|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 30个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]LDI光机系统及其遮光罩-CN201621272724.2有效
-
王维娟
-
天津津芯微电子科技有限公司
-
2016-11-25
-
2017-06-30
-
G03F7/20
- 本实用新型提供了一种LDI光机系统及其遮光罩，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI光机系统遮光罩，包括第一腔体，第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，聚焦组件安装底板开设有通光孔，第一腔体通过通光孔连通外部，且第一腔体的一对侧壁开设有固定孔，并通过固定孔与大理石龙门固定，第一腔体至少开设有一个散热孔，散热孔平行且高于固定孔；第二腔体，第二腔体与第一腔体连通，并位于第一腔体中固定孔所在侧壁的邻侧壁，且第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。解决了现有技术的LDI光机系统仅能实现部分避光不能有效防尘的技术问题，实现了LDI光机系统的有效避光和防尘。
- ldi系统及其遮光
- [实用新型]微调系统以及空间光调制器微调系统-CN201621282433.1有效
-
曹宁飞
-
天津津芯微电子科技有限公司
-
2016-11-25
-
2017-06-30
-
G03F7/20
- 本实用新型提供了一种微调系统以及空间光调制器微调系统，涉及光刻技术领域，包括直线滑台装置、测角仪滑台装置与微调设备，直线滑台装置根据沿纵轴方向的运行幅度调节微调设备的位置，测角仪滑台装置根据相对于纵轴方向垂直的水平面，通过沿纵轴转动角度调节微调设备的位置；一种空间光调制器微调系统，包括直线滑台装置、测角仪滑台装置与空间光调制器，直线滑台装置根据沿纵轴方向的运行幅度调节空间光调制器的位置，测角仪滑台装置根据相对于纵轴方向垂直的水平面，通过沿纵轴转动角度调节空间光调制器的位置。能够使空间光调制器安装和设备的调试方便、简单，降低机加工的精度要求，减少机加工件费用。
- 微调系统以及空间调制器
- [实用新型]定位系统以及曝光定位系统-CN201621282434.6有效
-
张秀颖
-
天津津芯微电子科技有限公司
-
2016-11-25
-
2017-06-30
-
G03F9/00
- 本实用新型提供了一种定位系统以及曝光定位系统，涉及曝光技术领域，包括横向滑道机构、纵向滑道机构、转动滑道机构；横向滑道机构通过沿横向的运行幅度，调节与固定定位目的物的位置；纵向滑道机构通过沿纵向的运行幅度，调节与固定所述定位目的物的位置；转动滑道机构通过转动角度，调节与固定所述定位目的物的位置。解决了现有技术中板面孔位置整体相对板子平移旋转导致的对位失败问题，能够在曝光时提高放板的准度与精度，使对位的准确率与成功率提高，且从硬件上改善上料放板易放偏的问题，无需软件编写。
- 定位系统以及曝光
- [发明专利]主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机-CN201611051328.1在审
-
莫阳
-
天津津芯微电子科技有限公司
-
2016-11-25
-
2017-05-31
-
G03F7/20
- 本发明提供了一种主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机，涉及光刻技术领域，本发明提供的一种主动对焦机构，包括分光模块、自动对焦模块、Z轴模块、XY轴载物平台，分光模块对自动对焦模块发出的光束进行分光，使光束通过Z轴模块投射至XY轴载物平台，XY轴载物平台用于放置曝光基底；XY轴载物平台包括位于水平方向的二维自由度，能够实现XY轴联动；Z轴模块具有与水平方向垂直的一维自由度，能够在Z轴方向上自由移动，实现对焦调节。通过主动对焦机构，可以解决曝光基底的翘曲和不平整的问题，并且可以解决不同厚度的基板的曝光问题。相对传统的对焦方式，本发明具有对焦时间短，精度高的优点，能够有效的提高了光刻机的产能和光刻质量。
- 主动对焦机构系统激光光刻
- [发明专利]LDI曝光设备以及系统-CN201611061210.7在审
-
祝锁
-
天津津芯微电子科技有限公司
-
2016-11-25
-
2017-01-25
-
G03F7/20
- 本发明提供了一种LDI曝光设备以及系统，涉及印制电路板图形转移技术领域，包括曝光台、真空抽滤装置与密闭装置；曝光台用于承载真空抽滤装置与密闭装置；真空抽滤装置用于抽去密闭装置内部的空气以达到预定真空度；密闭装置用于隔绝空气，保证密闭装置内的曝光目的物在曝光过程中处于真空状态；密闭装置由透光材料制成。通过制造真空的环境，使曝光目的物在曝光过程中处于真空的状态，提高了油墨中自由基的利用率，使自由基充分的引发油墨产生聚合反应，实现有效的改善油墨表面的聚合程度，达到明显提高油墨表面的光泽度，且设计结构简单，减少了曝光设备的造价。
- ldi曝光设备以及系统
- [发明专利]一种多级调焦装置及方法-CN201510928932.7在审
-
王维娟;刘涛;马强
-
天津津芯微电子科技有限公司
-
2015-12-15
-
2016-02-17
-
G03F7/207
- 本发明提供了一种多级调焦装置及方法，属于激光直接成像技术领域，应用于激光成像系统，所述多级调焦装置包括：楔形棱镜组件、阶梯棱镜、第一动力机构及用于驱动楔形棱镜组件运动的第二动力机构，所述楔形棱镜组件包括第一棱镜组件和第二棱镜组件；所述第一动力机构用于驱动阶梯棱镜移动以使所述激光光束的焦面位于第一预设位置；所述第二动力机构用于驱动所述第一棱镜组件和第二棱镜组件相对移动以调节所述激光光束的焦面由第一预设位置变为第二预设位置，其中，所述第二预设位置与所述激光成像系统的像面重合。本发明实现了激光成像系统的焦面位置的粗调与微调，在保证焦面位置控制精度的基础上，增大了调焦范围，有效地满足了市场需求。
- 一种多级调焦装置方法
|
