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[发明专利]工艺启动、排程方法、电子设备、存储介质和工艺设备-CN202211734457.6在审
发明人：付美涵;吴芳娜;赵瑞安;张军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G06Q10/0633 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种半导体工艺设备的工艺任务启动方法、排程方法、电子设备、存储介质和半导体工艺设备，获取本次工艺任务；规划本次工艺任务的初步输入规划时间；以获取本次工艺任务执行多个中间动作对应的多个滞留时间，确定调整精度，从而推迟或提前本次工艺任务的初步输入规划时间，并重复执行根据初步输入规划时间，获取本次工艺任务执行多个中间动作对应的多个滞留时间以及根据多个滞留时间，确定调整精度的步骤，直至满足预设要求。通过调整精度和预设要求，推迟或提前本次工艺任务的初步输入规划时间，实现了动态规划工艺任务的输入规划时间，提高了机台进行工艺任务的产能，合理有效利用时间，提高机台效率。
工艺启动方法电子设备存储介质工艺设备

[发明专利]一种晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置-CN202010820643.6有效
发明人：史思雪;吴芳娜 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： B25J13/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置，该方法包括：生成可行移动集合；基于可行移动集合，生成多个移动分支，构成第一分支集合；依次访问经过排序的第一分支集合中的每一个分支，查找满足预设的可执行条件的移动分支；在查找到满足可执行条件的移动分支时，停止访问其他移动分支，根据执行该移动分支后晶圆清洗设备中的全部物料是否均处于安全位置，执行相应的操作。由此，在每一次调度过程中，不仅可以确保调度的安全性，还可以确保选择出的可执行的移动分支为在产能方面较优的移动分支或在对物料进行处理之后物料的工艺精度方面较优的移动分支。提升晶圆清洗设备的产能、对物料进行处理之后物料的工艺精度。
一种清洗设备中的工艺调度方法装置

[发明专利]一种半导体工艺设备中工艺任务的启动方法、装置-CN202010821443.2在审
发明人： 吴芳娜;史思雪 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体工艺设备中工艺任务启动的方法、装置，该方法包括：生成半导体工艺设备当前工艺任务的工艺区域关系列表；确定所有待启动工艺任务，生成每一个待启动工艺任务的工艺区域关系列表；基于当前工艺任务的工艺区域关系列表和每一个待启动工艺任务的工艺区域关系列表，按第一预设规则确定所有所述待启动工艺任务中是否包括可启动工艺任务；当所有待启动工艺任务中包括可启动工艺任务时，按第二预设规则从所有可启动工艺任务选择出目标可启动工艺任务，并启动目标可启动工艺任务。由此，在任意一个时刻均不会出现目标可启动工艺任务和当前工艺任务针对的物料出现在两个相同的工艺区域但出现顺序相反的情况，避免死锁发生，提升生产效率。
一种半导体工艺设备工艺任务启动方法装置