专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]通过大表面积气-固界面及液相再生沉积高纯硅-CN201310182412.7无效
  • 卡甘·塞兰 - 卡甘·塞兰
  • 2008-04-25 - 2013-10-16 - C01B33/035
  • 固态硅通过被混合和泵送经过沉积板的表面的气态三氯氢硅和氢的还原反应来沉积在电加热的沉积板上。沉积板可以具有多种大表面积的几何形状,诸如同心圆筒、螺旋或者重复的S形。一旦已经沉积所需量的硅,沉积板就被加热到高于硅的熔点的温度,从而导致沉积的硅由于重力而以硅壳的形式从沉积板上滑落。剩下的沉积板涂覆有包含从沉积板上溶入的任何杂质的液态硅薄膜。该薄膜被单独地从主体硅壳上熔融掉落以避免污染硅壳,这样沉积板就已备好用于下一沉积周期。
  • 通过表面积界面再生沉积高纯
  • [发明专利]通过大表面积气-固或气-液界面及液相再生沉积高纯硅-CN200880013726.1无效
  • 卡甘·塞兰 - 卡甘·塞兰
  • 2008-04-25 - 2010-05-12 - C01B33/035
  • 固态硅通过被混合和泵送经过沉积板的表面的气态三氯氢硅和氢的还原反应来沉积在电加热的沉积板上。沉积板可以具有多种大表面积的几何形状,诸如同心圆筒、螺旋或者重复的S形。一旦已经沉积所需量的硅,沉积板就被加热到高于硅的熔点的温度,从而导致沉积的硅由于重力而以硅壳的形式从沉积板上滑落。剩下的沉积板涂覆有包含从沉积板上溶入的任何杂质的液态硅薄膜。该薄膜被单独地从主体硅壳上熔融掉落以避免污染硅壳,这样沉积板就已备好用于下一沉积周期。
  • 通过表面积界面再生沉积高纯

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