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[发明专利]真空泵-CN201180060880.6有效
发明人： 大藤正干;桥本寿文;田中晋悟 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2011-12-19 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：真空泵具备：转子，其进行旋转来进行真空排气；泵分解检测电路，其检测真空泵被分解的分解状态；泵运转禁止电路，其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，禁止转子的旋转驱动。
真空泵

[发明专利]磁性悬浮式真空泵及磁性悬浮装置-CN201210482726.4有效
发明人：小崎纯一郎;长野善宏;大藤正干 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种磁性悬浮式真空泵及磁性悬浮装置，可抑制对磁性悬浮控制的影响、并且可使载波电流成分增大。磁性悬浮式真空泵包括：电磁铁，利用磁力使转子磁性悬浮；电磁铁驱动电路，将包含磁性悬浮控制电流成分及比该磁性悬浮控制电流成分更高频带的载波电流成分的电磁铁电流供给至电磁铁线圈；悬浮位置检测电路，检测载波电流成分并生成转子的悬浮位置信号；以及磁性悬浮控制电路，基于悬浮位置信号将磁性悬浮控制电流成分的电流指令输入至电磁铁驱动电路；电磁铁线圈(510)包含主卷线(510a)与并联连接于主卷线(510a)的副卷线(510b)；且还包含阻断电路(511)，串联连接于副卷线(510b)，使载波电流成分通过并且阻断磁性悬浮控制电流成分。
磁性悬浮真空泵装置

[发明专利]涡轮分子泵装置-CN201080065127.1有效
发明人：长野善宏;大藤正干;小崎纯一郎 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2010-03-11 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：一种涡轮分子泵装置，其包括：涡轮分子泵主体；电源单元，其驱动涡轮分子泵主体；以及水冷却单元，其设置于涡轮分子泵主体和电源单元之间，其中，设置于电源单元的壳体中的组件被分类成需要强冷却的需强冷却的组件、需要中等冷却的需中等冷却的组件以及基本不需要冷却的无需冷却的组件，需强冷却的组件被安装于与水冷却单元接触的第一高导热基板，需中等冷却的组件被安装于与壳体的内表面接触的第二高导热基板，无需冷却的组件被安装于配置在第一高导热基板和第二高导热基板之间的空间中的基板。
涡轮分子装置