、绿光、蓝光下被测样品的显微差分反射信号；利用模型反演与数据拟合的方法，获得各像素被测二维材料的厚度，结合像素排布，完成对二维材料形貌的表征。
基于彩色相机二维材料形貌快速表征系统方法

[实用新型]一种便携式模板垂直度检查装置-CN202121498066.X有效
发明人：阚颖涛;朱湘明;韩国卿;邓军翔;姚程源 -专利权人：中铁大桥局第七工程有限公司
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01C15/00 文献下载
摘要：本申请涉及墙柱砼施工技术领域，公开了一种便携式模板垂直度检查装置，包括长条状的测量器主体；两个对称设置于测量器主体两端的呈L型的固定杆，每个L型固定杆的一边与测量器主体共线，两个L型固定杆的一边位于同一平面；每个固定杆的另一端设置一个带刻度且能相对固定杆伸缩的伸缩测量杆；用于显示水平度的圆水准器，其通过连接件安装于测量器主体，且底端面与测量器主体顶端面平行。本申请的一种便携式模板垂直度检查装置，有效解决了墙柱模板检验效率过低的问题。
一种便携式模板垂直检查装置

[发明专利]用于纳米厚度SiO2厚度的差分反射光谱测量方法-CN201911351705.7有效
发明人：霍树春;胡春光;王浩;沈万福;姚程源;曲正;武飞宇;胡晓东;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于纳米厚度SiO2厚度的差分反射光谱测量方法，包括以下步骤：制备标准样品：制备SiO2层厚为100nm标准样品，对SiO2表面粗糙度Sa值进行检定；确定标准样品的厚度值和光学常数；确定测量装置的透光系数；建立差分光谱测量的多层膜光学模型：将待测样品定义为空气层—SiO2粗糙层—SiO2层—过渡层—Si基底层的多层膜光学模型；建立差分光谱测量的多层膜材料物理模型；获取待测样品SiO2膜层的厚度值：使用差分光谱测量方法获得标准样品和待测样品的差分光谱曲线，利用光谱数据曲线拟合算法对多层膜中各层的厚度进行反演运算，获得SiO2层的厚度值。
用于纳米厚度 sio2 反射光谱测量方法