专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于MPCVD的紧凑型升降机构-CN202221971522.2有效
  • 唐挺;刘艺昭;王曙光 - 成都欧拉微波元器件有限公司
  • 2022-07-28 - 2023-04-07 - C23C16/511
  • 本实用新型公开了一种用于MPCVD的紧凑型升降机构,包括用于与样品台连接的样品台支撑柱和用于与沉积腔底板连接的底板支撑柱;底板支撑柱用于滑动安装在MPCVD的真空腔内,样品台支撑柱连接有第一驱动机构,底板支撑柱连接有第二驱动机构;样品台支撑柱位于底板支撑柱内部且滑动密封连接,第一驱动机构用于驱动样品台支撑柱在底板支撑柱内部移动,第二驱动机构用于驱动板支撑柱在MPCVD的真空腔内移动。本实用新型极大的缩减了装置的体积,在满足升降的基础上,能够大幅度减少MPCVD装置的结构成本;同时,底板支撑柱与样品台之间设置有滑动电磁屏蔽密封结构,通过滑动电磁屏蔽密封结构来实现底板支撑柱与样品台之间的滑动电气密封,减少并抑制了微波泄漏。
  • 一种用于mpcvd紧凑型升降机构
  • [实用新型]一种用于MPCVD的天线终端-CN202221971546.8有效
  • 刘艺昭;唐挺;王曙光 - 成都欧拉微波元器件有限公司
  • 2022-07-28 - 2023-04-07 - C30B25/00
  • 本实用新型公开了一种用于MPCVD的天线终端,包括内导体、外导体、圆盘天线,外导体上端连接有用于与MPCVD的微波模式转换器连接的上法兰盘,下端连接有上盖法兰,上盖法兰连接有上盖内管,圆盘天线上端设置有支撑柱,支撑柱上端与上盖法兰连接,圆盘天线上端与内导体连接,内导体内部中空部位形成进气通道;圆盘天线下端设置有环形聚气槽,环形聚气槽与内导体的进气通道连通;圆盘天线通过支撑柱安装在上盖法兰上后,内导体与外导体之间形成微波通道,微波通道与上盖法兰下端区域连通;圆盘天线下端设置有第一密封槽。本实用新型能够有效地解决现有技术中石英密封环窗被等离子体刻蚀、沉积腔密封性不高导致单晶金刚石生长受污染的问题。
  • 一种用于mpcvd天线终端
  • [实用新型]一种用于MPCVD的样品台水冷结构-CN202221969128.5有效
  • 唐挺;刘艺昭;王曙光 - 成都欧拉微波元器件有限公司
  • 2022-07-28 - 2022-12-30 - F25D1/02
  • 本实用新型公开了一种用于MPCVD的样品台水冷结构,包括用于滑动安装在沉积腔锥底板内的样本台结构,样本台结构包括内部中空的样品台支撑柱,安装在样品台支撑柱上方的台柱、安装在台柱上的样品台上盖;样品台上盖顶部设置有放置钼托的定位环;台柱上设置有安装孔和与安装孔连通的阶梯通孔,台柱上安装孔与样品台上盖之间形成水冷安装区域,水冷结构安装区域内设置有水路板,水路板中部设置有进水孔,水路板顶部设置若干与进水孔连通的第一水槽,水路板下端面设置有与阶梯通孔对应的凸起,水路板上的凸起与台柱通孔配合后。本实用新型在实际的使用中能够保证样品台面温度的均匀性,具备能够保护样品基片不受热应力而破裂的优点。
  • 一种用于mpcvd样品水冷结构
  • [实用新型]一种大功率可调微波模式转换器-CN202221971538.3有效
  • 刘艺昭;唐挺;王曙光 - 成都欧拉微波元器件有限公司
  • 2022-07-28 - 2022-11-22 - H01P1/16
  • 本实用新型公开了一种大功率可调微波模式转换器,包括矩形波导、安装在矩形波导上的三销钉底座、安装在三销钉底座上并延伸至矩形波导内的三根销钉、以及安装在矩形波导上的微波模式转换器;其中,矩形波导一端设置有波导法兰,用于与微波源输出口连接,另一端为短路面;微波模式转换器为铜制锥形体,锥形体底部边缘设置有螺纹孔,锥形体安装在矩形波导内,且上端安装在矩形波导的上端面开口处,通过螺栓进行固定;锥形体中部设置有通孔,通孔用于安装内导体天线,内导体天线延长端形成天线终端,内导体天线内部设置有冷却水路和气体通道。本实用新型解决现有技术中调节装置冗余、使用成本过高的问题。
  • 一种大功率可调微波模式转换器

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